本实用新型专利技术公开了一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，包括依次设置的小车组件、第一导向组件和第二导向组件，小车组件侧面安装有托盘组件，小车组件外侧设有固定托盘组件的锁定装置，小车组件正面的上部及下部设有承载托盘组件的导向轮，托盘组件的外侧面固定安装有长齿条，小车组件与第一导向组件之间及第二导向组件上均安装有传动组件，传动组件设有长齿条啮合的齿轮，第一导向组件和第二导向组件之间设有插板阀，第一导向组件和第二导向组件设有与小车组件对应的导向轮。该结构设计精巧，结构紧凑，通过外部的手柄对腔室内的工件过渡托盘进行牵引，通过齿轮齿条实现进给运动，运动过程平稳可控，很好的实现了工件的更换。
【技术实现步骤摘要】
一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置
本技术涉及真空装置
，具体来说，涉及一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置。
技术介绍
在真空腔室较长的高真空设备中，如多腔室高真空镀膜机，考虑到更换镀膜工件时会破坏设备真空度，因此往往把腔室设计成多段，中间连接处设置有插板阀；更换工件时，工件由镀膜位置移动到最外侧的进样腔室，插板阀关闭，使得仅有一个外侧进样腔室与大气连通；更换工件后，需要抽真空的腔室体积较小，缩短了抽气时长，提高了效率，当外侧腔室抽到一定真空度后，打开插板阀，将工件送到镀膜位置。工件在真空系统中的运动，其要求该运动平稳，结构简单，在运动过程无法通过腔室外侧进行控制，运动到位后，也没有有定位装置，且该运动影响插板阀的打开和闭合。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中的上述技术问题，本技术提出一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，能够克服现有技术的上述不足。为实现上述技术目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，包括依次设置的小车组件、第一导向组件和第二导向组件，所述小车组件侧面安装有托盘组件，所述小车组件外侧设有固定所述托盘组件的锁定装置，所述小车组件正面的上部及下部设有承载所述托盘组件的导向轮，所述托盘组件的外侧面固定安装有长齿条，所述小车组件与所述第一导向组件之间及所述第二导向组件上均安装有传动组件，所述传动组件设有所述长齿条啮合的齿轮，所述第一导向组件和所述第二导向组件之间设有插板阀，所述第一导向组件和所述第二导向组件设有与所述小车组件对应的导向轮。进一步地，所述锁定装置固定安装在所述小车组件的右侧，所述锁定装置上设有弹簧滚珠，所述托盘组件设有一矩形板，所述矩形板的右侧固定连接有固定连接板，所述固定连接板上连接有与所弹簧滚珠卡合的滚珠固定板。进一步地，所述矩形板的中部固定安装有夹持台，所述矩形板的上下侧边滑动安装在导向轮的沟槽内。进一步地，所述小车组件上部的导向轮为移动导向轮，所述小车组件下部的导向轮为固动导向轮，所述移动导向轮上设有与小车组件连接的伸缩杆。进一步地，所述传动组件设有与所述齿轮的磁流体轴，所述磁流体轴，的外侧连接有手轮，所述磁流体轴通过法兰连接在真空腔的侧壁上。本技术的有益效果：该结构设计精巧，结构紧凑，以磁流体密封结构穿越腔室，通过外部的手柄对腔室内的工件过渡托盘进行牵引，通过齿轮齿条实现进给运动，运动过程平稳可控，很好的实现了工件的更换。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是根据本技术实施例所述的一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置的结构示意图；图2是根据本技术实施例所述的小车组件与托盘组件的结构示意图；图3是根据本技术实施例所述的托盘组件的结构示意图；图4是根据本技术实施例所述的传动组件的结构示意图。图中：1、小车组件；1-1、弹簧滚珠；1-2、移动导向轮；1-3、固动导向轮；2、第一导向组件；3、第二导向组件；4、托盘组件；4-1、长齿条；4-2、固定连接板；4-3、滚珠固定板；5、传动组件；5-1、齿轮；5-2、磁流体轴；5-3、手轮；5-4、法兰；6、插板阀；7、真空腔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-4所示，根据本技术实施例所述的一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，包括依次设置的小车组件1、第一导向组件2和第二导向组件3，所述小车组件1侧面安装有托盘组件4，所述小车组件1外侧设有固定所述托盘组件4的锁定装置，所述小车组件1正面的上部及下部设有承载所述托盘组件4的导向轮，所述托盘组件4的外侧面固定安装有长长齿条4-1-1，所述小车组件1与所述第一导向组件2之间及所述第二导向组件3上均安装有传动组件5，所述传动组件5设有所述长长齿条4-1-1啮合的齿轮5-1，所述第一导向组件2和所述第二导向组件3之间设有插板阀6，所述第一导向组件2和所述第二导向组件3设有与所述小车组件1对应的导向轮。在本技术的一个具体实施例中，所述锁定装置固定安装在所述小车组件1的右侧，所述锁定装置上设有弹簧滚珠1-1，所述托盘组件4设有一矩形板，所述矩形板的右侧固定连接有固定连接板4-2，所述固定连接板4-2上连接有与所弹簧滚珠1-1卡合的滚珠固定板4-3。在本技术的一个具体实施例中，所述矩形板的中部固定安装有夹持台，所述矩形板的上下侧边滑动安装在导向轮的沟槽内。在本技术的一个具体实施例中，所述小车组件1上部的导向轮为移动导向轮1-2，所述小车组件1下部的导向轮为固动导向轮1-3，所述移动导向轮1-2上设有与小车组件1连接的伸缩杆。在本技术的一个具体实施例中，所述传动组件5设有与所述齿轮5-1的磁流体轴5-2，所述磁流体轴5-2，的外侧连接有手轮5-3，所述磁流体轴5-2通过法兰5-4连接在真空腔6的侧壁上。为了方便理解本技术的上述技术方案，以下通过具体使用方式上对本技术的上述技术方案进行详细说明。在具体使用时，根据本技术所述的一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，工件位于托盘组件4上，小车组件1下部设有导轨滑块，通过伺服电机、齿轮齿条传动带动托盘组件4在特定位置工作；等更换工件时，小车组件1带动托盘组件4运动，打开插板阀6，转动手轮5-3，使齿轮5-1与长齿条4-1啮合，带动托盘组件4向右运动，滚珠固定板4-3与弹簧滚珠1-1脱开，小车组件1、第一导向组件2和第二导向组件3上均有固定导向轮。其中，小车组件1上还设置有移动导向轮1-2，用于对托盘组件4的支撑及导向；固动导向轮1-3的排布，保证任意位置均有至少两个固动导向轮1-3对托盘组件4进行支撑及导向；传动组件5的排布，保证任意位置均有至少一个传动组件5对托盘组件4进行连接与传导。当托盘组件4传递到腔体外侧时，对工件进行更换，更换后进行回程运动，转动手轮5-3，托盘组件4依次通过第二导向组件3、插板阀6、第一导向组件2。当托盘组件4开始与小车组件1接触时，托盘组件4上的托盘上下尖角面与小车组件1上部移动导向轮1-2及下部固动导向轮1-3相接触，其中下部的固动导向轮1-3只能转动，上部的移动导向轮1-2既可以转动，又可以向上移动，保证了托盘组件4在小车组件1的上下方向处于完全定位状态。当托盘组件4上的滚珠固定板4-3与小车组件1上的弹簧滚本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，包括依次设置的小车组件（1）、第一导向组件（2）和第二导向组件（3），其特征在于，所述小车组件（1）侧面安装有托盘组件（4），所述小车组件（1）外侧设有固定所述托盘组件（4）的锁定装置，所述小车组件（1）正面的上部及下部设有承载所述托盘组件（4）的导向轮，所述托盘组件（4）的外侧面固定安装有长齿条（4-1），所述小车组件（1）与所述第一导向组件（2）之间及所述第二导向组件（3）上均安装有传动组件（5），所述传动组件（5）设有所述长齿条（4-1）啮合的齿轮（5-1），所述第一导向组件（2）和所述第二导向组件（3）之间设有插板阀（6），所述第一导向组件（2）和所述第二导向组件（3）设有与所述小车组件（1）对应的导向轮。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，包括依次设置的小车组件（1）、第一导向组件（2）和第二导向组件（3），其特征在于，所述小车组件（1）侧面安装有托盘组件（4），所述小车组件（1）外侧设有固定所述托盘组件（4）的锁定装置，所述小车组件（1）正面的上部及下部设有承载所述托盘组件（4）的导向轮，所述托盘组件（4）的外侧面固定安装有长齿条（4-1），所述小车组件（1）与所述第一导向组件（2）之间及所述第二导向组件（3）上均安装有传动组件（5），所述传动组件（5）设有所述长齿条（4-1）啮合的齿轮（5-1），所述第一导向组件（2）和所述第二导向组件（3）之间设有插板阀（6），所述第一导向组件（2）和所述第二导向组件（3）设有与所述小车组件（1）对应的导向轮。
2.根据权利要求1所述的一种真空下工件过渡托盘手动牵引装置，其特征在于，所述锁定装置固定安装在所述小车组件（1）的右侧，所述锁定装置上设有弹簧滚珠（1-1），所述托盘组件（4）...
【专利技术属性】
技术研发人员：高贵斌，徐峰，
申请(专利权)人：北京中科科美科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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