一种CMP设备用压力传感器的防护结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种CMP设备用压力传感器的防护结构，涉及压力传感器技术领域，包括传送器和防护装置，所述传送器的表面固定连接有皮线，所述传送器的表面设有防护装置，所述防护装置包括有固定板，所述固定板与传送器滑动连接，所述固定板的表面滑动连接有滑块，所述滑块呈“L”形结构，所述滑块靠近传送器的一侧固定连接有凹槽板，所述固定板的表面固定连接有固定块，所述固定块的表面螺纹连接有螺杆，所述凹槽板借助螺杆与固定板滑动连接。本实用新型专利技术，解决了由于传送器为杆状结构，导致传送器受到外力撞击传感器时，会导致传感器与设备的连接处容易发生弯折，从而引起压力传感器与设备连接处的损坏，进而影响传感器的正常使用的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种CMP设备用压力传感器的防护结构
本技术涉及压力传感器
，尤其涉及一种CMP设备用压力传感器的防护结构。
技术介绍
压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业，下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用。压力传感器的连接方法通常是直接与设备上的螺筒进行螺纹连接，但是由于传送器为杆状结构，导致传送器受到外力撞击传感器时，会导致传感器与设备的连接处容易发生弯折，从而引起压力传感器与设备连接处的损坏，进而影响传感器的正常使用。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种CMP设备用压力传感器的防护结构。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种CMP设备用压力传感器的防护结构，包括传送器和防护装置，所述传送器的表面固定连接有皮线，所述传送器的表面设有防护装置，所述防护装置包括有固定板，所述固定板与传送器滑动连接，所述固定板的表面滑动连接有滑块，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种CMP设备用压力传感器的防护结构，包括传送器(1)和防护装置(3)，其特征在于：所述传送器(1)的表面固定连接有皮线(2)，所述传送器(1)的表面设有防护装置(3)，所述防护装置(3)包括有固定板(301)，所述固定板(301)与传送器(1)滑动连接，所述固定板(301)的表面滑动连接有滑块(310)，所述滑块(310)呈“L”形结构，所述滑块(310)靠近传送器(1)的一侧固定连接有凹槽板(311)，所述固定板(301)的表面固定连接有固定块(309)，所述固定块(309)的表面螺纹连接有螺杆(308)，所述凹槽板(311)借助螺杆(308)与固定板(301)滑动连接，所述固定板(3...

【技术特征摘要】
1.一种CMP设备用压力传感器的防护结构，包括传送器(1)和防护装置(3)，其特征在于：所述传送器(1)的表面固定连接有皮线(2)，所述传送器(1)的表面设有防护装置(3)，所述防护装置(3)包括有固定板(301)，所述固定板(301)与传送器(1)滑动连接，所述固定板(301)的表面滑动连接有滑块(310)，所述滑块(310)呈“L”形结构，所述滑块(310)靠近传送器(1)的一侧固定连接有凹槽板(311)，所述固定板(301)的表面固定连接有固定块(309)，所述固定块(309)的表面螺纹连接有螺杆(308)，所述凹槽板(311)借助螺杆(308)与固定板(301)滑动连接，所述固定板(301)远离皮线(2)的一侧固定连接有伸缩杆(302)，所述伸缩杆(302)远离固定板(301)的一端固定连接有防护板(303)，所述伸缩杆(302)的表面套有第一弹簧(304)，所述第一弹簧(304)的一端与固定板(301)固定连接，所述第一弹簧(304)的另一端与防护板(303)固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种CMP设备用压力传感器的防护结构，其特征在于：所述防护板(303)的表面固定连接有四个固定环(307)，四个所述固定环(307)的内壁均滑动连接有圆形销(306)，所述圆形销(306)的两端均固定连接有圆块。


3.根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘欢，
申请(专利权)人：天津昂嘉科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12