一种适用于砂轮划片机的气路控制系统技术方案

本发明专利技术提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，包括：空气过滤元件、排风口、真空气路、显微镜气路、刀片气路、气枪气路、NCS气路、门锁气缸气路；空气过滤元件输出端分别连通并联的真空气路输入端、显微镜气路输入端、刀片气路输入端、气枪气路输入端、NCS气路输入端、门锁气缸气路输入端和主轴进气端；真空气路真空端连通中心盘，真空气路排气端连通排风口；空气过滤元件和主轴之间还设置有气压表。本发明专利技术优点：可以实现自动控制划片机气路的各项功能，真空发生器进水后，真空表不会进水，避免损坏。主轴进气有气压表保护，非接触测高时，刀片吹气清洁刀片。喷水罩可分别调节流量，压缩空气进气前有空气过滤元件过滤，避免损坏元件。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于砂轮划片机的气路控制系统
本专利技术涉及砂轮划片机，特别提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统。
技术介绍
砂轮划片机是一种应用于如半导体、LED封装、QFN、BGA、光学光电、通讯等多个行业，综合了水气电、高速气浮主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。其主要用于硅集成电路，发光二极管，铌酸锂，压电陶瓷，砷化镓，蓝宝石，石英，玻璃，陶瓷，太阳能电池片等材料的精密划切加工。砂轮划片机，其功能是通过气浮主轴带动刀具砂轮高速旋转，实现高速精密加工，就必须使用压缩空气和水，来实现各项功能。因此合理的气路控制系统对划片机的性能至关重要。为了使气浮主轴安全的工作，就必须时刻保证气路清洁、稳定、压力足够，否则极易使主轴损坏。即便在突然断电、空压机自带的过滤器失效，冷干机异常等极端情况下，也要保证主轴气路正常。划片机需要用真空来固定待加工的工件，但是在划片过程中，切割腔内一直弥漫着水雾和粉尘，工况十分恶劣，因此很难避免这些干扰进入真空气路，若真空气路因此不稳定，而很有可能损坏刀片和待加工的件。在划片过程中，需要时刻对刀片喷水，既是冷却刀片，又是排出切屑，但是在进行接触式测高和非接触式测高即NCS的时候，若喷水罩滴下水来，那么就直接影响测高值，很有可能导致设备损坏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，可以实现自动控制划片机气路的各项功能。本专利技术技术方案如下：提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，包括：空气过滤元件、排风口、真空气路、显微镜气路、刀片气路、气枪气路、NCS气路、门锁气缸气路；真空气路是利用真空把粘有待加工件的膜吸附在工作盘上。但是在划片过程中，切割腔内一直弥漫着水雾和粉尘，工况十分恶劣，因此很难避免这些干扰进入真空气路，若真空气路因此不稳定，而很有可能损坏刀片和待加工的件。显微镜气路一方面要在切割过程中保证显微镜部件内部从环境恶劣的切割腔隔离出来，另一方面要在切割间隔的时候，吹干工件表面的水，以便显微镜可以观察到切割效果。同时，还要避免剧烈气流造成显微镜晃动。刀片气路要在进行接触式测高和NCS的时候，防止喷水罩滴下水来，影响测高值。气枪气路是用来在切割间隔或者切割完成的时候，进行手动吹干工件上的水。虽然该气路的使用频率不高，但仍是必须存在的。NCS气路的作用是在切割间隔的时候，重新校准刀片基准，以抵消刀片模式对切割深度的影响。在NCS过程中，周围环境充满了水汽和粉尘，因此就需要用气路保证光纤头处的清洁。门锁气缸气路是为了避免设备伤人而增加的必要的安全防护，通过气缸，以及气缸伸缩杠固定的钣金件，锁死切割腔和上料区的门。空气过滤元件输出端分别连通并联的真空气路输入端、显微镜气路输入端、刀片气路输入端、气枪气路输入端、NCS气路输入端、门锁气缸气路输入端和主轴进气端；真空气路真空端连通中心盘，真空气路排气端连通排风口；空气过滤元件和主轴之间还设置有气压表。进一步地，真空气路包括并联的工件真空支路、反吹气支路和工件盘真空支路；工件真空支路中设置有依次连通的工件真空阀和第一真空发生器进气端；反吹气支路中设置有依次连通的反气吹阀和第一节流阀；工件盘真空支路中设置有依次连通的工件盘真空阀和第二真空发生器进气端；第一真空发生器的真空端通过单向阀连通第一节流阀输出端和中心盘；第一真空发生器真空端还设置有依次连通的真空过滤器和真空表；第二真空发生器真空端与中心盘连通；第一真空发生器和第二真空发生器排气端均与排风口相通。进一步地，显微镜气路包括并联的显微镜下吹气支路与显微镜挡板气缸支路；显微镜下吹气支路中设置有依次连通的显微镜下吹气阀、第二节流阀和吹气管；显微镜挡板气缸支路中设置有依次连通的显微镜挡板阀和显微镜挡板气缸。进一步地，刀片气路中设置有依次连通的刀片吹气阀和第三节流阀。进一步地，气枪气路中设置有依次连通的第四节流阀和气枪。进一步地，NCS气路中设置有依次连通的NCS气阀、第五节流阀和NCS吹气口。进一步地，门锁气缸气路包括并联设置的左支路和右支路；左支路中设置有依次连通的左门锁气阀和左门锁气缸；右支路中设置有依次连通的右门锁气阀和右门锁气缸；本专利技术所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统可以实现自动控制划片机气路的各项功能，可以分别控制工件真空，工作盘真空和反向吹气；能够在真空发生器进水后，真空不间断，真空表不会进水，避免损坏；带可控制的反向吹气系统能破坏真空状态，便于切割结束后，取下工件；主轴进气有气压表保护；左右门锁分别控制，安全且方便；非接触测高（NCS）时，可以先吹气，清洁光纤表面，刀片吹气清洁刀片。显微镜有下吹气，可以自动吹干刀口位置的水；配有气枪，可以手动吹干任意位置的水。本专利技术配有数字量的真空表，在真空不足的时候，可报警，进而暂停切割，防止损坏待加工的工件，显微镜下吹气支路中设置有依次连通的显微镜下吹气阀、第二节流阀和吹气管；显微镜挡板气缸支路中设置有依次连通的显微镜挡板阀和显微镜挡板气缸，刀片气路中设置有依次连通的刀片吹气阀和第三节流阀，气枪气路中设置有依次连通的第四节流阀和气枪，NCS气路中设置有依次连通的NCS气阀、第五节流阀和NCS吹气口共同作用，，可以调整进气的气压，并一定程度上改善进气品质，延迟气动元件使用寿命。气路安装及气管布置经过设计，既方便安装和维护，又能保证功能正常实施。本专利技术优点：可以实现自动控制划片机气路的各项功能，真空气路可以分别控制工件真空，工作盘具有能真空和反吹功能，真空发生器进水后，真空不间断，真空表不会进水，避免损坏。带反吹破坏真空环境，便于取片，主轴进气有气压表保护，进水有流量计检测保护，左右门锁分别控制，安全且方便，非接触测高时，可以先吹水吹气，清洁光纤表面，刀片吹气清洁刀片。排出流量计的存水，显微镜有挡板保护，避免切割时进水损坏；显微镜有下吹气，可以自动吹干刀口位置的水，配有气枪，可以手动吹干任意位置的水，喷水罩分为前后喷水和侧面喷水，可分别调节流量，压缩空气进气前有空气过滤元件过滤，避免损坏元件。附图说明图1为本专利技术所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统示意图；附图标记：1-空气过滤元件；2-排风口；3-主轴；31-气压表；41-工件真空阀；42-第一真空发生器；43-反吹气阀；44-第一节流阀；45-工件盘真空阀；46-第二真空发生器；47-单向阀；48-真空过滤器；49-真空表；5-中心盘；61-显微镜下吹气阀；62-第二节流阀；63-吹气管；64-显微镜挡板阀；65-显微镜挡板气缸；71-刀片吹气阀；72-第三节流阀；81-第四节流阀；82-气枪；91-NCS气阀；92-第五节流阀；93-NCS吹气口；101-左门锁气阀；102-左门锁气缸；103-右门锁气阀；104-右门锁气缸。具体实施方式实施例1本实施例提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，参见图1，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于，包括：空气过滤元件（1）、排风口（2）、真空气路、显微镜气路、刀片气路、气枪气路、NCS气路、门锁气缸气路；/n空气过滤元件（1）输出端分别连通并联的真空气路输入端、显微镜气路输入端、刀片气路输入端、气枪气路输入端、NCS气路输入端、门锁气缸气路输入端和主轴（3）进气端；真空气路真空端连通中心盘（5），真空气路排气端连通排风口（2）；空气过滤元件（1）和主轴（3）之间还设置有气压表（31）。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于，包括：空气过滤元件（1）、排风口（2）、真空气路、显微镜气路、刀片气路、气枪气路、NCS气路、门锁气缸气路；
空气过滤元件（1）输出端分别连通并联的真空气路输入端、显微镜气路输入端、刀片气路输入端、气枪气路输入端、NCS气路输入端、门锁气缸气路输入端和主轴（3）进气端；真空气路真空端连通中心盘（5），真空气路排气端连通排风口（2）；空气过滤元件（1）和主轴（3）之间还设置有气压表（31）。


2.根据权利要求1所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于：真空气路包括并联的工件真空支路、反吹气支路和工件盘真空支路；
工件真空支路中设置有依次连通的工件真空阀（41）和第一真空发生器（42）进气端；反吹气支路中设置有依次连通的反气吹阀（43）和第一节流阀（44）；工件盘真空支路中设置有依次连通的工件盘真空阀（45）和第二真空发生器（46）进气端；
第一真空发生器（42）的真空端通过单向阀（47）同时连通第一节流阀（44）输出端和中心盘（5）；第一真空发生器（42）真空端还设置有依次连通的真空过滤器（48）和真空表（49）；
第二真空发生器（46）真空端与中心盘（5）连通；第一真空发生器（42）和第二真空发生器（46...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明明，石文，吴洪柏，王晓禹，袁浩云，王港，
申请(专利权)人：沈阳和研科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21