一种减反膜的厚度测量装置及原位监控减反膜生长的方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种减反膜的厚度测量装置及原位监控减反膜生长的方法，属于减反膜厚度检测技术领域，包括：样品台，具有容纳太阳能电池的凹腔；激光发射器，其激光发射方向朝向所述太阳能电池表面的减反膜设置；电流测试仪，其正负极分别与所述太阳能电池的相对两侧电连接；本发明专利技术提供的减反膜的厚度测量装置，通过激光发射器照射在太阳能电池表面上产生电流，使用电流测试仪对太阳能电池产生的电流进行检测，当减反膜的厚度不同时，激光照射所产生的电流也会有所不同，通过检测电流的大小，进而判断减反膜的厚度，保证减反膜厚度测量准确。

【技术实现步骤摘要】
一种减反膜的厚度测量装置及原位监控减反膜生长的方法
本专利技术涉及减反膜厚度检测
，具体涉及一种减反膜的厚度测量装置及原位监控减反膜生长的方法。
技术介绍
减反膜(ARC)是太阳能电池制造中需要重点考虑的薄膜结构之一。减反膜可以减少太阳能电池表面对入射光的反射，增加太阳光的透过率，提高光生电流和转换效率。透明氧化物导电膜(TCO)是太阳能电池中应用最广泛的透明电极材料，兼具有光学和电学两种性能。对于光学性能来说，TCO膜需要满足减反膜对厚度的要求，一定厚度的薄膜能对某波长的光形成最佳反射效果，所以TCO膜厚度往往对应太阳光谱中强度最高的波长。但单一减反膜的减反效果有限，除最佳减反波长外，其它波段未到达最佳减反效果，往往需要添加额外的减反膜，即形成多层减反膜结构。这层额外的减反膜可以是MgF2、SiO2或者Si3N4等光学材料，这些材料相对TCO膜来说具有较低的折射系数和消光系数。这些额外减反膜材料的生长通常采用蒸镀设备，可以利用电阻加热或电子束加热的方式进行。现有技术通常采用晶振来测量膜厚，其原理是利用沉积到晶振上的物质的量与晶振本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减反膜的厚度测量装置，其特征在于，包括：/n样品台(3)，具有容纳太阳能电池(7)的凹腔；/n激光发射器(2)，其激光发射方向朝向所述太阳能电池(7)表面的减反膜设置；/n电流测试仪(4)，其正极、负极分别与所述太阳能电池(7)的相对两侧电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种减反膜的厚度测量装置，其特征在于，包括：
样品台(3)，具有容纳太阳能电池(7)的凹腔；
激光发射器(2)，其激光发射方向朝向所述太阳能电池(7)表面的减反膜设置；
电流测试仪(4)，其正极、负极分别与所述太阳能电池(7)的相对两侧电连接。


2.根据权利要求1所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述电流测试仪(4)的正极连接有第一电极贴片，所述电流测试仪(4)的负极连接有第二电极贴片，所述第一电极贴片和所述第二电极贴片适于贴附在所述太阳能电池(7)的表面。


3.根据权利要求1所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，还包括激光接收器(5)，其激光接收方向朝向所述太阳能电池(7)表面的减反膜设置；所述激光发射器(2)发射的激光经过所述减反膜反射后能被所述激光接收器(5)接收，所述激光接收器(5)连接有光强测试装置。


4.根据权利要求3所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述激光发射器(2)和所述激光接收器(5)均安装在所述样品台(3)上，所述激光发射器(2)和所述激光接收器(5)的角度范围在0－90度之间。


5.根据权利要求1－4中任意一项所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述样品台(3)为镀膜设备内承载太阳能电池(7)进行镀膜的载台，所述样品台(3)上凹腔的开口面向镀膜设备内的蒸发源(6)。


6.根据权利要求5所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述凹腔的开口侧设有挡板(1)，所述挡板(1)用于遮挡在所述太阳能电池(7)的镀膜面和所述蒸发源(6)之间。


7.根据权利要求6所述的减反膜的厚度测量装置，其特征在于，所述挡板(1)连接有驱动件；所述挡板(1)在所述驱动件的作用下具有遮挡在所述太阳能电池(7)的镀膜面和所述蒸发源(6)之间的减反膜测试状态，以及从所述太阳能电池(7)的镀膜面和所述蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：发明
国别省市：安徽;34