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本发明的串列式双线圈射频驱动气体放电装置,采用串列式双线圈结构设计,可以利用相同频率或不同频率的射频信号驱动激发产生等离子体放电,放电区域长度较单线圈共振腔加长,可以在更大范围内产生气体放电,有利于提高亚稳态原子激发效率,提高亚稳态原子束流...该专利属于中国人民解放军战略支援部队航天工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军战略支援部队航天工程大学授权不得商用。
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本发明的串列式双线圈射频驱动气体放电装置,采用串列式双线圈结构设计,可以利用相同频率或不同频率的射频信号驱动激发产生等离子体放电,放电区域长度较单线圈共振腔加长,可以在更大范围内产生气体放电,有利于提高亚稳态原子激发效率,提高亚稳态原子束流...