【技术实现步骤摘要】
一种10nm级免液氦极低温减振系统
本专利技术涉及10纳米级振动极低温物性测量领域,尤其涉及一种10nm级免液氦极低温减振系统。
技术介绍
随着科学技术的不断发展,对材料物性的探测或测试需求越来越强烈,尤其是在小于4.2K以下的极低温环境中的材料物性测量需求越来越多。现阶段实现低温4.2K以下的低温制冷技术主要有两种,一种是液氦为工质进行减压抽空的系统,该低温系统运行过程中虽然不会带来自身的低温振动,但是运行维护较为复杂,且对氦资源的浪费较为严重;另外一种是以GM制冷机或脉管制冷机为冷源的免液氦低温系统,该系统在运行过程中不会对液氦进行消耗,且后期操作使用较为便利,越来越来受到广大研究者的关注,但是该系统采用了GM制冷机或脉管制冷机作为冷源,在运行过程中存在制冷机自身振动的影响,对于低温系统振动要求高的系统,如原子力高真空材料摩擦测量、激光打靶测试等很难适应。目前4.2K以下的极低温系统的减振主要是以在制冷机为冷源的冷头处进行处理,以增加柔性导冷带的方法来达到减振目的,但该种方法没有从整套低温系统上进行分析,只能将系统样品处的振动减少到微米量级,不能满足纳米级低温振动测试需求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种有效降低内外环境振动、满足测试需求的10nm级免液氦极低温减振系统。为解决上述问题,本专利技术所述的一种10nm级免液氦极低温减振系统,其特征在于:该系统包括隔振地基Ⅰ、隔振地基Ⅱ、外部循环管路系统、内循环管路系统、制冷机和真空腔体;所述隔振地基Ⅰ ...
【技术保护点】
1.一种10nm级免液氦极低温减振系统,其特征在于:该系统包括隔振地基Ⅰ(1)、隔振地基Ⅱ(2)、外部循环管路系统、内循环管路系统、制冷机(9)和真空腔体(13);所述隔振地基Ⅰ(1)与所述隔振地基Ⅱ(2)之间设有间隙;所述隔振地基Ⅰ(1)上设有支撑架(25),该支撑架(25)上固定有真空腔体顶法兰(12);所述真空腔体顶法兰(12)与所述真空腔体(13)相连,该真空腔体(13)内设有一级冷屏(24);所述一级冷屏(24)内设有二级冷屏(23),该二级冷屏(23)内设有连接在一起的回热换热器(19)、氦池(20)、负载测试平台(22);所述隔振地基Ⅱ(2)上设有制冷机支撑架(26),该制冷机支撑架(26)上固定有制冷机安装法兰(8);所述制冷机安装法兰(8)分别与所述真空腔体顶法兰(12)、所述制冷机(9)相连,该制冷机(9)分别与所述一级冷屏(24)、所述二级冷屏(23)相连;所述内循环管路系统由回气管Ⅰ(3)、进气管Ⅰ(10)和进气管Ⅱ(18)组成;所述外部循环管路系统由回气软管(6)、回气管Ⅱ(4)、抽空泵(28)、氦气缓冲罐(27)和进气软管(5)组成;所述外部循环管路系统分别 ...
【技术特征摘要】
1.一种10nm级免液氦极低温减振系统,其特征在于:该系统包括隔振地基Ⅰ(1)、隔振地基Ⅱ(2)、外部循环管路系统、内循环管路系统、制冷机(9)和真空腔体(13);所述隔振地基Ⅰ(1)与所述隔振地基Ⅱ(2)之间设有间隙;所述隔振地基Ⅰ(1)上设有支撑架(25),该支撑架(25)上固定有真空腔体顶法兰(12);所述真空腔体顶法兰(12)与所述真空腔体(13)相连,该真空腔体(13)内设有一级冷屏(24);所述一级冷屏(24)内设有二级冷屏(23),该二级冷屏(23)内设有连接在一起的回热换热器(19)、氦池(20)、负载测试平台(22);所述隔振地基Ⅱ(2)上设有制冷机支撑架(26),该制冷机支撑架(26)上固定有制冷机安装法兰(8);所述制冷机安装法兰(8)分别与所述真空腔体顶法兰(12)、所述制冷机(9)相连,该制冷机(9)分别与所述一级冷屏(24)、所述二级冷屏(23)相连;所述内循环管路系统由回气管Ⅰ(3)、进气管Ⅰ(10)和进气管Ⅱ(18)组成;所述外部循环管路系统由回气软管(6)、回气管Ⅱ(4)、抽空泵(28)、氦气缓冲罐(27)和进气软管(5)组成;所述外部循环管路系统分别与所述内循环管路系统、所述制冷机(9)相连。
2.如权利要求1所述的一种10nm级免液氦极低温减振系统,其特征在于:所述隔振地基Ⅰ(1)与所述隔振地基Ⅱ(2)高度相同,且二者之间设有8~12mm的间隙。
3.如权利要求1所述的一种10nm级免液氦极低温减振系统,其特征在于:所述制冷机(9)的一级冷头通过制冷机一级冷头软连接(14)与一级冷屏顶法兰(15)连接,该一级冷屏顶法兰(15)与所述一级冷屏(24)相连,并设有一级冷屏吸附冷阱(7);所述一级冷屏吸附冷阱(7)与所述进气软管(5)相连。
4.如权利要求1所述的一种10nm级免液氦极低温减振系统,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚珍彬,张俊彦,周妍,
申请(专利权)人:中国科学院兰州化学物理研究所,
类型:发明
国别省市:甘肃;62
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