一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法及存储介质技术

技术编号:40775900 阅读:24 留言:0更新日期:2024-03-25 20:22
本发明专利技术公开了一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法及存储介质,该方法利用算法和软件实现,通过人工交互的形式,自适应计算模型中多参数,并根据模型参数和通过高清摄像头所采集到的图像对多碱光电阴极薄膜厚度进行计算。包括:1)设置光反射颜色模型计算的矩形区域;2)输入产品线作为样本;3)输入膜厚度经验值和误差范围;4)判断样本点数是否达到要求,若未达到则返回2);5)计算得到光阴极薄膜厚度。本发明专利技术能够保证样本点的工作环境与测试产品的工作环境一致,大大增强了在实际生产过程中的鲁棒性和普适性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多碱光电阴极膜厚测量领域,具体涉及一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法及存储介质,尤其是一种基于多参数自适应模型自动测量光电阴极膜厚的方法。


技术介绍

1、微光像增强器是目前公司的主流产品,多碱光电阴极作为微光像增强器的核心组成部件,其性能直接影响像增强器的综合性能指标。

2、在多碱光电阴极制备中,特别是交替反拉切换等工艺环节,需要对膜层厚度信息进行判定,在当前的工艺标准下,通过人眼观察的方式获得阴极膜厚信息的方法已经非常成熟,但由于该方法为主观判断,难免存在出现误判或错判的情况,且也存在部分阴极组件因为结构特殊,导致无法获得膜厚信息,而只能根据经验,进行大致判定,导致器件性能出现起伏,影响产品合格率。此外,由于观察颜色需要人为烘箱,而烘箱周围为高温环境,操作人员存在被烫伤,导致出现安全事故的概率;另一方面,升降烘箱过程中,经常发生因工作台面抖动而导致光电流抖动,最终导致排气车判断错误、冲sb导致阴极性能受到影响,甚至需要退管。

3、在目前的实际应用工艺中,根据膜颜色自动计算阴极膜厚度成为多碱光电阴极制备中所迫切解决的问本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法,其特征在于:

6.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,该程序被处理器执行以实现如权利要求书1至5任一项所述的一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法的步骤。

【技术特征摘要】

1.一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:<...

【专利技术属性】
技术研发人员:苏天宁刘峰阁杨波朱荣胜姬明肖杰康健薛明海杨慧卿王伟张理淞陈荣兵宁德鹏赵航成帅汪建良王磊曾春华齐宝玲
申请(专利权)人:北方夜视技术股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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