一种串列式双线圈射频驱动气体放电装置制造方法及图纸

本发明专利技术的串列式双线圈射频驱动气体放电装置，采用串列式双线圈结构设计，可以利用相同频率或不同频率的射频信号驱动激发产生等离子体放电，放电区域长度较单线圈共振腔加长，可以在更大范围内产生气体放电，有利于提高亚稳态原子激发效率，提高亚稳态原子束流强度；采用压环与定位盖环对气体导管进行定位，可以有效保证气体导管与安装法兰的同轴度与准直度，便于原子束流定向；在屏蔽层外用漆包线绕制通电螺线圈，并通入电流产生磁场，等离子体中电子沿磁力线作回旋运动，可进一步提高电子与原子碰撞几率，提高激发效率；本发明专利技术可以根据需求填充不同种类的气体或其它样品，用于多种气体的低压等离子体放电，实现多种用途。

【技术实现步骤摘要】
一种串列式双线圈射频驱动气体放电装置
本专利技术涉及一种串列式双线圈射频驱动气体放电装置，用于产生低温低压气体等离子体放电，通过电子碰撞激发产生亚稳态原子束流，可用于精密光谱测量、原子光刻、原子频标等研究和应用领域。
技术介绍
高强度、高准直度的亚稳态原子束流在原子光刻、原子光学、原子碰撞、原子频标、精密光谱测量、痕量分析、玻色-爱因斯坦凝聚等诸多领域有重要用途。许多物理过程和应用只能通过高强度的原子束流实现。因此如何产生高强度的亚稳态原子束流就成为一个非常重要的技术问题。通常可采用直流或射频气体放电的方式激发产生亚稳态原子束流。相比于直流放电方式，射频放电方式没有电极暴露在气体中，对工作环境没有污染，因而成为一种应用更广泛的激发方式。目前，基于螺旋谐振腔的射频驱动气体放电装置是一种常用的亚稳态原子束流产生装置，螺旋射频共振腔可以在相对较小的空间内产生品质因数比较高的射频共振系统，并且在低气压条件下也可以产生自持的低温等离子体放电，适合真空环境下气体放电应用。该共振腔采用螺线圈和屏蔽层组成，螺线圈由铜导线绕制，屏蔽层采用导电性能良好的导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种串列式双线圈射频驱动气体放电装置，包括超高真空双面密封法兰(1)和安装在超高真空双面密封法兰(1)上的气体导管(3)，以及屏蔽层定位盖环(6)、屏蔽层(8)，气体导管(3)、屏蔽层(8)与超高真空双面密封法兰(1)三者的轴线重合，并与超高真空双面密封法兰(1)平面垂直，其特征在于：在所述的气体导管(3)外部前后串列方式套装有第一螺旋线圈(4)和第二螺旋线圈(5)，第一螺旋线圈(4)、第二螺旋线圈(5)和气体导管(3)同轴；第一螺旋线圈(4)的接地端(12)和第二螺旋线圈(5)的接地端(10)均与屏蔽层(8)焊接连接并接地；第一螺旋线圈(4)的射频接入端(11)和第二螺旋线圈(5)的射频...

【技术特征摘要】
1.一种串列式双线圈射频驱动气体放电装置，包括超高真空双面密封法兰(1)和安装在超高真空双面密封法兰(1)上的气体导管(3)，以及屏蔽层定位盖环(6)、屏蔽层(8)，气体导管(3)、屏蔽层(8)与超高真空双面密封法兰(1)三者的轴线重合，并与超高真空双面密封法兰(1)平面垂直，其特征在于：在所述的气体导管(3)外部前后串列方式套装有第一螺旋线圈(4)和第二螺旋线圈(5)，第一螺旋线圈(4)、第二螺旋线圈(5)和气体导管(3)同轴；第一螺旋线圈(4)的接地端(12)和第二螺旋线圈(5)的接地端(10)均与屏蔽层(8)焊接连接并接地；第一螺旋线圈(4)的射频接入端(11)和第二螺旋线圈(5)的射频接入端(9)均穿过屏蔽层(8)，并分别与设置在超高真空双面密封法兰(1)上的第一射频信号输入端(13-1)和第二射频信号输入端(13-2)连接，射频接入端(9)和射频接...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯高平，洪延姬，于嘉琪，饶伟，韩建慧，宋俊玲，朱潇潇，
申请(专利权)人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学，
类型：发明
国别省市：北京;11