配向膜干燥装置、配向膜制备设备及制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种配向膜干燥装置、配向膜制备设备及制备方法，该配向膜干燥装置包括干燥腔体、加热单元以及气体流通单元；加热单元包括对一涂布有配向液的基板进行加热的第一加热单元；气体流通单元包括第一气体流通单元和第二气体流通单元；干燥腔体通过第一气体流通单元与外界相通，第二气体流通单元包括用于排出干燥腔体内气体的排气单元。本发明专利技术通过将干燥腔体与外界相通，使得干燥腔体形成一个开放的烘烤环境，并且管控干燥腔体内的温度及气体流通，从而在基板上形成了均一、质量稳定的配向膜，提高了显示面板的显示效果。

【技术实现步骤摘要】
配向膜干燥装置、配向膜制备设备及制备方法
本专利技术涉及液晶显示
，特别是涉及一种配向膜干燥装置、配向膜制备设备及制备方法。
技术介绍
随着光电技术和半导体技术的不断发展，液晶面板已广泛应用于社会的各个领域。目前，液晶面板主体主要由两片玻璃基板以及配置在两片玻璃基板间的液晶层构成。在将液晶密封到两片玻璃基板之间形成液晶显示单元的制作工艺过程中，两片玻璃基板的液晶显示单元区域分别会配置一层配向膜，配置在基板显示区的配向膜经过摩擦工艺产生配向能力，从而对液晶层起到配向作用，使液晶沿着固定方向均一排列。配向膜由配向液涂布于基板(如阵列基板或彩膜基板)上所形成，常用的配向膜制作方法如下：在基板上涂布配向液，然后再通过配向工艺(如摩擦配向工艺/光配向)以及其他工艺从而在基板上形成所需的配向膜。之后还需要对涂布在基板上的配向液进行烘烤，去除配向液中的溶剂，形成最终的配向膜。由于配向液成膜过程中会挥发大量溶剂，从而干扰成膜均一度，并且不同的配向液溶剂成分/粘度/表面张力等物理化学性质不尽相同，现有配向膜干燥装置难以将所有种类的配向液的加热均匀度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种配向膜干燥装置，其特征在于，包括：/n干燥腔体、加热单元以及气体流通单元；/n所述加热单元包括对一涂布有配向液的基板进行加热的第一加热单元；/n所述气体流通单元包括第一气体流通单元和第二气体流通单元；/n其中，所述干燥腔体通过所述第一气体流通单元与外界相通，所述第二气体流通单元包括用于排出所述干燥腔体内气体的排气单元。/n

【技术特征摘要】
1.一种配向膜干燥装置，其特征在于，包括：
干燥腔体、加热单元以及气体流通单元；
所述加热单元包括对一涂布有配向液的基板进行加热的第一加热单元；
所述气体流通单元包括第一气体流通单元和第二气体流通单元；
其中，所述干燥腔体通过所述第一气体流通单元与外界相通，所述第二气体流通单元包括用于排出所述干燥腔体内气体的排气单元。


2.如权利要求1所述的配向膜干燥装置，其特征在于，所述第一气体流通单元包括可开闭的顶盖、炉门和侧壁，所述干燥腔体通过打开所述顶盖、所述炉门和所述侧壁中的至少一者与外界相通。


3.如权利要求1所述的配向膜干燥装置，其特征在于，所述第二气体流通单元还包括进气单元，所述进气单元用于向所述干燥腔体内注入干燥气体；所述加热单元还包括用于加热所述干燥气体的第二加热单元，所述干燥气体为压缩干燥空气。


4.如权利要求3所述的配向膜干燥装置，其特征在于，所述第一加热单元与所述涂布有配向液的基板间隔设置，并且所述第一加热单元的加热温度大于所述第二加热单元的加热温度。


5.如权利要求4所述的配向膜干燥装置，其特征在于，所述第一加热单元的加热温度在70℃以上且在110℃以下；所述干燥气体的流量大于或等于0.0167m3/s；所述排气单元的抽气负压值大于或等于900Pa；所述配向膜干燥装置还包括一时间控制单元，通过所述时间控制单元控制所述涂布有配向液的基板在所述配向膜干燥装置中的干燥时间大于或等于150s。


6.一种配向膜制备设备，其特征在于，包括：
涂布装置，用于在基板上涂布配向液，得到涂布有配向液的基板；
如权利要求1至5任一项所述的配向膜干燥装置，用于干燥所述基板上的配向液以制得配向膜；
传送装置，用于将所述涂布有配向液的基板从所述涂布装置传送到所述配向膜干燥装置。
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【专利技术属性】
技术研发人员：李铮，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44