一种丝杠式硅片校正装置制造方法及图纸

技术编号:28678477 阅读:14 留言:0更新日期:2021-06-02 02:55
本实用新型专利技术公开了一种丝杠式硅片校正装置,包括输送机构,所述输送机构上设置有校正机构,所述校正机构包括转轴,所述转轴两端面上设置有螺纹,所述转轴两端面通过螺纹均设置有移动座,所述转轴上设置有同步轮,所述同步轮传动连接有伺服电机,所述移动座顶面均设置有校正轮,所述移动座底面设置有滑块,所述滑块滑动连接有轨道,所述轨道设置在输送机构上。本实用新型专利技术结构合理、简单,操作便捷,通过伺服电机驱动转轴,使得转轴上的移动座能够带动校正轮同时向硅片的两侧进行压合校正,大大的提高了硅片校正的准确性,从而使得硅片居中对齐地在传送带上进行输送。

【技术实现步骤摘要】
一种丝杠式硅片校正装置
本技术涉及硅片运输校正领域,具体涉及一种丝杠式硅片校正装置。
技术介绍
硅片在运输途中的方向是杂乱的,往往需要校正装置对硅片进行校正,现有的校正装置通常设置在硅片的两侧,分别通过气缸控制校正轮对硅片进行校正,但是两个气缸往往无法同步控制校正轮对硅片进行校正,从而使得硅片校正的准确性降低。上述问题是本领域亟需解决的问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种丝杠式硅片校正装置,通过伺服电机驱动转轴,从而使得校正轮能够同步对硅片进行校正,大大地提高对硅片校正的准确性。为了解决上述技术问题,本技术提供的方案是:一种丝杠式硅片校正装置,包括输送机构,所述输送机构上设置有校正机构,所述校正机构包括转轴,所述转轴两端面上设置有螺纹,所述转轴两端面通过螺纹均设置有移动座,所述转轴上设置有同步轮,所述同步轮传动连接有伺服电机,所述移动座顶面均设置有校正轮,所述移动座底面设置有滑块,所述滑块滑动连接有轨道,所述轨道设置在输送机构上。作为本技术的进一步改进,所述输送机构包括底板,所述底板上设置有气缸,所述底板通过支板设置有安装板,所述安装板上垂直设置有对称的竖板,所述安装板上还设置有支座,所述气缸上穿过安装板垂直设置有对称的支撑板,所述竖板、所述支撑板和所述支座上均设置有带轮,所述竖板上还均设置有传动轮,所述传动轮通过联动杆连接,所述带轮和所述传动轮之间缠绕有平行的传送带,所述支撑板顶面设置有伸缩板,所述传动轮传动连接有电机。作为本技术的进一步改进,所述安装板底面设置有传感器安装座,所述传感器安装座上设置有传感器,所述传感器能够调节位置,所述移动座底面设置有与传感器相匹配的感应片。作为本技术的进一步改进,所述校正轮采用软质材质制成。作为本技术的进一步改进,所述传送带一侧设置有第一光电传感器和第二光电传感器。作为本技术的进一步改进,所述轨道外侧设置有阻挡块。本技术的有益效果:本技术结构合理、简单,操作便捷,通过伺服电机驱动转轴,使得转轴上的移动座能够带动校正轮同时向硅片的两侧进行压合校正,大大的提高了硅片校正的准确性,从而使得硅片居中对齐地在传送带上进行输送。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术工作时的结构示意图。图3是本技术校正机构的结构示意图。图4是本技术输送机构的结构示意图。图中标号说明:1、输送机构;101、安装板;102、底板;103、气缸;104、电机;105、支板;106、竖板;107、联动杆;108、传动轮;109、带轮;110、传送带;111、支撑板;112、伸缩板;113、支座;2、校正机构;201、移动座;202、校正轮;203、滑块;204、转轴;205、同步轮;206、轨道;207、伺服电机;208、螺纹;3、第一光电传感器;4、阻挡块;5、传感器安装座;6、传感器;7、感应片;8、第二光电传感器。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施,但所举实施例不作为对本技术的限定。参照图1所示,本技术的一实施例,包括输送机构1,输送机构1对硅片进行输送,输送机构1上设置有校正机构2,校正机构2包括转轴204,转轴204两端面上设置有螺纹208,转轴204两端面通过螺纹208均设置有移动座201,转轴204上设置有同步轮205,同步轮205传动连接有伺服电机207,移动座201顶面均设置有校正轮202,移动座201底面设置有滑块203,滑块203滑动连接有轨道206,轨道206设置在输送机构1上,伺服电机207控制转轴204转动,从而能够控制转轴204上两端的移动座201通过轨道206同时移动,从而能够保证对硅片两侧进行同步校正,大大地提高对硅片校正的准确性。在本实施例中,输送机构1包括底板102,底板102上设置有气缸103,底板102通过支板105设置有安装板101,安装板101上垂直设置有对称的竖板106,安装板101上还设置有支座113,气缸103上穿过安装板101垂直设置有对称的支撑板111,竖板106、支撑板111和支座113上均设置有带轮109,竖板106上还均设置有传动轮108,传动轮108通过联动杆107连接,带轮109和传动轮108之间缠绕有平行的传送带110,支撑板111顶面设置有伸缩板112,传动轮108传动连接有电机104,通过电机104驱动传动轮108转动,从而能够使得传送带110转动,气缸103驱动伸缩板112移动,能够使得硅片更加稳定的输送。在本实施例中,安装板101底面设置有传感器安装座5,传感器安装座5上设置有传感器6,传感器6能够调节位置,移动座201底面设置有与传感器6相匹配的感应片7,能够根据硅片的宽度调节传感器6的位置,使得移动座201上的校正轮202触碰到硅片时,感应片7就能够接触到传感器6,从而控制伺服电机207反向转动。在本实施例中,校正轮202采用软质材质制成,能够减少对硅片的损伤。在本实施例中,传送带110一侧设置有第一光电传感器3和第二光电传感器8,第一光电传感器3能够对硅片的数量进行计数,第二光电传感器8能够感应到硅片输送的位置,从而控制伺服电机207工作。在本实施例中,轨道206外侧设置有阻挡块4,能够防止移动座201移出轨道206。实际使用过程中,硅片放置在输送带110上,通过输送带110的运输,第二光电传感器8感应到硅片时,伺服电机207开始工作,控制转轴204转动,能够控制转轴204上两端的移动座201通过轨道206同时移动,使得校正轮202对硅片进行校正,当感应片7接触到传感器6时,控制伺服电机207反向转动,重复上述步骤,能够完成对硅片的校正工作。本技术结构合理、简单,操作便捷,大大的提高了硅片校正的准确性。以上所述实施例仅是为充分说明本技术而所举的较佳的实施例,本技术的保护范围不限于此。本
的技术人员在本技术基础上所作的等同替代或变换,均在本技术的保护范围之内。本技术的保护范围以权利要求书为准。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种丝杠式硅片校正装置,其特征在于,包括输送机构(1),所述输送机构(1)上设置有校正机构(2),所述校正机构(2)包括转轴(204),所述转轴(204)两端面上设置有螺纹(208),所述转轴(204)两端面通过螺纹(208)均设置有移动座(201),所述转轴(204)上设置有同步轮(205),所述同步轮(205)传动连接有伺服电机(207),所述移动座(201)顶面均设置有校正轮(202),所述移动座(201)底面设置有滑块(203),所述滑块(203)滑动连接有轨道(206),所述轨道(206)设置在输送机构(1)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种丝杠式硅片校正装置,其特征在于,包括输送机构(1),所述输送机构(1)上设置有校正机构(2),所述校正机构(2)包括转轴(204),所述转轴(204)两端面上设置有螺纹(208),所述转轴(204)两端面通过螺纹(208)均设置有移动座(201),所述转轴(204)上设置有同步轮(205),所述同步轮(205)传动连接有伺服电机(207),所述移动座(201)顶面均设置有校正轮(202),所述移动座(201)底面设置有滑块(203),所述滑块(203)滑动连接有轨道(206),所述轨道(206)设置在输送机构(1)上。


2.如权利要求1所述的一种丝杠式硅片校正装置,其特征在于,所述输送机构(1)包括底板(102),所述底板(102)上设置有气缸(103),所述底板(102)通过支板(105)设置有安装板(101),所述安装板(101)上垂直设置有对称的竖板(106),所述安装板(101)上还设置有支座(113),所述气缸(103)上穿过安装板(101)垂直设置有对称的支撑板(111),所述竖板(106)、所述支撑板(111)和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:汤亚东
申请(专利权)人:无锡市江松科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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