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本发明公开了一种伺服增量式高精度压力传感器及其使用方法，属于压力传感器技术领域。伺服增量式高精度压力传感器包括加载台、压力传感器、气囊、微位移驱动器、微位移传感器和基座，气囊的下侧安装在基座的上表面上，气囊的上侧支撑加载台，微位移驱动器和微...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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