一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括支撑腿、把手、侧板、防护布、固定条、保护框、活动轴、轴承、连接板、底板、活动滚和传动带，所述侧板共设有两个，且两个侧板的下侧两端均固定有支撑腿，支撑腿共设有四个，四个支撑腿的内侧中间处通过底板相连接，两个所述侧板的下侧两端均通过连接板相连接，且连接板位于支撑腿的外侧，两个所述侧板的中间处均等距固定有轴承，两个侧板之间通过活动轴相连接，且活动轴的两端均位于轴承的内侧，所述活动轴的中间处均套接有活动滚，所述传动带套接在活动滚的外侧，所述侧板一端的活动轴固定有把手，且把手位于侧板的外侧。本实用新型专利技术有利于对太阳能板进行均匀镀膜传送的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台
本技术涉及镀膜设备
，具体为一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台。
技术介绍
磁控溅射镀膜是指：是将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，涂层材料一直保持固态，不形成熔池。经大量检索发现：中国技术专利：申请号【CN201520171004.6】，公开号【CN204608151U】，本技术公开一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括传送装置，传送装置包括机架和设置在机架上的传动部件，传送装置的两侧设有导向装置，导向装置位于传送装置的上方，导向装置包括导向部件和用于安装导向部件的导向架，导向架连接有缓冲装置，缓冲装置包括固定在机架上的支架、通过支架支撑在传送装置上方的缓冲架以及设置在缓冲架和导向架之间的缓冲部件。本技术能够顺利地将芯片运送到下一工序，防止芯片走偏，当芯片走偏与导向装置碰撞时，产生的冲击力由缓冲装置进行吸收，起到缓冲作用，保护芯片不被损坏，同时缓冲装置将冲击力转换为弹性势能反弹给芯片，修正芯片的移动方向。在对太阳能生产的过程中，为了保证太阳能板的使用效果，需要在太阳能板的外侧进行磁控溅射镀膜，现有的镀膜装置，对太阳能板镀膜的均匀度效果较差，影响太阳能板的后期使用，因此现在需要一种有利于对太阳能板进行均匀镀膜的传送装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，具备有利于对太阳能板进行均匀镀膜传送的优点，解决了现有的镀膜装置，对太阳能板镀膜的均匀度效果较差，影响太阳能板的后期使用的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括支撑腿、把手、侧板、防护布、固定条、保护框、活动轴、轴承、连接板、底板、活动滚和传动带，所述侧板共设有两个，且两个侧板的下侧两端均固定有支撑腿，支撑腿共设有四个，四个支撑腿的内侧中间处通过底板相连接，两个所述侧板的下侧两端均通过连接板相连接，且连接板位于支撑腿的外侧，两个所述侧板的中间处均等距固定有轴承，两个侧板之间通过活动轴相连接，且活动轴的两端均位于轴承的内侧，所述活动轴的中间处均套接有活动滚，所述传动带套接在活动滚的外侧，所述侧板一端的活动轴固定有把手，且把手位于侧板的外侧，所述保护框的下侧两端分别固定在两个侧板的上侧，所述保护框的两端上侧均固定有固定条，且固定条的下端固定有防护布。优选的，两个所述侧板相互对应，所述活动轴和连接板的长度均相等，且活动轴和连接板的长度与两个侧板之间的长度相等。优选的，所述活动轴的长度大于活动滚的长度，所述活动滚的长度大于传动带的宽度，且传动带位于活动滚的中间处。优选的，所述保护框的长度与侧板的长度相等，所述保护框的宽度与固定条的宽度相等，所述保护框的高度小于防护布的高度。优选的，所述底板的长度小于侧板的长度，所述底板的宽度小于活动轴的宽度。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1、本技术通过设置把手和传动带，有利于实现对太阳能板起到移动传送的效果，在对太阳能板进行镀膜时，将太阳能板放置在传动带的上端面，同时在对太阳能板喷射镀膜时，通过摇动把手，使太阳能板进行移动，实现对太阳能板的均匀喷射镀膜。2、本技术通过设置防护布和保护框，有利于实现在对太阳能板喷射镀膜时起到保护的效果，将太阳能板放置在传动带上后，通过对太阳能板的喷射镀膜，同时通过防护布和保护框可避免镀膜材料向外喷出，且通过防护布有利于太阳能板的放置及取出。附图说明图1为本技术的主视结构示意图；图2为本技术的俯视结构示意图；图3为本技术的侧视结构示意图。图中：1、支撑腿；2、把手；3、侧板；4、防护布；5、固定条；6、保护框；7、活动轴；8、轴承；9、连接板；10、底板；11、活动滚；12、传动带。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1至图3，本技术提供的一种实施例：一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括支撑腿1、把手2、侧板3、防护布4、固定条5、保护框6、活动轴7、轴承8、连接板9、底板10、活动滚11和传动带12，侧板3共设有两个，且两个侧板3的下侧两端均固定有支撑腿1，支撑腿1共设有四个，四个支撑腿1的内侧中间处通过底板10相连接，两个侧板3的下侧两端均通过连接板9相连接，且连接板9位于支撑腿1的外侧，两个侧板3的中间处均等距固定有轴承8，两个侧板3之间通过活动轴7相连接，且活动轴7的两端均位于轴承8的内侧，活动轴7的中间处均套接有活动滚11，传动带12套接在活动滚11的外侧，侧板3一端的活动轴7固定有把手2，且把手2位于侧板3的外侧，保护框6的下侧两端分别固定在两个侧板3的上侧，保护框6的两端上侧均固定有固定条5，且固定条5的下端固定有防护布4，在对太阳能板进行镀膜时，将太阳能板放置在传动带12的上端面，同时在对太阳能板喷射镀膜时，通过摇动把手2，使太阳能板进行移动，实现对太阳能板的均匀喷射镀膜。两个侧板3相互对应，活动轴7和连接板9的长度均相等，且活动轴7和连接板9的长度与两个侧板3之间的长度相等。活动轴7的长度大于活动滚11的长度，活动滚11的长度大于传动带12的宽度，且传动带12位于活动滚11的中间处。保护框6的长度与侧板3的长度相等，保护框6的宽度与固定条5的宽度相等，保护框6的高度小于防护布4的高度，将太阳能板放置在传动带12上后，通过对太阳能板的喷射镀膜，同时通过防护布4和保护框6可避免镀膜材料向外喷出，且通过防护布4有利于太阳能板的放置及取出。底板10的长度小于侧板3的长度，底板10的宽度小于活动轴7的宽度。工作原理：本技术工作中，在对太本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括支撑腿(1)、把手(2)、侧板(3)、防护布(4)、固定条(5)、保护框(6)、活动轴(7)、轴承(8)、连接板(9)、底板(10)、活动滚(11)和传动带(12)，其特征在于：所述侧板(3)共设有两个，且两个侧板(3)的下侧两端均固定有支撑腿(1)，支撑腿(1)共设有四个，四个支撑腿(1)的内侧中间处通过底板(10)相连接，两个所述侧板(3)的下侧两端均通过连接板(9)相连接，且连接板(9)位于支撑腿(1)的外侧，两个所述侧板(3)的中间处均等距固定有轴承(8)，两个侧板(3)之间通过活动轴(7)相连接，且活动轴(7)的两端均位于轴承(8)的内侧，所述活动轴(7)的中间处均套接有活动滚(11)，所述传动带(12)套接在活动滚(11)的外侧，所述侧板(3)一端的活动轴(7)固定有把手(2)，且把手(2)位于侧板(3)的外侧，所述保护框(6)的下侧两端分别固定在两个侧板(3)的上侧，所述保护框(6)的两端上侧均固定有固定条(5)，且固定条(5)的下端固定有防护布(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括支撑腿(1)、把手(2)、侧板(3)、防护布(4)、固定条(5)、保护框(6)、活动轴(7)、轴承(8)、连接板(9)、底板(10)、活动滚(11)和传动带(12)，其特征在于：所述侧板(3)共设有两个，且两个侧板(3)的下侧两端均固定有支撑腿(1)，支撑腿(1)共设有四个，四个支撑腿(1)的内侧中间处通过底板(10)相连接，两个所述侧板(3)的下侧两端均通过连接板(9)相连接，且连接板(9)位于支撑腿(1)的外侧，两个所述侧板(3)的中间处均等距固定有轴承(8)，两个侧板(3)之间通过活动轴(7)相连接，且活动轴(7)的两端均位于轴承(8)的内侧，所述活动轴(7)的中间处均套接有活动滚(11)，所述传动带(12)套接在活动滚(11)的外侧，所述侧板(3)一端的活动轴(7)固定有把手(2)，且把手(2)位于侧板(3)的外侧，所述保护框(6)的下侧两端分别固定在两个侧板(3)的上侧，所述保护框(6)的两端上侧均固定有固定条(5)，且固定条(5)的下端固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：李长栋，魏承亚，魏茂奎，
申请(专利权)人：山东沐东真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37