一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材，包括靶材，所述靶材的两侧分别连接有外框，且外框的内部连接有可将靶材进行更换的更换机构，本实用新型专利技术通过增加了更换机构，解决了喷涂大面积玻璃时拼接大面积的靶材时不稳定的问题，实现了拼接大面积靶材时保证了靶材的稳定性，增加了分隔板，保证了大面积靶材在拼接时缝隙不会过大或者过小，同时在喷涂玻璃时，可能因为喷涂的面积导致有的靶材先使用完成，可以通过更换机构单独对其中用完的靶材进行更换，在外框附近增加了通风管，可以使靶材在镀膜时可以进行散热，避免拼接口温度过高造成靶材损坏。过高造成靶材损坏。过高造成靶材损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材


[0001]本技术涉及靶材
，具体为一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材。

技术介绍

[0002]靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
[0003]对于大面积玻璃镀膜常用的靶材按形状分包括平面靶和旋转靶，现有的平面靶材材料，在制备过程中，可以制备成较大面积的靶材，但是要喷涂更大面积的时候，需要进行一个拼接，现有的靶材喷涂大面积玻璃时拼接仅仅是将靶材放置在一起进行喷涂，而面积较大的靶材不容易掌握拼接的距离，容易导致喷涂不均匀，以及喷涂速度不同导致喷涂完后的靶材不好进行更换，在拼接时靶材之间产生的高热量，容易损坏靶材，为此，我们提出一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材，包括靶材，所述靶材的两侧分别连接有外框，且外框的内部连接有可将靶材进行更换的更换机构,方便靶材镀膜时固定。
[0006]优选的，所述更换机构包括第一凹槽，所述第一凹槽开设在外框的内部，且第一凹槽的内部套接有多个楔形块，所述第一凹槽底端与楔形块底端之间连接有多个弹簧，所述楔形块的一端开设有第二凹槽，且第二凹槽的内壁上开设有第一孔，所述楔形块的表面开设有楔形孔，所述外框的表面开设有多个第二孔，且第二孔的内部套接有插销，所述插销的一端连接有按钮，且插销的表面连接有限位环，所述外框的表面连接有固定块，且固定块的内部开设有卡槽，所述卡槽与限位环滑动连接，其中一个所述插销的顶端与楔形孔接触，便于靶材在镀膜时的固定，以及方便更换使用完的靶材，同时也可以保证每块靶材之间镀膜时不受影响。
[0007]优选的，所述靶材的两侧分别连接有通风管，且通风管的一侧开设有出风口，便于靶材的散热。
[0008]优选的，所述外框的一侧连接有分隔板，可以使靶材拼接时的缝隙固定。
[0009]优选的，所述第一凹槽的内部连接有通风口，使外框的内部进行散热。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]本技术通过增加了更换机构，解决了喷涂大面积玻璃时拼接大面积的靶材时不稳定的问题，实现了拼接大面积靶材时保证了靶材的稳定性，增加了分隔板，保证了大面积靶材在拼接时缝隙不会过大或者过小，同时在喷涂玻璃时，可能因为喷涂的面积导致有的靶材先使用完成，可以通过更换机构单独对其中用完的靶材进行更换，在外框附近增加了通风管，可以使靶材在镀膜时可以进行散热，避免拼接口温度过高造成靶材损坏。
附图说明
[0012]图1为本技术整体结构示意图。
[0013]图2为本技术整体结构侧面示意图。
[0014]图3为本技术更换结构剖面图。
[0015]图4为本技术更换结构爆炸示意图。
[0016]图5为图2中A区域放大图。
[0017]图6为图3中B区域放大图。
[0018]图7为图3中C区域放大图。
[0019]图8为图3中D区域放大图。
[0020]图9为图4中E区域放大图。
[0021]图10为图4中F区域放大图。
[0022]图中：1
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靶材；2
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外框；3
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更换机构；4
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第一凹槽；5
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楔形块；6
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弹簧；7
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第二凹槽；8
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第一孔；9
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楔形孔；10
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第二孔；11
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插销；12
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按钮；13
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限位环；14
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固定块；15
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卡槽；16
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通风管；17
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出风口；18
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分隔板；19
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通风口。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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10，本技术提供一种技术方案：一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材，包括靶材1，所述靶材1的两侧分别连接有外框2，且外框2的内部连接有可将靶材1进行更换的更换机构3，在对大面积玻璃镀膜时使用更换机构3。
[0025]所述更换机构3包括第一凹槽4，所述第一凹槽4开设在外框2的内部，且第一凹槽4的内部套接有多个楔形块5，所述第一凹槽4底端与楔形块5底端之间连接有多个弹簧6，所述楔形块5的一端开设有第二凹槽7，且第二凹槽7的内壁上开设有第一孔8，所述楔形块5的表面开设有楔形孔9，所述外框2的表面开设有多个第二孔10，且第二孔10的内部套接有插销11，所述插销11的一端连接有按钮12，且插销11的表面连接有限位环13，所述外框2的表面连接有固定块14，且固定块14的内部开设有卡槽15，所述卡槽15与限位环13滑动连接，其中一个所述插销11的顶端与楔形孔9接触，使用更换机构3时，将靶材1放置在楔形块5上，向下推压楔形块5，楔形块5向第一凹槽4内挤压弹簧6，当靶材1接触到第二凹槽7的内壁时，楔形块5弹出将靶材1卡紧，当需要跟换使用完的靶材1时，按下其中一个插销11的按钮12通过楔形孔9将楔形块5向内侧推动挤压弹簧6，再按下另一个插销11的按钮12，将插销11穿过第
一孔8将靶材1推起，进行更换，便于靶材1在镀膜时的固定，以及方便更换使用完的靶材1，同时也可以保证每块靶材1之间镀膜时不受影响。
[0026]所述靶材1的两侧分别连接有通风管16，且通风管16的一侧开设有出风口17，便于靶材1的散热。
[0027]所述外框2的一侧连接有分隔板18，可以使靶材1拼接时的缝隙固定。
[0028]所述第一凹槽4的内部连接有通风口19，使外框2的内部进行散热。
[0029]在对大面积玻璃镀膜时使用更换机构3，使用更换机构3时，将靶材1放置在楔形块5上，向下推压楔形块5，楔形块5向第一凹槽4内挤压弹簧6，当靶材1接触到第二凹槽7的内壁时，楔形块5弹出将靶材1卡紧，当需要跟换使用完的靶材1时，按下其中一个插销11的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材，包括靶材（1），其特征在于：所述靶材（1）的两侧分别连接有外框（2），且外框（2）的内部连接有可将靶材（1）进行更换的更换机构（3）。2.根据权利要求1所述的一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材，其特征在于：所述更换机构（3）包括第一凹槽（4），所述第一凹槽（4）开设在外框（2）的内部，且第一凹槽（4）的内部套接有多个楔形块（5），所述第一凹槽（4）底端与楔形块（5）底端之间连接有多个弹簧（6），所述楔形块（5）的一端开设有第二凹槽（7），且第二凹槽（7）的内壁上开设有第一孔（8），所述楔形块（5）的表面开设有楔形孔（9），所述外框（2）的表面开设有多个第二孔（10），且第二孔（10）的内部套接有插销（11），所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军社，
申请(专利权)人：宝鸡市佳军金属材料有限公司，
类型：新型
国别省市：