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本发明提供了一种减反膜的厚度测量装置及原位监控减反膜生长的方法，属于减反膜厚度检测技术领域，包括：样品台，具有容纳太阳能电池的凹腔；激光发射器，其激光发射方向朝向所述太阳能电池表面的减反膜设置；电流测试仪，其正负极分别与所述太阳能电池的相对...该专利属于宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙)所有，仅供学习研究参考，未经过宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙)授权不得商用。