一种伺服增量式高精度压力传感器及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种伺服增量式高精度压力传感器及其使用方法，属于压力传感器技术领域。伺服增量式高精度压力传感器包括加载台、压力传感器、气囊、微位移驱动器、微位移传感器和基座，气囊的下侧安装在基座的上表面上，气囊的上侧支撑加载台，微位移驱动器和微位移传感器以气囊为中心周向设置在基座的上表面上，压力传感器与微位移驱动器一一对应，且每个压力传感器均由对应的微位移驱动器支撑，压力传感器的上侧支撑加载台。本发明专利技术提高了整体的测量精度，实现了载荷增量的高精度测量。

【技术实现步骤摘要】
一种伺服增量式高精度压力传感器及其使用方法
本专利技术涉及一种伺服增量式高精度压力传感器及其使用方法，属于压力传感器

技术介绍
压力传感器广泛用于各行各业，其精度与量程密切相关，通常表示为满量程的系数，高精度的传感器能够达到满量程的万分之二左右。因此，当量程增加时，精度也随之变差，如何在大承载条件下实现高精度成为压力传感器的瓶颈问题。另一方面，质心测试台、卫星模拟器等很多应用中，往往不关心初始加载的大小，而关系相对于初始加载的载荷变化量，即压力增量。
技术实现思路
本专利技术的目的是提出一种伺服增量式高精度压力传感器及其使用方法，以解决现有技术中存在的问题。一种伺服增量式高精度压力传感器，所述伺服增量式高精度压力传感器包括加载台、压力传感器、气囊、微位移驱动器、微位移传感器和基座，所述气囊的下侧安装在所述基座的上表面上，所述气囊的上侧支撑所述加载台，所述微位移驱动器和微位移传感器以所述气囊为中心周向设置在所述基座的上表面上，所述压力传感器与所述微位移驱动器一一对应，且每个压力传感器均由对应的所述微位移驱动器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种伺服增量式高精度压力传感器，其特征在于，所述伺服增量式高精度压力传感器包括加载台(1)、压力传感器(2)、气囊(3)、微位移驱动器(4)、微位移传感器(5)和基座(6)，所述气囊(3)的下侧安装在所述基座(6)的上表面上，所述气囊(3)的上侧支撑所述加载台(1)，所述微位移驱动器(4)和微位移传感器(5)以所述气囊(3)为中心周向设置在所述基座(6)的上表面上，所述压力传感器(2)与所述微位移驱动器(4)一一对应，且每个压力传感器(2)均由对应的所述微位移驱动器(4)支撑，所述压力传感器(2)的上侧支撑所述加载台(1)。/n

【技术特征摘要】
1.一种伺服增量式高精度压力传感器，其特征在于，所述伺服增量式高精度压力传感器包括加载台(1)、压力传感器(2)、气囊(3)、微位移驱动器(4)、微位移传感器(5)和基座(6)，所述气囊(3)的下侧安装在所述基座(6)的上表面上，所述气囊(3)的上侧支撑所述加载台(1)，所述微位移驱动器(4)和微位移传感器(5)以所述气囊(3)为中心周向设置在所述基座(6)的上表面上，所述压力传感器(2)与所述微位移驱动器(4)一一对应，且每个压力传感器(2)均由对应的所述微位移驱动器(4)支撑，所述压力传感器(2)的上侧支撑所述加载台(1)。


2.根据权利要求1所述的一种伺服增量式高精度压力传感器，其特征在于，所述加载台(1)和基座(6)为同轴的圆台。


3.根据权利要求2所述的一种伺服增量式高精度压力传感器，其特征在于，所述气囊(3)设置在所述加载台(1)和基座(6)的轴心上。


4.根据权利要求3所述的一种伺服增量式高精度压力传感器，其特征在于，所述气囊(3)为可调节充气量的气囊。


5.根据权利要求4所述的一种伺服增量式高精度压力传感器，其特征在于，所述微位移驱动器(4)和压力传感器(2)同轴心。


6.根据权利要求5所述的一种伺服增量式高精度压力传感器，其特征在于，所述微位移驱动器(4)和微位移传感器(5)均沿所述气囊(3)周向均匀设置有N个，N≥3。


7.根据权利要求6所述的一种伺服增量式高精度压力传感器，其特征在于，所述微位移驱动器(4)和微位移传感器(5)同圆交错设置。


8.根据权利要求6所述的一种伺服增量式高精度压力传感器，其特征在于，所述微位移驱动器(4)和微位移传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘延芳，齐乃明，穆荣军，倪晨瑞，佘佳宇，周芮，杨云飞，霍明英，赵钧，杜德嵩，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23