一种玻璃镀膜用钛管靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种玻璃镀膜用钛管靶材，本实用新型专利技术公开了一种玻璃镀膜用钛管靶材，包括靶材本体，所述靶材本体包括用于镀膜的管体，所述管体一端连接有便于调节的连接机构，所述连接机构内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构，本实用新型专利技术通过设置在管体一端的连接机构和锁紧机构之间的相互配合，连接机构调节靶材与设备连接的位置高度，锁紧机构对不同连接位置进行锁紧，这种连接方式相对于现有的粘合方式，解决了在玻璃镀膜时靶材脱落、镀膜失败和工作效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃镀膜用钛管靶材
本技术涉及靶材
，具体为一种玻璃镀膜用钛管靶材。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。现有靶材绑定是通过结合层将靶材和镀膜设备进行粘合，粘合材料还必须满足较好的导热、导电和足够支撑强度的要求，这种粘合方式不够稳定，可能会在粘合过程中粘合力度不够，导致支撑性差，或者粘合位置发生偏移，导致靶材歪斜，还有就是在更换靶材不方便，这些都会造成在镀膜过程中靶材脱落、镀膜失败和靶材更换速度慢等问题。为此，我们提出一种玻璃镀膜用钛管靶材。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种玻璃镀膜用钛管靶材，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种玻璃镀膜用钛管靶材，所述靶材本体包括用于镀膜的管体，所述管体一端连接有便于调节的连接机构，所述连接机构内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构。优选的，所述连接机构包括连接在管体四周均匀分布的多个连接座，所述连接座一侧连接有连接导杆，所述连接导杆远离连接座的一端滑动连接有导杆座，且导杆座底部连接有套管，有利于调节不同安装高度位置。优选的，所述锁紧机构包括连接在套管内部的两个卡环，两个所述卡环相互配合，所述卡环一侧连接有连接块，所述连接块上连接有轴承，所述轴承内部连接有螺杆，且轴承与螺杆转动连接，所述螺杆远离轴承的一端连接有拧动把手，两个所述卡环配合的两侧分别连接有四个导向块，所述导向块上连接有导向柱，且导向柱与导向块滑动连接，有利于不同安装高度位置的锁紧。优选的，所述管体一端设有限位槽和锁紧槽，有利于调节和固定，所述套管四周连接有多个安装凸块。优选的，所述卡环内部形状与锁紧槽形状相吻合，有利于管体和套管的位置固定。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术本技术通过设置在管体一端的连接机构和锁紧机构之间的相互配合，连接机构调节靶材与设备连接的位置高度，锁紧机构对不同连接位置进行锁紧，这种连接方式相对于现有的粘合方式，解决了在玻璃镀膜时靶材脱落、镀膜失败和工作效率低的问题。附图说明图1为本技术整体结构示意图。图2为本技术结构示意图。图3为本技术结构示意图。图4为本技术管体结构示意图。图5为图3中A区域放大图。图中：1-靶材本体；2-连接机构；3-锁紧机构；4-管体；5-连接座；6-连接导杆；7-限位槽；8-套管；9-导杆座；10-卡环；11-连接块；12-轴承；13-螺杆；14-拧动把手；15-导向块；16-导向柱；17-安装凸块；18-锁紧槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供一种技术方案：一种玻璃镀膜用钛管靶材，包括靶材本体1，所述靶材本体1包括用于镀膜的管体4，所述管体4一端连接有便于调节的连接机构2，所述连接机构2内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构3。连接机构2可通过限位槽7进行滑动，调节连接设备的高度位置，使得靶材本体1针对不同的工作。所述连接机构2包括连接在管体4四周均匀分布的多个连接座5，所述连接座5一侧连接有连接导杆6，所述连接导杆6远离连接座5的一端滑动连接有导杆座9，且导杆座9底部连接有套管8。锁紧机构3通过调节两端的螺杆13，使两个卡环10相互靠近，并卡入锁紧槽18，对其进行纤维固定。所述锁紧机构3包括连接在套管8内部的两个卡环10，两个所述卡环10相互配合，所述卡环10一侧连接有连接块11，所述连接块11上连接有轴承12，所述轴承12内部连接有螺杆13，且轴承12与螺杆13转动连接，所述螺杆13远离轴承12的一端连接有拧动把手14，两个所述卡环10配合的两侧分别连接有四个导向块15，所述导向块15上连接有导向柱16，且导向柱16与导向块15滑动连接。所述管体4一端设有限位槽7和锁紧槽18，所述套管8四周连接有多个安装凸块17，所述卡环10内部形状与锁紧槽18形状相吻合。本技术的操作方式：第一步拧动螺杆13，使两侧卡环10分开，接着拉动套管8，调节需要与设备的连接安装高度，第二步将靶材本体1通过安装凸块17与设备进行连接，连接完成后，移动套管8将管体4上的锁紧槽18与卡环10的位置进行固定，拧动螺杆13使两个卡环10配合进锁紧槽18中，让靶材本体1安全可靠的连接在设备上。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃镀膜用钛管靶材，包括靶材本体（1），其特征在于：所述靶材本体（1）包括用于镀膜的管体（4），所述管体（4）一端连接有便于调节的连接机构（2），所述连接机构（2）内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构（3）。/n

【技术特征摘要】
1.一种玻璃镀膜用钛管靶材，包括靶材本体（1），其特征在于：所述靶材本体（1）包括用于镀膜的管体（4），所述管体（4）一端连接有便于调节的连接机构（2），所述连接机构（2）内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构（3）。


2.根据权利要求1所述的一种玻璃镀膜用钛管靶材，其特征在于：所述连接机构（2）包括连接在管体（4）四周均匀分布的多个连接座（5），所述连接座（5）一侧连接有连接导杆（6），所述连接导杆（6）远离连接座（5）的一端滑动连接有导杆座（9），且导杆座（9）底部连接有套管（8）。


3.根据权利要求2所述的一种玻璃镀膜用钛管靶材，其特征在于：所述锁紧机构（3）包括连接在套管（8）内部的两个卡环（10），两个所述卡环（10）相互配...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军社，
申请(专利权)人：宝鸡市佳军金属材料有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61