一种CMP设备用压力传感器的连接结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种CMP设备用压力传感器的连接结构，涉及压力传感器技术领域，包括研磨机和连接装置，研磨机的上表面滑动连接有液压臂，液压臂的表面固定连接有压力计，压力计和液压臂彼此靠近一端的表面设有连接装置，连接装置包括有卡环，卡环的内壁和液压臂的外表面固定连接，压力计的上表面设有接口，压力计的上表面固定连接有固定装置，固定装置包括有两个滑动块。本实用新型专利技术，解决了在将压力传感器安装完毕之后就能够使用了，但是在压力传感器使用时间过长时会出现损坏等问题需要将压力传感器取下来进行维修，但是传统的连接结构不能轻易的将压力传感器取下来，会造成拆卸时间延长的问题。间延长的问题。间延长的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种CMP设备用压力传感器的连接结构


[0001]本技术涉及压力传感器
，尤其涉及一种CMP设备用压力传感器的连接结构。

技术介绍

[0002]压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置；压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成；按不同的测试压力类型，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。
[0003]一般在CMP研磨设备上也是会使用到压力传感器的，在将压力传感器安装完毕之后就能够使用了，但是在压力传感器使用时间过长时会出现损坏等问题需要将压力传感器取下来进行维修，但是传统的连接结构不能轻易的将压力传感器取下来，会造成拆卸时间的延长。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种CMP设备用压力传感器的连接结构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种CMP设备用压力传感器的连接结构，包括研磨机和连接装置，所述研磨机的上表面滑动连接有液压臂，所述液压臂的表面固定连接有压力计，所述压力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CMP设备用压力传感器的连接结构，包括研磨机(1)和连接装置(4)，其特征在于：所述研磨机(1)的上表面滑动连接有液压臂(2)，所述液压臂(2)的表面固定连接有压力计(3)，所述压力计(3)和液压臂(2)彼此靠近一端的表面设有连接装置(4)，所述连接装置(4)包括有卡环(401)，所述卡环(401)的内壁和液压臂(2)的外表面固定连接，所述卡环(401)靠近压力计(3)的一端固定连接有支撑杆(402)，所述支撑杆(402)远离卡环(401)一端的表面和压力计(3)滑动连接，所述支撑杆(402)两侧的表面均固定连接有两个凹块(403)，且两个凹块(403)以支撑杆(402)的中心点对称分布，两个所述凹块(403)的内壁均滑动连接有滑块(406)，且两个滑块(406)之前同一水平线上，所述滑块(406)远离凹块(403)的一端固定连接有连接块(404)，且连接块(404)借助滑块(406)和凹块(403)滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种CMP设备用压力传感器的连接结构，其特征在于：两个所述连接块(404)靠近卡环(401)的一端均固定连接有两个凸块(405)，且两个凸块(405)在同一水平线上，所述支撑杆(402)靠近卡环(401)的一端固定连接有两个矩形块(410)，两个所述凸块(405)和矩形块(410)彼此靠近的一端均固定连接有弹簧(407)。3.根据权利要求1所述的一种CMP设备用压力传感器的连接结构，其特征在于：两个所述连接块(404...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘欢，
申请(专利权)人：天津昂嘉科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：