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本实用新型提供一种CMP设备用压力传感器的连接结构，涉及压力传感器技术领域，包括研磨机和连接装置，研磨机的上表面滑动连接有液压臂，液压臂的表面固定连接有压力计，压力计和液压臂彼此靠近一端的表面设有连接装置，连接装置包括有卡环，卡环的内壁和液...
该专利属于天津昂嘉科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津昂嘉科技发展有限公司授权不得商用。

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