一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置及方法，由承载平台、底座、支撑座、支撑杆、连接杆、激光灯及多孔光学元件组成；承载平台的中心有一个呈凹陷状的下沉圆形台阶，底座放入该下沉圆形台阶内；底座的顶部设置有大台面，在大台面的上面设置有一个圆形的小台面，小台面上设置有一个用于摆放支撑座的圆形通孔；支撑座呈圆环形，其中间区域为通孔；其外圆侧设有台阶，使用时该台阶与底座的圆形通孔配合定位；支撑座内摆放多孔光学元件；在承载平台的顶部设置支撑杆，支撑杆的顶端横置有连接杆，连接杆的另一头安装有激光灯。本发明专利技术在把多孔光学元件的通道孔轴向统一调整为垂直于蒸发源后，镀制的输入氧化物膜一致性更好、更均匀。更均匀。更均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置及方法


[0001]本专利技术涉及一种将多孔光学元件镀膜前的通道孔径在垂直方向对准镀膜设备蒸发源的 装置及方法，尤其是一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置及方法，属于多孔光学元件


技术介绍

[0002]以微光像增强器为代表的真空光电子器件在社会发展及国民经济的各行业中有着广泛 的应用，在国际国内受到普遍的重视。
[0003]微光像增强器主要由光电阴极输入窗、多碱光电阴极、多孔光学元件、荧光屏、阳极输 出窗及高压电源等零部件组成。其工作原理是：在夜间低照度环境下，将人眼不能看见的来 自目标的微弱光线聚集在像增强器的光电阴极上，通过多碱光电阴极把光学图像转换成相应 的电子图像，电子图像经多孔光学元件(电子倍增器)放大、增强，再经阳极高压加速，轰 击荧光屏转换成亮度足够的光学图像，最后经过阳极输出窗输出。
[0004]多孔光学元件是一种大面阵的通道电子倍增器，由无数根空芯通道所组成。多孔光学元 件的通道孔轴向与元件柱面存在一定的斜切角。多孔光学元件由通道孔及通道壁组成。如果 一个多孔光学元件的开口面积比为65％，即从几何角度考虑，多孔光学元件的通道孔面积为 65％，通道壁面积为35％。
[0005]多孔光学元件的输入面及输出面均镀制有一层具有良好导电性和粘附性的镍
‑
铬合金电 极。镍
‑
铬合金电极采用真空蒸发的工艺进行镀制。在多孔光学元件的输入面及输出面上镀 制电极时，其通道壁和通道孔口上都会镀上电极。
[0006]由于多孔光学元件的通道孔轴向与元件柱面存在一定的斜切角，如果在镀膜前没有把多 孔光学元件的通道孔轴向统一调整为垂直于蒸发源时，镀制后就会出现输入氧化物膜与输出 金属膜覆盖输入及输出电极深度不一致的情况。该情况会造成像增强器信噪比及分辨力较 低。

技术实现思路

[0007]为了克服上述问题，本专利技术的一个目的是提供一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装 置，该装置能够帮助实现在镀膜前把多孔光学元件的通道孔轴向统一调整为垂直于蒸发源； 本专利技术的另一个目的是提供一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准方法，利用本专利技术的装置 实现多孔光学元件的通道孔轴向统一调整为垂直于蒸发源。
[0008]本专利技术的根本目的是解决当前多孔光学元件镀膜时输入氧化物膜与输出金属膜覆盖输 入及输出电极深度不一致的问题，提供一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置及方法， 提高像增强器的信噪比和分辨力。
[0009]本专利技术的主要技术方案是：
[0010]一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置，主要由承载平台、底座、支撑座、支撑杆、 连接杆、激光灯及多孔光学元件组成；所述承载平台的中心位置设置有一个呈凹陷
状的下沉 圆形台阶，所述底座放入该下沉圆形台阶内；所述底座内部为中空，其正前方设置有一个长 方形的开口；所述底座的顶部设置有大台面，在大台面的上面设置有一个圆形的小台面，小 台面上设置有一个用于摆放支撑座的圆形通孔；大台面呈水平状态，小台面的中心线与大台 面的中心线之间有一夹角，小台面呈小角度倾向圆形通孔状态；所述支撑座呈圆环形，其中 间区域为通孔；在其轴向垂直中心轴线位置处设置有供摆放多孔光学元件的呈圆环形的内台 阶，使用时将多孔光学元件放置在该内台阶上定位；在其两侧互为180
°
设置有两个比内台 阶深的凹槽，对准测试时便于使用镊子放入和取出多孔光学元件；支撑座的外圆侧设置有一 个台阶，使用时该台阶与底座的圆形通孔配合定位；所述支撑座可在小台面的圆形通孔内水 平旋转；所述支撑座内摆放多孔光学元件；在所述承载平台的顶部垂直设置支撑杆，支撑杆 的顶端横置设置连接杆，连接杆的另一头安装有激光灯。
[0011]本专利技术的装置的使用过程:
[0012]首先，将承载平台放置于洁净工作台面上。用专用镊子把多孔光学元件的待镀膜面朝上 放入支撑座中。随后将装有多孔光学元件的支撑座放在底座小台面的圆形通孔中，并将底座 放入承载平台的下沉圆形台阶内。打开激光灯，使激光照射多孔光学元件。激光通过多孔光 学元件后，在底座下方的承载平台上形成一个明暗不规则的光斑。通过旋转装有多孔光学元 件的支撑座，使明暗不规则的光斑发生变化，直至光斑聚焦成一个六边形，且中心点最亮。 随后标记多孔光学元件的十二点方向。用镊子将多孔光学元件从支撑座内取出，放入多孔光 学元件镀膜夹具中，保证标记点对准多孔光学元件的镀膜夹具上的标记。
[0013]一种利用所述的多孔光学元件通道孔轴向垂直装置的对准方法，首先将承载平台放置于 洁净的工作台面上，然后按照以下步骤操作：
[0014]1)将多孔光学元件的待镀膜面朝上放入支撑座中。
[0015]2)将装有多孔光学元件的支撑座放在底座小台面的圆形通孔中，并将底座放入承载平台 的下沉圆形台阶内。
[0016]3)打开激光灯，使激光照射多孔光学元件。激光通过多孔光学元件后，在底座下方的承 载平台上形成一个明暗不规则的光斑。
[0017]4)通过旋转装有多孔光学元件的支撑座，使明暗不规则的光斑发生变化，直至光斑聚焦 成一个六边形，且中心点最亮。
[0018]5)标记多孔光学元件的十二点方向。
[0019]6)用镊子将多孔光学元件从支撑座内取出，放入多孔光学元件镀膜夹具中，保证标记点 对准多孔光学元件的镀膜夹具上的标记。
[0020]本专利技术的有益效果是：
[0021]在把多孔光学元件的通道孔轴向统一调整为垂直于蒸发源后，镀制的输入氧化物膜与输 出金属膜覆盖输入及输出电极的深度一致性更好、更均匀。使得像增强器的信噪比及分辨力 指标的到提高。
附图说明
[0022]图1：本专利技术的多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置总体结构示意图。
[0023]图2：本专利技术的支撑座示意图。
[0024]图3：装有多孔光学元件的支撑座示意图。
[0025]图4：本专利技术的底座示意图。
[0026]图5：装有支撑座的底座示意图。
[0027]图6：本专利技术的承载平台示意图。
[0028]图7：本专利技术的连接杆示意图。
[0029]图8：本专利技术的支撑座俯视图。
[0030]图9：装有多孔光学元件的支撑座俯图。
[0031][0032][0033]图中：1
‑
承载平台，2
‑
底座，3
‑
支撑座，4
‑
支撑杆，5
‑
连接杆，6
‑
激光灯，7
‑
紧固螺钉， 8
‑
多孔光学元件；11
‑
下沉圆形台阶；21
‑
大台面，22
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小台面，23
‑
圆形通孔。
具体实施方式
[0034]下面结合附图对本专利技术的实施方式进行具体说明。
[0035]总体来看，本专利技术的装置主要由承本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置，其特征在于：主要由承载平台(1)、底座(2)、支撑座(3)、支撑杆(4)、连接杆(5)、激光灯(6)及多孔光学元件(8)组成；所述承载平台(1)的中心位置设置有一个呈凹陷状的下沉圆形台阶(11)，所述底座(2)放入该下沉圆形台阶(11)内；所述底座(2)内部为中空，其正前方设置有一个长方形的开口；所述底座(2)的顶部设置有大台面(21)，在大台面(21)的上面设置有一个圆形的小台面(22)，小台面(22)上设置有一个用于摆放支撑座(3)的圆形通孔(23)；大台面(21)呈水平状态，小台面(22)的中心线与大台面(21)的中心线之间有一夹角，该夹角使得小台面(22)呈小角度倾向圆形通孔(23)；所述支撑座(3)呈圆环形，其中间区域为通孔，在其轴向垂直中心轴线位置处设置有供摆放多孔光学元件(8)的呈圆环形的内台阶，使用时将多孔光学元件(8)放置在该内台阶上定位；在其两侧互为180
°
设置有两个比内台阶深的凹槽，对准测试时便于使用镊子放入和取出多孔光学元件(8)；支撑座(3)的外圆侧设置有一个台阶，使用时该台阶与底座(2)的圆形通孔(23)配合定位；所述支撑座(3)可在小台面22的圆形通孔(23)内水平旋转；所述支撑座(3)内摆放多孔光学元件(8)；在所述承载平台(1)的顶部垂直设置支撑杆(4)，支撑杆(4)的顶端横置设置连接杆(5)，连接杆(5)的另一头安装有激光灯(6)。2.根据权利要求1所述的多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置，其特征在于：所述小台面(22)的中心线与大台面(21)的中心线之间的夹角为6
°<...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓峰，李廷涛，赵恒，陈超，曾进能，周善堃，钟梓源，常乐，杨振，
申请(专利权)人：北方夜视技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：