蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模制造技术

本实用新型专利技术涉及蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模。具备带状部和包围带状部的框状部。带状部具备形成有多个掩模孔的掩模部和包围掩模部的周边部。周边部以及框状部具有第一板厚。带状部的边缘包括第一边缘和第二边缘。第一边缘包括在带状部的宽度方向上与掩模部对置的部分。将第一边缘从框状部分离的分离部位于第一边缘与框状部之间。具有比第一板厚薄的第二板厚的线状的半蚀刻部位于第二边缘与框状部之间。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模
本技术涉及蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模。
技术介绍
在使用了卷对卷(rolltoroll)方式的蒸镀掩模的制造中，在从卷出辊向卷取辊输送金属片材的期间，针对金属片材进行蚀刻等各种处理。在蒸镀掩模的制造过程中，由金属片材形成蒸镀掩模中间体。蒸镀掩模中间体例如具备用于形成蒸镀掩模的带状部和包围带状部的框状部。带状部的边缘包括沿着金属片材的输送方向延伸的长边和沿着金属片材的宽度方向延伸的短边。长边被从框状部切断即被从框状部分离，另一方面，短边通过齿孔与框状部连接。通过齿孔的切断使得带状部被从框状部切断，从而由带状部形成蒸镀掩模(例如，参照专利文献1)。[专利文献1]日本特开2015-55007号公报然而，在将带状部从框状部切断的工序中，对于蒸镀掩模中间体，带状部与框状部的边界被赋予切断用的外力。从抑制带状部变形这一情况的观点出发，希望对带状部与框状部的边界赋予的外力十分小。另一方面，如果为了将框状部从带状部切断所需要的外力过小，则通过在蒸镀掩模中间体的输送时作用于带状部的外力，会导致带状部被从框状部切断。鉴于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模中间体，其特征在于，/n具备带状部以及包围所述带状部的框状部，/n所述带状部具备：/n形成有多个掩模孔的掩模部；以及/n包围所述掩模部的周边部，/n所述周边部以及所述框状部具有第一板厚，/n所述带状部的边缘包括第一边缘和第二边缘，/n所述第一边缘包括在所述带状部的宽度方向上与所述掩模部对置的部分，/n从所述框状部分离所述第一边缘的分离部，位于所述第一边缘与所述框状部之间，/n具有比所述第一板厚薄的第二板厚的线状的半蚀刻部，位于所述第二边缘与所述框状部之间。/n

【技术特征摘要】
20190906 JP 2019-1628081.一种蒸镀掩模中间体，其特征在于，
具备带状部以及包围所述带状部的框状部，
所述带状部具备：
形成有多个掩模孔的掩模部；以及
包围所述掩模部的周边部，
所述周边部以及所述框状部具有第一板厚，
所述带状部的边缘包括第一边缘和第二边缘，
所述第一边缘包括在所述带状部的宽度方向上与所述掩模部对置的部分，
从所述框状部分离所述第一边缘的分离部，位于所述第一边缘与所述框状部之间，
具有比所述第一板厚薄的第二板厚的线状的半蚀刻部，位于所述第二边缘与所述框状部之间。


2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其特征在于，
所述线状的半蚀刻部具有沿着所述线状的半蚀刻部延伸的方向排列的一个以上的贯通部，所述贯通部在所述蒸镀掩模中间体的厚度方向上贯通所述蒸镀掩模中间体。


3.根据权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其特征在于，
所述带状部的所述边缘包括沿着所述带...

【专利技术属性】
技术研发人员：松隈香，相川建一郎，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP