【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多碱光电阴极膜厚测量领域,具体涉及一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法及存储介质,尤其是一种基于多参数自适应模型自动测量光电阴极膜厚的方法。
技术介绍
1、微光像增强器是目前公司的主流产品,多碱光电阴极作为微光像增强器的核心组成部件,其性能直接影响像增强器的综合性能指标。
2、在多碱光电阴极制备中,特别是交替反拉切换等工艺环节,需要对膜层厚度信息进行判定,在当前的工艺标准下,通过人眼观察的方式获得阴极膜厚信息的方法已经非常成熟,但由于该方法为主观判断,难免存在出现误判或错判的情况,且也存在部分阴极组件因为结构特殊,导致无法获得膜厚信息,而只能根据经验,进行大致判定,导致器件性能出现起伏,影响产品合格率。此外,由于观察颜色需要人为烘箱,而烘箱周围为高温环境,操作人员存在被烫伤,导致出现安全事故的概率;另一方面,升降烘箱过程中,经常发生因工作台面抖动而导致光电流抖动,最终导致排气车判断错误、冲sb导致阴极性能受到影响,甚至需要退管。
3、在目前的实际应用工艺中,根据膜颜色自动计算阴极膜厚度成为多碱光电阴极
...【技术保护点】
1.一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
5.根据权利要求1-4任一项所述的方法,其特征在于:
6.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,该程序被处理器执行以实现如权利要求书1至5任一项所述的一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法的步骤。
【技术特征摘要】
1.一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:<...
【专利技术属性】
技术研发人员:苏天宁,刘峰阁,杨波,朱荣胜,姬明,肖杰,康健,薛明海,杨慧卿,王伟,张理淞,陈荣兵,宁德鹏,赵航,成帅,汪建良,王磊,曾春华,齐宝玲,
申请(专利权)人:北方夜视技术股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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