一种绑定结构、显示面板和显示装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种绑定结构、显示面板和显示装置，包括：依次设置的多个绑定单元，绑定单元包括：位于衬底基板上依次层叠的第一金属层和第二金属层；位于第二金属层背离衬底基板一侧的金属氧化物层；金属氧化物层包括第一部和第二部；第一部覆盖第二金属层背离衬底基板一侧的上表面，第二部覆盖第二金属层和第一金属层的侧表面；位于金属氧化物层背离衬底基板一侧的钝化层，且钝化层至少覆盖第二部；钝化层设置有镂空结构，镂空结构在衬底基板的垂直投影与第一部在衬底基板的垂直投影交叠，通过在金属氧化物背离衬底基板一侧设置钝化层，采用钝化层对未被第二金属层覆盖的第一金属层的侧表面进行保护，提高绑定结构在盐雾测试时的良品率。

【技术实现步骤摘要】
一种绑定结构、显示面板和显示装置
本技术涉及显示
，尤其涉及一种绑定结构、显示面板和显示装置。
技术介绍
目前，在工业制造中完成的显示面板中绑定区的绑定结构，一般需要对制备完成的绑定结构进行盐雾测试，利用盐雾测试验证工业制程完成的绑定结构的耐腐蚀性能。现有的绑定结构包括依次层叠设置的第一金属层、第二金属层和金属氧化物层，其中第二金属层覆盖第一金属层靠近金属氧化物层一侧的表面，利用第二金属层钝化第一金属层的活性，然后在第二金属层上制备金属氧化物层。但由于现有绑定结构的第一金属层的部分侧表面未被第二金属层覆盖，当溅射形成金属氧化物层时，未被第二金属层覆盖的第一金属层的侧表面会发生氧化反应，当对绑定结构进行盐雾测试时，盐雾测试的溶液中含有活性氯离子，第二金属层的平衡性受到损坏，氯离子能吸附在第二金属层表面将阳离子排挤掉，然后和第二金属层中的阳离子结合形成可溶性的氯化物，腐蚀在金属氧化物表面，影响绑定结构的导电性能。
技术实现思路
本技术实施例提供一种绑定结构、显示面板和显示装置，提高绑定结构部在盐雾测试时的良品率。第一方面，本技术实施例提供了一种绑定结构，包括：依次设置的多个绑定单元，所述绑定单元包括：位于衬底基板上依次层叠的第一金属层和第二金属层；位于所述第二金属层背离所述衬底基板一侧的金属氧化物层；所述金属氧化物层包括第一部和第二部；所述第一部覆盖所述第二金属层背离所述衬底基板一侧的上表面，所述第二部覆盖所述第二金属层和所述第一金属层的侧表面；位于所述金属氧化物层背离衬底基板一侧的钝化层，所述钝化层至少覆盖所述第二部；所述钝化层设置有镂空结构，所述镂空结构在所述衬底基板的垂直投影与所述第一部在所述衬底基板的垂直投影交叠。第二方面，本技术实施例还提供一种显示面板，包括显示区和非显示区，所述非显示区包括绑定区，所述绑定区包括第一方面任一项所述的绑定结构。第三方面，本技术实施例还提供一种显示装置，包括第二方面任一项所述的显示面板；所述显示面板还包括驱动芯片，所述驱动芯片通过各所述绑定单元绑定连接在绑定区。本技术实施例提供的绑定结构、显示面板和显示装置，通过在金属氧化物层背离衬底基板一侧设置钝化层，且钝化层覆盖金属氧化物层的第二部，利用钝化层对未被第二金属层覆盖的第一金属层进行保护，当绑定结构在进行盐雾测试时，避免氯化钠溶液与第一金属层的接触而在绑定结构表面形成氯化物，提高了绑定结构的导电性能。附图说明图1是本技术实施例提供的现有技术中绑定结构的结构示意图；图2是本技术实施例提供的一种绑定结构的结构示意图；图3是图2提供的绑定结构沿AA’的剖面结构示意图；图4是本技术实施例提供的一种显示面板的结构示意图；图5是本技术实施例提供的一种显示面板的剖面结构示意图；图6是本技术实施例提供的一种显示面板的剖面结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。图1是现有技术中绑定结构的结构示意图，如图1所示，绑定结构包括依次设置的多个绑定单元100'，绑定单元100'包括：位于衬底基板10'上依次层叠的第一金属层20'和第二金属层30'，位于第二金属层20'背离衬底基板10'一侧的金属氧化物层40'。由于现有绑定结构的第一金属层20'的部分侧表面未被第二金属层30'覆盖，当溅射形成金属氧化物层40'时，未被第二金属层30'覆盖的第一金属层20'的侧表面会发生氧化反应，当对绑定结构进行盐雾测试时，盐雾测试的溶液中含有活性氯离子，第二金属层的平衡性受到损坏，氯离子能吸附在第二金属层表面将阳离子排挤掉，然后和第二金属层中的阳离子结合形成可溶性的氯化物，腐蚀在金属氧化物表面，影响绑定结构的导电性能。通过在金属氧化物层背离衬底基板一侧形成钝化层，且钝化层覆盖金属氧化物层的第二部，避免绑定结构在进行盐雾测试时氯化钠溶液与第一金属层的接触，进而可以避免在绑定结构表面形成氯化物，影响绑定结构的导电性能。以上是本技术的核心思想，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图2是本技术实施例提供的一种绑定结构的结构示意图，图3是图2提供的绑定结构沿AA’的剖面结构示意图，如图2和图3所示，绑定结构包括依次设置的多个绑定单元100(图2示例性表示依次设置的3个绑定单元100)，绑定单元100包括：位于衬底基板10上依次层叠的第一金属层20和第二金属层30，位于第二金属层30背离衬底基板10一侧的金属氧化物层40，金属氧化物层40包括第一部41和第二部42，第一部41覆盖第二金属层30背离衬底基板10一侧的上表面，第二部42覆盖第二金属层30和第一金属层20的侧表面，位于金属氧化物层40背离衬底基板10一侧的钝化层50，钝化层50至少覆盖第二部42，钝化层50设置有镂空结构51，镂空结构51在衬底基板10的垂直投影与第一部41在衬底基板10的垂直投影交叠。示例性的，结合图2和图3，绑定结构包括第一金属层20、第二金属层30、金属氧化物层40和钝化层50，其中，第一金属层20包括铝材料，第二金属层30包括钼材料，第二金属层30覆盖第一金属层20背离衬底基板10一侧的上表面，金属氧化物层40的第一部41覆盖第二金属层30背离衬底基板10一侧的上表面，金属氧化物层40的第二部42覆盖第二金属层30和第一金属层20的侧表面，通过设置第二金属层30覆盖部分第一金属层20，保证金属氧化物层40与第一金属层20电接触，利用第一金属层20较低阻值的特性降低金属氧化物层40的阻抗，进而保证绑定结构的金属氧化层40与显示面板的驱动芯片进行绑定时，金属氧化物层40的阻抗较低，提高信号的传输性能。由于第二金属层30仅覆盖第一金属层20背离衬底基板10一侧的上表面，当采用溅射工艺形成金属氧化物层40的时候，未被第二金属层30覆盖的第一金属层20的侧表面会被氧化，进而当采用盐雾测试验证绑定结构的耐腐蚀性能时，盐雾测试采用的氯化钠溶液中的氯离子会破坏第二金属层表面30的氧化物的平衡性，并将氧化物中的阳离子排挤掉，此时第二金属层30中的阳离子与氯化钠容液中的氯离子结合形成可溶性的氯化物，腐蚀在金属氧化物层40表面，进而影响金属氧化物层40的导电性能。因此通过在金属氧化物层40背离衬底基板10一侧设置钝化层50，且钝化层50至少覆盖金属氧化物层40的第二部42，利用钝化层50对未被第二金属层覆盖30的第一金属层20进行保护，避免绑定结构在进行盐雾测试时，氯化钠溶液与第一金属层20的直接接触，而在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种绑定结构，其特征在于，包括依次设置的多个绑定单元，所述绑定单元包括：/n位于衬底基板上依次层叠的第一金属层和第二金属层；/n位于所述第二金属层背离所述衬底基板一侧的金属氧化物层；所述金属氧化物层包括第一部和第二部；所述第一部覆盖所述第二金属层背离所述衬底基板一侧的上表面，所述第二部覆盖所述第二金属层和所述第一金属层的侧表面；/n位于所述金属氧化物层背离衬底基板一侧的钝化层，所述钝化层至少覆盖所述第二部；所述钝化层设置有镂空结构，所述镂空结构在所述衬底基板的垂直投影与所述第一部在所述衬底基板的垂直投影交叠。/n

【技术特征摘要】
1.一种绑定结构，其特征在于，包括依次设置的多个绑定单元，所述绑定单元包括：
位于衬底基板上依次层叠的第一金属层和第二金属层；
位于所述第二金属层背离所述衬底基板一侧的金属氧化物层；所述金属氧化物层包括第一部和第二部；所述第一部覆盖所述第二金属层背离所述衬底基板一侧的上表面，所述第二部覆盖所述第二金属层和所述第一金属层的侧表面；
位于所述金属氧化物层背离衬底基板一侧的钝化层，所述钝化层至少覆盖所述第二部；所述钝化层设置有镂空结构，所述镂空结构在所述衬底基板的垂直投影与所述第一部在所述衬底基板的垂直投影交叠。


2.根据权利要求1所述的绑定结构，其特征在于，所述镂空结构在所述衬底基板的垂直投影位于所述第一部在所述衬底基板的垂直投影内。


3.根据权利要求1所述的绑定结构，其特征在于，相邻两所述绑定单元的金属氧化物层在相邻两所述绑定单元之间断开。


4.根据权利要求3所述的绑定结构，其特征在于，所述钝化层覆盖相邻两所述绑定单元之间的间隙。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志奇，郑玮玮，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32