一种吸气剂射频激活装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种吸气剂射频激活装置。该吸气剂射频激活装置包括射频电源、同轴高压输出线，射频电极、真空腔体和吸气剂。在采用该装置对吸气剂进行激活时，吸气剂放置在真空腔体中，射频电源通过同轴高压输出线将能量传递到射频电极上，将能量耦合到真空腔体中的气体上产生等离子体，将能量耦合到吸气剂上以实现吸气剂的激活。与吸气剂的传统加热激活方式相比，该发明专利技术具有吸气剂激活时间短和吸气剂激活后具有更快的吸气速率的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种吸气剂射频激活装置
本专利技术涉及一种吸气剂激活装置，具体而言是一种吸气剂的射频激活装置。
技术介绍
高真空和超高真空在微电子、基础物理、表面科学、同步辐射光源等大科学装置和半导体产业等领域都具有广泛的应用。为了获得高真空，通常人们都采用机械泵、分子泵以及低温泵等装置将系统中的气体抽出来产生真空。然而对于很多器件，许多情况下我们既希望能维持其内的高真空，又不希望其一直与机械泵、分子泵以及低温泵等装置连接，以减小期间的体积和重量。为此，人们常常采用在器件内添加吸气剂的方式来维持器件内的真空。当前，应用于器件内维持其真空的吸气剂在真正使用前通常都需要进行激活。目前，人们通常采用加热棒给吸气剂加热的方式进行激活。而为了达到良好的激活效果，通常需要用较长的时间(大于半个小时)将加热剂加热到较高的温度(大于500℃)。较长的加热时间加上较高的加热温度容易导致器件内的电子元器件工作性能的降低甚至损坏。因此，专利技术一种能够大幅缩短吸气剂激活时间的激活方法的就显得尤为重要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种吸气剂射频本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种吸气剂射频激活装置，其特征在于：包括射频电源(1)、同轴高压输出线(2)、射频电极(3)、真空腔体(4)和吸气剂(5)；/n所述真空腔体(4)包括中空筒体(4b)，密封上盖(4a)，密封下盖(4c)以及真空适配接头(4d)；/n真空腔体(4)的主体为采用绝缘材料制成的二端开口的中空筒体(4b)，筒体上开口端设有密封上盖(4a)，筒体下开口端设有采用导电材料制成的密封下盖(4c)，于密封下盖(4c)上放置有吸气剂(5)；/n于中空筒体(4b)中部的外壁面处设有射频电极(3)，射频电极(3)一端通过同轴高压输出线(2)与射频电源(1)的射频电压输出端相连，另一端及密封下盖(4c)接地；/n...

【技术特征摘要】
1.一种吸气剂射频激活装置，其特征在于：包括射频电源(1)、同轴高压输出线(2)、射频电极(3)、真空腔体(4)和吸气剂(5)；
所述真空腔体(4)包括中空筒体(4b)，密封上盖(4a)，密封下盖(4c)以及真空适配接头(4d)；
真空腔体(4)的主体为采用绝缘材料制成的二端开口的中空筒体(4b)，筒体上开口端设有密封上盖(4a)，筒体下开口端设有采用导电材料制成的密封下盖(4c)，于密封下盖(4c)上放置有吸气剂(5)；
于中空筒体(4b)中部的外壁面处设有射频电极(3)，射频电极(3)一端通过同轴高压输出线(2)与射频电源(1)的射频电压输出端相连，另一端及密封下盖(4c)接地；
于密封上盖(4a)上设有真空适配接头(4d)。


2.根据权利要求1所述的一种吸气剂射频激活装置，其特征在于：
射频电极(3)为一金属材质的工作介质，其具体的形状可以为螺旋管式金属线圈，也可以为平行板电容式的金属平板对；
射频电极(3)为在中空筒体(4b)中部的外壁面上缠绕的射频耦合线圈或为二个于中空筒体(4b)两侧相对设置的极板；一个极板通过同轴高压输出线(2)与射频电源(1)的射频电压输出端相连，另一个极板及密封下盖接地。


3.根据权利要求1、2所述的一种吸气剂射频激活装置，其特征在于：所述射频电源(1)功率为50-10000瓦特，用于将能量传递到射频电极(3)产生等离子体，传递到吸气剂(5)上用于激活吸气剂(5)。


4.根据权利要求2所述的一种吸气剂射频激活装置，其特征在于：所述射频电极(3)的形状为螺旋管式金属线圈时，其内径为5mm至200mm，材质可以为铜，铁，不锈钢，镍等金属或者合金中的一种或二种以上，并且该螺旋管的绕线可以为金属丝或者为金属管；
所述射频电极(3)的形状为平行板电容式的金属平板对时，该金属平板对的材质可以为铜、铁、不锈钢、镍等金属或者合金中的一种或二种以上；金属平板对的形状可以为圆形或者其他的多边形；金属平板对中的每块金属平板的厚度为0.5mm至2...

【专利技术属性】
技术研发人员：石文波，杨亮，刘本康，李庆伟，耿自才，周灿华，李永钊，回晓康，金玉奇，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁;21