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本实用新型涉及镀膜机附属装置的技术领域，特别是涉及一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩；其可进行靶材与屏蔽罩之间间距全面调节；包括环形座、内螺纹管、外螺纹管、四组内罩体板、扩径环和四组外罩体板，四组内罩体板均布于环形座的顶端，四组内罩体板的底端均...
该专利属于东光县益丰机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东光县益丰机械有限公司授权不得商用。

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