【技术实现步骤摘要】
一种条形化MicroLED芯片及其制作方法
本专利技术涉及MicroLED芯片
,特别是涉及一种条形化MicroLED芯片及其制作方法。
技术介绍
MicroLED技术,即LED微缩化和矩阵化技术,指的是在一个芯片上集成的高密度微小尺寸的LED阵列,如LED显示屏每一个像素可定址、单独驱动点亮,可看成是户外LED显示屏的微缩版,将发光单元距离从毫米级降低至微米级。MicroLED芯片的封装过程涉及到巨量转移技术,现在的MicroLED芯片一般采用共N电极的工艺,P电极单独驱动以控制各个发光单元的点亮。由于发光单元是单独驱动控制的,因此在巨量转移过程中需确保每个发光单元的封装效果,导致封装难度增大。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种能降低MicroLED芯片封装难度的条形化MicroLED芯片及其制作方法。为了解决上述技术问题,本专利技术提供了一种条形化MicroLED芯片,包括衬底和设于所述衬底上的GaN基外延片,所述GaN基外延片自下而上依次设有N型GaN层、发光量子阱层 ...
【技术保护点】
1.一种条形化Micro LED芯片,其特征在于:包括衬底和设于所述衬底上的GaN基外延片,所述GaN基外延片自下而上依次设有N型GaN层、发光量子阱层和P型GaN层,所述N型GaN层上镀设有N型电极层,所述P型GaN层上镀设有P型电极层,其特征在于:所述GaN基外延片设有多个纵横交错分布的隔离槽,所述隔离槽将所述GaN基外延片划分为多个矩阵阵列布置的发光单元,所述隔离槽位于所述N型GaN层的上方且裸露所述N型GaN层的顶面,所述P型电极层将处于同一横列或同一数列的所述P型GaN层连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种条形化MicroLED芯片,其特征在于:包括衬底和设于所述衬底上的GaN基外延片,所述GaN基外延片自下而上依次设有N型GaN层、发光量子阱层和P型GaN层,所述N型GaN层上镀设有N型电极层,所述P型GaN层上镀设有P型电极层,其特征在于:所述GaN基外延片设有多个纵横交错分布的隔离槽,所述隔离槽将所述GaN基外延片划分为多个矩阵阵列布置的发光单元,所述隔离槽位于所述N型GaN层的上方且裸露所述N型GaN层的顶面,所述P型电极层将处于同一横列或同一数列的所述P型GaN层连接。
2.根据权利要求1所述的条形化MicroLED芯片,其特征在于:所述隔离槽内的N型GaN层的裸露顶面镀设有与所述N型电极层一体成型的内置N型电极层,所述内置N型电极层的侧边与所述发光单元相隔。
3.根据权利要求2所述的条形化MicroLED芯片,其特征在于:所述内置N型电极层的高度与所述发光量子阱层持平。
4.根据权利要求2所述的条形化MicroLED芯片,其特征在于:所述发光单元上设有保护层,且所述保护层上设有裸露所述P型电极层的导电通道,所述内置N型电极层由所述保护层包覆。
5.根据权利要求4所述的条形化MicroLED芯片,其特征在于:所述P型电极层通过所述导电通道凸出...
【专利技术属性】
技术研发人员:张洪安,陈慧秋,武杰,易翰翔,李玉珠,
申请(专利权)人:广东德力光电有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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