一种晶圆光刻胶剥离设备制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆光刻胶剥离设备，其结构包括加工平台、机体、控制面板，加工平台镶嵌设于机体的内侧端面，机体外侧端面镶嵌卡合安装着控制面板，控制面板位于加工平台的外侧端面，闭合机构上端面设有吸盘机构，在下沉时晶圆片会对吸盘机构形成挤压，使其左右两端的第一空腔向下凹陷，当停止对晶圆片施力时，第一空腔则会在第一磁块的磁性相斥与空气充盈下，向上顶起晶圆片，从而与卡合块相互配合对晶圆片形成卡合。晶圆片形成卡合。晶圆片形成卡合。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆光刻胶剥离设备


[0001]本专利技术属于晶圆光刻显影领域，更具体地说，尤其是涉及到一种晶圆光刻胶剥离设备。

技术介绍

[0002]晶圆光刻胶玻璃设备是一种通过激光灼刻的方式，对固定在加工平台表面的晶圆片进行加工，利用设备调整集装灼刻的固定温度，使得粘附在晶圆片表面的光刻胶随着激光的灼刻而形成脱落。
[0003]基于上述本专利技术人发现，现有的主要存在以下几点不足，比如：由于在通过设备对晶圆片表面的光刻胶进行剥离时，会控制加工端面反复振动调整晶圆片的所在坐标，晶圆片多为轻薄的长片状，使得在振动质量较轻的晶圆片时，快速的振动容易使得晶圆片在振动的过程中形成偏移，导致激光灼刻无法有效的对光刻胶进行剥离。
[0004]因此需要提出一种晶圆光刻胶剥离设备。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术由于在通过设备对晶圆片表面的光刻胶进行剥离时，会控制加工端面反复振动调整晶圆片的所在坐标，晶圆片多为轻薄的长片状，使得在振动质量较轻的晶圆片时，快速的振动容易使得晶圆片在振动的过程中形成偏移，导致激光灼刻无法有效的对光刻胶进行剥离的问题。
[0006]本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：其结构包括加工平台、机体、控制面板，所述加工平台镶嵌设于机体的内侧端面，所述机体外侧端面镶嵌卡合安装着控制面板，所述控制面板位于加工平台的外侧端面；所述加工平台包括灼刻器、载物盘、支撑条、滑动块、滑轨，所述灼刻器活动卡合安装在滑轨的内侧端面，所述载物盘镶嵌设于加工平台的下端内侧面，所述支撑条对称安装在载物盘的左右两端，所述滑动块镶嵌卡合连接着滑轨，所述滑轨位于载物盘的正上方。
[0007]其中，所述载物盘包括镶嵌机构、卡合机构、防滑钮，所述镶嵌机构下端面镶嵌卡合连接着卡合机构，所述卡合机构位于防滑钮的正下方，所述防滑钮对称安装在镶嵌机构的上端左右两侧。
[0008]其中，所述镶嵌机构包括渗气孔、矩形槽块、闭合机构、卡合块、圆槽块，所述渗气孔镶嵌设于圆槽块的内侧端面，所述矩形槽块内侧上端面镶嵌卡合连接着闭合机构，所述闭合机构位于渗气孔的正上方，所述卡合块对称安装在矩形槽块的内端左右两侧，所述圆槽块位于闭合机构的正下方，所述圆槽块的上端面呈圆弧状凹槽，且渗气孔贯穿着矩形槽块与圆槽块的端面。
[0009]其中，所述闭合机构包括吸盘机构、橡胶片、贴合片、柔性支撑条，所述吸盘机构贴合固定在橡胶片的上端外侧面，所述橡胶片镶嵌卡合安装着贴合片，所述贴合片下端对称安装着柔性支撑条，所述柔性支撑条镶嵌设于橡胶片的内侧端面，所述橡胶片内端面为空
心闭合状，且与柔性支撑条之间存在间距。
[0010]其中，所述吸盘机构包括第一磁块、圆弧块、橡胶块、第一空腔，所述第一磁块对称安装在圆弧块的左右两端，所述圆弧块镶嵌卡合安装在橡胶片的外侧上端面，所述橡胶块嵌固安装在吸盘机构的外侧上端面，所述第一空腔镶嵌设于吸盘机构的内侧端面，所述橡胶块与吸盘机构的连接端面采用较为柔软的磁片作为衔接。
[0011]其中，所述卡合机构包括活动槽、镶嵌槽、活动块、第二磁块，所述活动槽镶嵌设于卡合机构的内侧端面，所述镶嵌槽镶嵌卡合安装在卡合机构的右侧端面，所述活动块活动卡合安装在活动槽的右侧内端面，所述第二磁块嵌固安装在活动块的右侧下方，所述活动槽内轮廓呈向内凹陷的扇形凹槽。
[0012]其中，所述活动块包括转轴、气囊、夹紧块、斜面块，所述转轴镶嵌卡合安装在夹紧块的下端面，所述气囊嵌固安装在夹紧块的上端右侧面，所述夹紧块镶嵌设于斜面块的正上方，所述斜面块位于气囊的正下方，所述斜面块的右侧上端面呈圆弧状，且设有滚珠。
[0013]其中，所述夹紧块包括第二空腔、牵引球、摆动块、嵌套杆，所述第二空腔内侧端面镶嵌卡合连接着牵引球，所述牵引球位于嵌套杆的正上方，所述摆动块贴合包裹在第二空腔的外侧端面，所述嵌套杆镶嵌卡合安装在摆动块的内端左右两侧，所述牵引球的外轮廓设有多条长条状橡胶条与第二空腔内端面相连。
[0014]与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：
[0015]1.闭合机构上端面设有吸盘机构，在下沉时晶圆片会对吸盘机构形成挤压，使其左右两端的第一空腔向下凹陷，当停止对晶圆片施力时，第一空腔则会在第一磁块的磁性相斥与空气充盈下，向上顶起晶圆片，从而与卡合块相互配合对晶圆片形成卡合。
[0016]2.在卡合机构向下嵌入时，会通过斜面块表面所镶嵌的圆柱形成滚动，从而将夹紧块向右挤压，使摆动块在嵌套杆的卡合下，对第二空腔形成挤压，将第二空腔内的空气顺着摆动块上端面所形成的间隙处流动，使间隙处的第二空腔顺着空气的灌入而向外膨胀，同时利用牵引球的弹性牵引时刻保证夹紧块的右侧端面对镶嵌机构下端面的持续施力，从而避免在剥离光刻胶时，晶圆片因反复的振动而松动。
附图说明
[0017]图1为本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备的结构示意图。
[0018]图2为本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备加工平台的结构示意图。
[0019]图3为本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备载物盘的结构示意图。
[0020]图4为本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备镶嵌机构的结构示意图。
[0021]图5为本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备闭合机构的结构示意图。
[0022]图6为本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备吸盘机构的结构示意图。
[0023]图7为本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备卡合机构的结构示意图。
[0024]图8为本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备活动块的结构示意图。
[0025]图9为本专利技术一种晶圆光刻胶剥离设备夹紧块的结构示意图。
[0026]图中：加工平台
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1、机体
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2、控制面板
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3、灼刻器
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11、载物盘
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12、支撑条
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13、滑动块
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14、滑轨
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15、镶嵌机构
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121、卡合机构
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122、防滑钮
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123、渗气孔
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211、矩形槽块
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212、闭合机构
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213、卡合块
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214、圆槽块
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215、吸盘机构
‑
131、橡胶片
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132、贴合片
‑
133、柔性支撑
条
‑
134、第一磁块
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311、圆弧块
‑
312、橡胶块
‑
313、第一空腔
‑
314、活动槽
‑
221、镶嵌槽
‑
222、活动块
‑
223、第二磁块
‑
224、转轴
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231、气囊
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232、夹紧块
‑
233、斜面块
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆光刻胶剥离设备，其结构包括加工平台(1)、机体(2)、控制面板(3)，所述加工平台(1)镶嵌设于机体(2)的内侧端面，所述机体(2)外侧端面镶嵌卡合安装着控制面板(3)，所述控制面板(3)位于加工平台(1)的外侧端面；其特征在于：所述加工平台(1)包括灼刻器(11)、载物盘(12)、支撑条(13)、滑动块(14)、滑轨(15)，所述灼刻器(11)活动卡合安装在滑轨(15)的内侧端面，所述载物盘(12)镶嵌设于加工平台(1)的下端内侧面，所述支撑条(13)对称安装在载物盘(12)的左右两端，所述滑动块(14)镶嵌卡合连接着滑轨(15)，所述滑轨(15)位于载物盘(12)的正上方。2.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻胶剥离设备，其特征在于：所述载物盘(12)包括镶嵌机构(121)、卡合机构(122)、防滑钮(123)，所述镶嵌机构(121)下端面镶嵌卡合连接着卡合机构(122)，所述卡合机构(122)位于防滑钮(123)的正下方，所述防滑钮(123)对称安装在镶嵌机构(121)的上端左右两侧。3.根据权利要求2所述的一种晶圆光刻胶剥离设备，其特征在于：所述镶嵌机构(121)包括渗气孔(211)、矩形槽块(212)、闭合机构(213)、卡合块(214)、圆槽块(215)，所述渗气孔(211)镶嵌设于圆槽块(215)的内侧端面，所述矩形槽块(212)内侧上端面镶嵌卡合连接着闭合机构(213)，所述闭合机构(213)位于渗气孔(211)的正上方，所述卡合块(214)对称安装在矩形槽块(212)的内端左右两侧，所述圆槽块(215)位于闭合机构(213)的正下方。4.根据权利要求3所述的一种晶圆光刻胶剥离设备，其特征在于：所述闭合机构(213)包括吸盘机构(131)、橡胶片(132)、贴合片(133)、柔性支撑条(134)，所述吸盘机构(131)贴合固定在橡胶片(132)的上端外侧面，所述橡胶片(132)镶嵌卡合安装着贴合片(133)，所述贴合片(133)下端对称安...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤古嘉，
申请(专利权)人：尤古嘉，
类型：发明
国别省市：