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本实用新型公开了一种外部连接单元送晶圆传送手臂，包括一体对称结构的手臂主体，所述手臂主体包括固定部和对称分布在所述固定部两侧的水平支撑部，所述固定部的中间设有若干个朝向支撑部的弧形限位槽，所述支撑部的末端设有若干个朝向固定部的弧形卡槽，所述...
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