蒸镀掩模制造技术

本实用新型专利技术涉及一种蒸镀掩模。蒸镀掩模的贯通孔的壁面包括：从第1端向第2面扩展的第1壁面；从第2端向第1面扩展的第2壁面；在连接部连接到第1壁面的第2壁面；和连接第1壁面与第2壁面的连接部。沿着第1面的法线方向从第1面侧观察贯通孔时，贯通孔的第1端包括：沿第1方向延伸并具有第1尺寸的第1部分；和沿与第1方向交叉的第2方向延伸并具有比第1尺寸短的第2尺寸的第2部分。第1壁面包括：从第1部分向连接部扩展的第1壁面区划；和从第2部分向连接部扩展的第2壁面区划。第1壁面区划的高度小于第2壁面区划的高度。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模
本技术的实施方式涉及蒸镀掩模。
技术介绍
近年来，对于智能手机、平板电脑等电子器件，市场要求高精细的显示装置。显示装置例如具有400ppi以上或800ppi以上等的像素密度。有机EL显示装置由于响应性好、或/和耗电低、或/和对比度高而受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知有通过蒸镀使构成像素的材料附着于基板的方法。该情况下，首先，准备包含贯通孔的蒸镀掩模。接下来，在蒸镀装置内，在使蒸镀掩模与基板密合的状态下，蒸镀有机材料或/和无机材料等，在基板形成有机材料或/和无机材料等。作为蒸镀掩模的制造方法，例如如专利文献1中公开的那样，已知有通过对金属板进行蚀刻而在金属板形成贯通孔的方法。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5382259号公报
技术实现思路
技术所要解决的课题在蒸镀工序中，从蒸镀源朝向蒸镀掩模的一部分蒸镀材料沿相对于构成蒸镀掩模的金属板的法线方向倾斜的方向移动。沿相对于金属板的法线方向倾斜的方向移动的蒸镀材料的一部分附着于贯通孔的壁面而并非基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，其为具有贯通孔的蒸镀掩模，其特征在于，该蒸镀掩模具备：/n第1面；/n第2面，位于所述第1面的相反侧；和/n壁面，包括作为位于所述第1面的端部的第1端、和作为位于所述第2面的端部的第2端，/n所述壁面划定出所述贯通孔，/n所述壁面包括：从所述第1端向所述第2面扩展的第1壁面；从所述第2端向所述第1面扩展的第2壁面；和连接所述第1壁面与所述第2壁面的连接部，/n沿着所述第1面的法线方向从所述第1面侧观察所述贯通孔时，所述贯通孔的所述第1端包括：沿第1方向延伸并具有第1尺寸的第1部分；和沿与所述第1方向交叉的第2方向延伸并具有比第1尺寸短的第2尺寸的第2部分，/n所述第1壁面包括...

【技术特征摘要】
20190328 JP 2019-0648901.一种蒸镀掩模，其为具有贯通孔的蒸镀掩模，其特征在于，该蒸镀掩模具备：
第1面；
第2面，位于所述第1面的相反侧；和
壁面，包括作为位于所述第1面的端部的第1端、和作为位于所述第2面的端部的第2端，
所述壁面划定出所述贯通孔，
所述壁面包括：从所述第1端向所述第2面扩展的第1壁面；从所述第2端向所述第1面扩展的第2壁面；和连接所述第1壁面与所述第2壁面的连接部，
沿着所述第1面的法线方向从所述第1面侧观察所述贯通孔时，所述贯通孔的所述第1端包括：沿第1方向延伸并具有第1尺寸的第1部分；和沿与所述第1方向交叉的第2方向延伸并具有比第1尺寸短的第2尺寸的第2部分，
所述第1壁面包括：从所述第1部分向所述连接部扩展的第1壁面区划；和从所述第2部分向所述连接部扩展的第2壁面区划，
所述第1壁面区划的高度小于所述第2壁面区划的高度。


2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，所述第2尺寸比所述第1尺寸短2μm以上，
所述第1壁面区划的高度比所述第2壁面区划的高度小1μm以上。


3.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，沿着所述第1面的法线方向从所述第1面侧观察所述贯通孔时，在与所述第1方向正交的方向上相邻的两个所述贯通孔之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：池永知加雄，青木大吾，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP