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本实用新型公开了一种溅射镀膜靶材锁紧机构，包括电极板和靶材锁紧环，其中，所述电极板的顶壁开设有贯穿顶壁的一个或多个通气孔；所述电极板的侧壁上设置有第一连接结构；所述靶材锁紧环的侧壁上设置有用于与电极板上的第一连接结构配合以将两者连接并锁紧在...
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