一种磁控溅射设备的换样片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体，设备主体的内侧壁固定连接第一伸缩杆，移动板的一侧固定连接有压力板，设备主体的正面活动连接有拉门，支架的一端固定连接有放置架，放置架的一侧活动连接有样片主体，样片主体的一侧活动连接有卡板，卡板的一侧固定连接有第一弹簧，第一弹簧的一侧固定连接有第一固定板，第一固定杆的一侧活动连接有第二固定杆，第二固定杆的内部活动连接有限位杆，限位杆的一侧固定连接有第二弹簧。本实用新型专利技术通过第二弹簧的设置，能够使工人能够对设备的样片进行更换，使工人工作更加轻松便捷，通过第一弹簧的设置，能够使提高设备固定的牢固性，防止出现样片滑落的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射设备的换样片装置
本技术涉及真空镀膜
，具体为一种磁控溅射设备的换样片装置。
技术介绍
磁控溅射设备是一种利用物理气相沉积法进行真空镀膜的实验仪器，通过电离出的离子轰击靶材，溅射出的靶材原子沉积在基片上制成薄膜，可以制备金属薄膜、半导体薄膜和高聚物薄膜等多种材质的薄膜。现有设备的换样片装置，较为复杂，不利于工人进行操作，且配合不牢固，易出现样片滑落的情况，而且耗费时间长，易造成样片损伤的情况，因此我们需要一种磁控溅射设备的换样片装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种磁控溅射设备的换样片装置以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体，所述设备主体的内侧壁固定连接第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的一端固定连接有移动板，所述移动板的一侧固定连接有压力板，所述设备主体的正面活动连接有拉门，所述拉门的一侧固定连接有支架，所述支架的一端固定连接有放置架，所述放置架的一侧活动连接有样片主体，所述样片主体的一侧活动连接有卡板，所述卡板的一侧固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的一侧固定连接有第一固定板，所述设备主体的内顶壁固定连接有第一固定杆，所述第一固定杆的一侧活动连接有第二固定杆，所述第二固定杆的内部活动连接有限位杆，所述限位杆的一侧固定连接有第二弹簧。优选的，所述第二弹簧的一侧固定连接有弹簧套，所述弹簧套与设备主体的内顶壁固定连接。优选的，所述限位杆的一端固定连接有第一把手，所述限位杆的另一端活动连接有限位块。优选的，所述移动板的两端均活动连接有第一滑槽，所述第一滑槽与设备主体的内顶壁固定连接。优选的，所述卡板的一端活动连接有第二滑槽，所述第二滑槽与放置架的内侧壁固定连接。优选的，所述第一弹簧的内部固定连接有第二伸缩杆，所述拉门的正面固定连接有第二把手。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术通过第二弹簧的设置，能够使限位杆对第二固定杆进行固定，当工人拉动限位杆时，第二固定杆能够拉出第一固定杆外，方便拉门打开，同时使工人能够对设备的样片进行更换，提高工作效率，使工人工作更加轻松便捷。2、本技术通过第一弹簧的设置，能够使卡板对样片主体进行安装固定，当压力板对样片主体进行挤压时，卡板通过斜面进行移动，使样片主体能够被挤压，当压力板回收时，第一弹簧能够带动卡板进行复位，提高设备固定的牢固性，防止出现样片滑落的情况，提高设备的使用效果。附图说明图1为本技术主视结构示意图；图2为本技术侧视结构示意图；图3为本技术图1中A处放大结构示意图；图4为本技术图1中B处放大结构示意图。图中：1、设备主体；2、第一伸缩杆；3、移动板；4、压力板；5、拉门；6、支架；7、放置架；8、样片主体；9、卡板；10、第一弹簧；11、第一固定板；12、第一固定杆；13、第二固定杆；14、限位杆；15、第二弹簧；16、弹簧套；17、第一把手；18、限位块；19、第一滑槽；20、第二滑槽；21、第二伸缩杆；22、第二把手。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体1，设备主体1的内侧壁固定连接第一伸缩杆2，第一伸缩杆2的一端固定连接有移动板3，移动板3的一侧固定连接有压力板4，通过第一伸缩杆2的设置，能够使移动板3带动压力板4对样片主体8进行挤压，设备主体1的正面活动连接有拉门5，拉门5的一侧固定连接有支架6，支架6的一端固定连接有放置架7，放置架7的一侧活动连接有样片主体8，样片主体8的一侧活动连接有卡板9，卡板9的一侧固定连接有第一弹簧10，第一弹簧10的一侧固定连接有第一固定板11，通过第一弹簧10的设置，能够使卡板9对样片主体8进行安装固定，当压力板4对样片主体8进行挤压时，卡板9通过斜面进行移动，使样片主体8能够被挤压，当压力板4回收时，第一弹簧10能够带动卡板9进行复位，提高设备固定的牢固性，防止出现样片滑落的情况，提高设备的使用效果，设备主体1的内顶壁固定连接有第一固定杆12，第一固定杆12的一侧活动连接有第二固定杆13，第二固定杆13的内部活动连接有限位杆14，限位杆14的一侧固定连接有第二弹簧15，通过第二弹簧15的设置，能够使限位杆14对第二固定杆13进行固定，当工人拉动限位杆14时，第二固定杆13能够拉出第一固定杆12外，方便拉门5打开，同时使工人能够对设备的样片进行更换，提高工作效率，使工人工作更加轻松便捷。进一步，第二弹簧15的一侧固定连接有弹簧套16，弹簧套16与设备主体1的内顶壁固定连接，通过弹簧套16的设置，能够对第二弹簧15在压缩时进行保护，防止第二弹簧15发生变形，提高第二弹簧15的使用寿命。进一步，限位杆14的一端固定连接有第一把手17，限位杆14的另一端活动连接有限位块18，通过第一把手17的设置，能够使工人方便对限位杆14进行向上移动，方便工人进行拆卸。进一步，移动板3的两端均活动连接有第一滑槽19，第一滑槽19与设备主体1的内顶壁固定连接，通过第一滑槽19的设置，能够方便移动板3进行移动，减少移动板3移动时的摩擦。进一步，卡板9的一端活动连接有第二滑槽20，第二滑槽20与放置架7的内侧壁固定连接，通过第二滑槽20的设置，能够方便卡板9进行移动，减少卡板9移动时的摩擦。进一步，第一弹簧10的内部固定连接有第二伸缩杆21，拉门5的正面固定连接有第二把手22，通过第二伸缩杆21的设置，能够对第一弹簧10进行保护，防止第一弹簧10在压力过大时发生变形，提高第一弹簧10的使用寿命，通过第二把手22的设置，能够使工人方便对拉门5进行打开，提高工作本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)的内侧壁固定连接第一伸缩杆(2)，所述第一伸缩杆(2)的一端固定连接有移动板(3)，所述移动板(3)的一侧固定连接有压力板(4)，所述设备主体(1)的正面活动连接有拉门(5)，所述拉门(5)的一侧固定连接有支架(6)，所述支架(6)的一端固定连接有放置架(7)，所述放置架(7)的一侧活动连接有样片主体(8)，所述样片主体(8)的一侧活动连接有卡板(9)，所述卡板(9)的一侧固定连接有第一弹簧(10)，所述第一弹簧(10)的一侧固定连接有第一固定板(11)，所述设备主体(1)的内顶壁固定连接有第一固定杆(12)，所述第一固定杆(12)的一侧活动连接有第二固定杆(13)，所述第二固定杆(13)的内部活动连接有限位杆(14)，所述限位杆(14)的一侧固定连接有第二弹簧(15)。/n

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)的内侧壁固定连接第一伸缩杆(2)，所述第一伸缩杆(2)的一端固定连接有移动板(3)，所述移动板(3)的一侧固定连接有压力板(4)，所述设备主体(1)的正面活动连接有拉门(5)，所述拉门(5)的一侧固定连接有支架(6)，所述支架(6)的一端固定连接有放置架(7)，所述放置架(7)的一侧活动连接有样片主体(8)，所述样片主体(8)的一侧活动连接有卡板(9)，所述卡板(9)的一侧固定连接有第一弹簧(10)，所述第一弹簧(10)的一侧固定连接有第一固定板(11)，所述设备主体(1)的内顶壁固定连接有第一固定杆(12)，所述第一固定杆(12)的一侧活动连接有第二固定杆(13)，所述第二固定杆(13)的内部活动连接有限位杆(14)，所述限位杆(14)的一侧固定连接有第二弹簧(15)。


2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备的换样片装置，其特征在于：所述第二弹簧...

【专利技术属性】
技术研发人员：李长栋，魏承亚，魏茂奎，
申请(专利权)人：山东沐东真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37