溅射镀膜靶材锁紧机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种溅射镀膜靶材锁紧机构，包括电极板和靶材锁紧环，其中，所述电极板的顶壁开设有贯穿顶壁的一个或多个通气孔；所述电极板的侧壁上设置有第一连接结构；所述靶材锁紧环的侧壁上设置有用于与电极板上的第一连接结构配合以将两者连接并锁紧在一起的第二连接结构。本实用新型专利技术的溅射镀膜靶材锁紧机构，制造容易且加工成本降低，安装与更换靶材更加非常方便，靶材锁紧环与电极板连接后工作可靠性高，不易损坏。不易损坏。不易损坏。

【技术实现步骤摘要】
溅射镀膜靶材锁紧机构


[0001]本技术涉及离子溅射镀膜
，具体涉及一种应用于离子溅射仪等的制备电子显微镜样品、电极等设备中对溅射靶材固定及高电压引入的溅射镀膜靶材锁紧机构。

技术介绍

[0002]现有离子溅射仪靶材固定及高电压引入的方式采用如图5所示的螺纹连接结构，即，电极柱1与电极板2
’
之间通过螺纹连接，电极板2
’
又与靶材锁紧环5
’
之间通过螺纹连接，安装时，先把溅射的靶材4放置于靶材锁紧环5
’
内，再将靶材支撑板3压在靶材4上方，最后将电极板2
’
对准靶材锁紧环5
’
，利用靶材锁紧环5
’
内螺纹与电极板2
’
外螺纹的配合，将电极板2
’
和靶材锁紧环5
’
连接在一起，完成对靶材4的固定、锁紧。采用这种靶材锁紧机构，可以实现溅射靶材的固定以及溅射时所需的高电压引入。
[0003]但是，由于溅射靶材多为圆形薄片结构，直径一般不小于50mm，厚度一般不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜靶材锁紧机构，包括电极板和靶材锁紧环，其特征在于：所述电极板的顶壁开设有贯穿顶壁的一个或多个通气孔；所述电极板的侧壁上设置有第一连接结构；所述靶材锁紧环的侧壁上设置有用于与电极板上的第一连接结构配合以将两者连接并锁紧在一起的第二连接结构。2.根据权利要求1所述的溅射镀膜靶材锁紧机构，其特征在于，所述第一连接结构包括设置在所述电极板侧壁外表面且沿其径向朝外突出的凸台，或者，所述第一连接结构包括设置在所述电极板侧壁内表面且沿其径向朝内突出的凸台，朝外突出的凸台或者朝内突出的凸台的数量大于或等于2个。3.根据权利要求2所述的溅射镀膜靶材锁紧机构，其特征在于，所述朝外突出的凸台的外壁与所述电极板中心轴之间的间距大于所述靶材锁紧环侧壁内表面的直径。4.根据权利要求2所述的溅射镀膜靶材锁紧机构，其特征在于，所述朝内突出的凸台的内壁与所述电极板中心轴之间的间距大于所述靶材锁紧环侧壁外表面的直径。5.根据权利要求2
‑
4任一项所述的溅射镀膜靶材锁紧机构，其特征在于，所述第二连接结构包括开设在所述靶材锁紧环的侧壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏国庆，
申请(专利权)人：北京格微仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：