一种外部连接单元送晶圆传送手臂制造技术

本实用新型专利技术公开了一种外部连接单元送晶圆传送手臂，包括一体对称结构的手臂主体，所述手臂主体包括固定部和对称分布在所述固定部两侧的水平支撑部，所述固定部的中间设有若干个朝向支撑部的弧形限位槽，所述支撑部的末端设有若干个朝向固定部的弧形卡槽，所述限位槽和所述卡槽上方的外沿均设有圆弧形过度边。本实用新型专利技术采用上述结构的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，与外接曝光机器对接使用时提高兼容性，节约成本。节约成本。节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种外部连接单元送晶圆传送手臂


[0001]本技术涉及晶圆传送手臂
，特别是涉及一种外部连接单元送晶圆传送手臂。

技术介绍

[0002]目前，半导体设备的传送机器人中与曝光机器对接的传送手臂，结构单一，仅能实现一种型号的晶圆传送，为了适用不同尺寸的晶圆需要不同尺寸的传送臂，极大增加了生产成本。并且，晶圆在传送过程中有时会发生翘曲，传送手臂不能保证晶圆的平稳运输，甚至会发生掉片，造成不必要的损失。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种外部连接单元送晶圆传送手臂，与外接曝光机器对接使用时提高兼容性，节约成本。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了一种外部连接单元送晶圆传送手臂，包括一体对称结构的手臂主体，所述手臂主体包括固定部和对称分布在所述固定部两侧的水平支撑部，所述固定部的中间设有若干个朝向支撑部的弧形限位槽，所述支撑部的末端设有若干个朝向固定部的弧形卡槽，所述限位槽和所述卡槽上方的外沿均设有圆弧形过度边。
[0005]优选的，所述限位槽包括自内向外依次设置的第一限位槽、第二限位槽，所述第一限位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外部连接单元送晶圆传送手臂，其特征在于：包括一体对称结构的手臂主体，所述手臂主体包括固定部和对称分布在所述固定部两侧的水平支撑部，所述固定部的中间设有若干个朝向支撑部的弧形限位槽，所述支撑部的末端设有若干个朝向固定部的弧形卡槽，所述限位槽和所述卡槽上方的外沿均设有圆弧形过度边。2.根据权利要求1所述的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，其特征在于：所述限位槽包括自内向外依次设置的第一限位槽、第二限位槽，所述第一限位槽的水平高度低于所述第二限位槽的水平高度，所述卡槽包括自内向外依次设置的第一卡槽和第二卡槽，所述第一卡槽的水平高度低于所述第二卡槽的水...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐正隆，吴星华，刘同同，汪丽静，
申请(专利权)人：合肥开悦半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：