一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜机附属装置的技术领域，特别是涉及一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩；其可进行靶材与屏蔽罩之间间距全面调节；包括环形座、内螺纹管、外螺纹管、四组内罩体板、扩径环和四组外罩体板，四组内罩体板均布于环形座的顶端，四组内罩体板的底端均与环形座的顶端固定连接，内螺纹管的顶端与环形座的底端固定连接，四组内罩体板的底部合围成锥形体，四组内罩体板的上部合围成圆柱体，扩径环的底端与外螺纹管的顶端固定连接，外螺纹管的底端自内螺纹管的底端螺装穿过外螺纹管自外螺纹管的底端穿出，四组外罩体板分别固定设置于四组内罩体板的外壁上，四组外罩体板位于四组内罩体板之间的间距处。组内罩体板之间的间距处。组内罩体板之间的间距处。

【技术实现步骤摘要】
一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩


[0001]本技术涉及镀膜机附属装置的
，特别是涉及一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩。

技术介绍

[0002]众所周知，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点
‑
岛状结构
‑
迷走结构
‑
层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜；公开(公告)号CN209307481U公开了一种分体式靶材屏蔽罩，包括第一本体和第二本体，所述第一本体设有承口部，所述第二本体设有插接部，第一本体和第二本体通过承口部和插接部进行承插连接并形成可罩扣在靶材上的罩体。其通过在屏蔽罩第一本体上设有承口，第二本体上设有凸缘，第一本体与第二本体通过承口与凸缘进行承插连接，并且通过改变凸缘插入承口的深度来实现调节屏蔽罩内腔的大小，以调节靶材与屏蔽罩之间的距离，避免靶材在转动的过程中与屏蔽罩接触的同时又能满本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩，其特征在于，包括环形座(1)、内螺纹管(2)、外螺纹管(3)、四组内罩体板(4)、扩径环(5)和四组外罩体板(6)，所述四组内罩体板(4)均布于所述环形座(1)的顶端，所述四组内罩体板(4)的底端均与所述环形座(1)的顶端固定连接，所述内螺纹管(2)的顶端与所述环形座(1)的底端固定连接，所述四组内罩体板(4)的底部合围成锥形体，所述四组内罩体板(4)的上部合围成圆柱体，所述扩径环(5)的底端与所述外螺纹管(3)的顶端固定连接，所述外螺纹管(3)的底端自内螺纹管(2)的底端螺装穿过外螺纹管(3)自外螺纹管(3)的底端穿出，所述扩径环(5)与所述四组内罩体板(4)合围成的锥形体内壁紧密接触，所述四组外罩体板(6)分别固定设置于所述四组内罩体板(4)的外壁上，所述四组外罩...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐国防，
申请(专利权)人：东光县益丰机械有限公司，
类型：新型
国别省市：