基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置，陶瓷加热板安装于固定座的上端，陶瓷加热板的上表面边缘沿周向均布有多个晶圆定位导柱，固定座的下端安装有封板，封板上安装有与陶瓷加热板的加热区对应设置的弹性接触温度保护机构；弹性接触温度保护机构包括温度开关固定座、弹性支柱及可复位温度开关，可复位温度开关安装于温度开关固定座上，可复位温度开关上的温感触点与陶瓷加热板抵接，形成检测区域，在可复位温度开关的外围均布有多个弹性支柱，每个弹性支柱的下端均安装于封板上，上端对温度开关固定座提供弹性支撑。本发明专利技术的陶瓷加热板与弹性接触温度保护结构之间为非固定性接触，同时接触面由弹性支撑，接触可靠，同时非固定的过温保结构可以保证了陶瓷加热板的工艺和节俭成本。

【技术实现步骤摘要】
基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置
本专利技术属于半导体中晶片热处理工艺领域，具体地说是一种基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置。
技术介绍
在用于半导体芯片及液晶显示器等制造的Track(涂胶显影机)机台中，将一层光敏物质涂覆到基板上，然后再经过一系列的工艺处理步骤，如利用光刻机曝光，光罩板，然后进行显影、刻蚀、去胶等一系列的工艺等，反复几次，最终将所期待的图形转移到基板上的过程，即为半导体芯片制造的基本流程。在此过程中，将多次反复的利用加热板对基板进行温度处理。按照摩尔定律，同时得益于EUV(极紫外光刻)技术的进步，芯片上的特征尺寸已经缩放到小7纳米甚至5纳米的等级。因此，热板的高精控制光敏物质涂覆层的热处理温度，已成为必须条件，因此陶瓷加热板技术顺应行业需求而成为了配置。受制于陶瓷加热板材料的影响，目前对陶瓷加热板温度基本实现初级闭环控制，即在陶瓷加热版内嵌温度传感器反馈调节输出加热功率，从而达到对热板加热温度的控制；但陶瓷加热板内嵌的温度传感器无法有效的进行加热回路功率的检测，导致陶瓷加热板易损坏，或陶瓷盘与盘体固定螺钉因为热膨胀而发生的相对位移，进而导致陶瓷盘发生崩碎等，产生污染，进而影响产品的良率；同时，陶瓷加热板材质无法在外部直接安装温度检测传感器。
技术实现思路
针对现有陶瓷热板加热存在的上述问题，本专利技术的目的在于提供一种基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置，以解决陶瓷加热板外部温度检测，进而控制加热回路功率、可延长陶瓷加热板的寿命等问题。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术包括陶瓷加热板、弹性接触温度保护机构、封板、晶圆定位导柱及固定座，其中陶瓷加热板安装于固定座的上端，该陶瓷加热板的上表面边缘沿周向均布有多个晶圆定位导柱，所述固定座的下端安装有封板，该封板上安装有与所述陶瓷加热板的加热区对应设置的弹性接触温度保护机构；所述弹性接触温度保护机构包括温度开关固定座、弹性支柱及可复位温度开关，该可复位温度开关安装于温度开关固定座上，所述可复位温度开关上的温感触点与陶瓷加热板抵接、形成检测区域，在可复位温度开关的外围均布有多个弹性支柱，每个所述弹性支柱的下端均安装于封板上，上端对所述温度开关固定座提供弹性支撑。其中：所述弹性支柱包括固定螺母、弹簧、上浮动轴套、弹簧压片、导柱、孔用卡簧、预紧螺母及弹簧套杯，该固定螺母固定在所述封板上，所述导柱的下端插入固定螺母内，并螺纹连接有预紧螺母，所述固定螺母内通过孔用卡簧固定有套设于导柱上的弹簧套杯，所述预紧螺母的上端面与弹簧套杯抵接；所述温度开关固定座下方设有上浮动轴套，该上浮动轴套上端连接有弹簧压片，所述导柱的上端穿过弹簧压片，与温度开关固定座相对移动地插接；所述导柱外部套设有弹簧，该弹簧的下端与所述弹簧套杯抵接，上端穿入所述上浮动轴套内部，并与弹簧压片抵接；所述弹簧压片通过弹簧的预压紧力与温度开关固定座的下表面抵接，该弹簧的预压紧力通过所述预紧螺母的螺距调节。所述预紧螺母及弹簧套杯的轴向截面均为中空的倒置“T”形，所述弹簧的下端套设于弹簧套杯的“T”形竖边外部。所述固定螺母为中空柱状结构，内表面沿径向向内延伸，该延伸部下表面与所述弹簧套杯的“T”形横边抵接。所述上浮动轴套的轴向截面为中空的“T”形，上端设有容置所述弹簧压片的台阶。所述陶瓷加热板的加热区均匀分布有两个弹性接触温度保护机构，这两个弹簧接触温度保护机构中温感触点的中点之间连线经过所述陶瓷加热板的圆心。本专利技术的优点与积极效果为：1.本专利技术的陶瓷加热板与弹性接触温度保护结构之间为非固定性接触，同时接触面由弹性支撑，接触可靠；弹性接触式温度保护结构，避免了在陶瓷加热板上的开孔工艺，进而可以保证热板的制造工艺，同时又节俭成产成本。2.本专利技术的温感触点使用导热性极佳的金属材料(如铝或铜)制成，与陶瓷加热板下表面面形成小区域接触，可以减少陶瓷加热板的热效能损失。3.本专利技术可复位温度开关可以通过监测陶瓷加热板下表面的环境温度与自身的闭合温度和断开温度进行对比，可以实现加热回路的接通和断开，进而可以保护陶瓷加热板因过热产生的相对位移攒动导致陶瓷加热板的损坏。4.本专利技术的温度开关可覆盖多个加热区的检测，提高了温控系统的安全性。附图说明图1为本专利技术的整体结构示意图；图2为本专利技术弹性接触温度保护机构的结构示意图；图3为图2中弹性支柱的结构示意图；图4为本专利技术的控制框图；图5为本专利技术陶瓷加热板加热分区及温度开关布局示意图；其中：1为陶瓷加热板，2为弹性接触温度保护机构，201为温感触点，202为温度开关固定座，203为弹性支柱，2031为固定螺母，2032为弹簧，2033为上浮动轴套，2034为弹簧压片，2035为导柱，2036为孔用卡簧，2037为预紧螺母，2038为弹簧套杯，204为可复位温度开关。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步详述。如图1～5所示，本专利技术包括陶瓷加热板1、弹性接触温度保护机构2、封板3、晶圆定位导柱4及固定座5，其中陶瓷加热板1安装于固定座5的上端，该陶瓷加热板1的上表面边缘沿圆周方向均布有多个(本实施例为六个)晶圆定位导柱4，用于定位传送进来的晶圆；固定座5的下端固接有封板3，该封板3上安装有与陶瓷加热板1的加热区对应设置的弹性接触温度保护机构2。弹性接触温度保护机构2包括温度开关固定座202、弹性支柱203及可复位温度开关204，该可复位温度开关204安装于温度开关固定座202上，可复位温度开关204上的温感触点201与陶瓷加热板1抵接、形成检测区域，在可复位温度开关204的外围沿圆周方向均布有多个(本实施例为三个)弹性支柱203，每个弹性支柱203的下端均安装于封板3上，上端对温度开关固定座202提供弹性支撑。本实施例的三个弹性支柱203结构相同，均包括固定螺母2031、弹簧2032、上浮动轴套2033、弹簧压片2034、导柱2035、孔用卡簧2036、预紧螺母2037及弹簧套杯2038，该固定螺母2031固定在封板3上，导柱2035的下端插入固定螺母2031内，并螺纹连接有预紧螺母2037，固定螺母2301内通过孔用卡簧2036固定有套设于导柱2035上的弹簧套杯2038，预紧螺母2037的上端面与弹簧套杯2038抵接。本实施例的预紧螺母2037及弹簧套杯2038的轴向截面均为中空的倒置“T”形，预紧螺母2037沿轴向开设的通孔孔径与弹簧套杯2038沿轴向开设的通孔孔径相等，供导柱2035穿设；本实施例的固定螺母2031为中空柱状结构，内表面沿径向向内延伸，该延伸部下表面与弹簧套杯2038的“T”形横边抵接。温度开关固定座202下方设有上浮动轴套2033，该上浮动轴套2033上端连接有弹簧压片2034；本实施例的上浮动轴套2033的轴向截面为中空的“T”形，上端设有容置弹簧压片2034的台阶，上浮动轴套2033的“T”形竖边外径小于固定螺母2031的内径。导柱2035的上端穿过弹簧压片2034本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置，其特征在于：包括陶瓷加热板(1)、弹性接触温度保护机构(2)、封板(3)、晶圆定位导柱(4)及固定座(5)，其中陶瓷加热板(1)安装于固定座(5)的上端，该陶瓷加热板(1)的上表面边缘沿周向均布有多个晶圆定位导柱(4)，所述固定座(5)的下端安装有封板(3)，该封板(3)上安装有与所述陶瓷加热板(1)的加热区对应设置的弹性接触温度保护机构(2)；所述弹性接触温度保护机构(2)包括温度开关固定座(202)、弹性支柱(203)及可复位温度开关(204)，该可复位温度开关(204)安装于温度开关固定座(202)上，所述可复位温度开关(204)上的温感触点(201)与陶瓷加热板(1)抵接、形成检测区域，在可复位温度开关(204)的外围均布有多个弹性支柱(203)，每个所述弹性支柱(203)的下端均安装于封板(3)上，上端对所述温度开关固定座(202)提供弹性支撑。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置，其特征在于：包括陶瓷加热板(1)、弹性接触温度保护机构(2)、封板(3)、晶圆定位导柱(4)及固定座(5)，其中陶瓷加热板(1)安装于固定座(5)的上端，该陶瓷加热板(1)的上表面边缘沿周向均布有多个晶圆定位导柱(4)，所述固定座(5)的下端安装有封板(3)，该封板(3)上安装有与所述陶瓷加热板(1)的加热区对应设置的弹性接触温度保护机构(2)；所述弹性接触温度保护机构(2)包括温度开关固定座(202)、弹性支柱(203)及可复位温度开关(204)，该可复位温度开关(204)安装于温度开关固定座(202)上，所述可复位温度开关(204)上的温感触点(201)与陶瓷加热板(1)抵接、形成检测区域，在可复位温度开关(204)的外围均布有多个弹性支柱(203)，每个所述弹性支柱(203)的下端均安装于封板(3)上，上端对所述温度开关固定座(202)提供弹性支撑。


2.根据权利要求1所述基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置，其特征在于：所述弹性支柱(203)包括固定螺母(2031)、弹簧(2032)、上浮动轴套(2033)、弹簧压片(2034)、导柱(2035)、孔用卡簧(2036)、预紧螺母(2037)及弹簧套杯(2038)，该固定螺母(2031)固定在所述封板(3)上，所述导柱(2035)的下端插入固定螺母(2031)内，并螺纹连接有预紧螺母(2037)，所述固定螺母(2301)内通过孔用卡簧(2036)固定有套设于导柱(2035)上的弹簧套杯(2038)，所述预紧螺母(2037)的上端面与弹簧套杯(2038)抵接；所述温度开关固定座(202)下方设...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩禹，孙元斌，董浩，温海涛，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21