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本发明涉及一种10nm级免液氦极低温减振系统，该系统包括隔振地基Ⅰ、隔振地基Ⅱ、外部循环管路系统、内循环管路系统、制冷机和真空腔体。隔振地基Ⅰ与隔振地基Ⅱ之间设有间隙；隔振地基Ⅰ上设有支撑架，该支撑架上固定有真空腔体顶法兰；真空腔体顶法兰与...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

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