成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种抑制对准精度降低的成膜装置。本发明专利技术的成膜装置具备：容器；所述容器的外部的基座支承体；所述容器内的基板保持件；所述容器内的掩模保持件；基板保持件驱动机构；掩模保持件驱动机构；基板保持件驱动机构支承体，其与所述基座支承体连接；掩模保持件支承体，其与所述基座支承体连接，支承所述掩模保持件；所述基座支承体与所述基板保持件驱动机构之间的振动传递抑制构件；以及对准用相机单元，其设置于所述容器的外部且设置于所述掩模保持件支承体，用于测定基板与掩模的相对位置偏移。

【技术实现步骤摘要】
成膜装置
本专利技术涉及一种用于经由掩模将规定的成膜材料蒸镀到基板上的成膜装置。
技术介绍
有机EL显示装置(有机EL显示器)的应用领域不仅为智能手机、电视机、汽车用显示器，还扩展到VRHMD(VirtualRealityHeadMountDisplay)等，特别是，VRHMD所使用的显示器为了降低用户的目眩等而要求以高精度形成像素图案。即，要求进一步的高分辨率化。在有机EL显示装置的制造中，在形成构成有机EL显示装置的有机发光元件(有机EL元件；OLED)时，将从成膜装置的成膜源放出的成膜材料经由形成有像素图案的掩模在基板上成膜，从而形成有机物层、金属层。在这样的成膜装置中，为了提高成膜精度，在成膜工序之前，测定基板与掩模的相对位置，在相对位置发生偏移的情况下，进行使基板和/或掩模相对移动来调整(对准)位置的工序。因此，以往的成膜装置包括与基板支承单元和/或掩模台连结并驱动基板支承单元和/或掩模台的对准台机构。以往，作为包括对准台机构的成膜装置，已知如专利文献1所举出的成膜装置。在专利文献1中，采用了将载置对准本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：/n容器；/n基座支承体，其设置于所述容器的外部；/n基板保持件，其设置于所述容器内，保持基板；/n掩模保持件，其设置于所述容器内，支承掩模；/n基板保持件驱动机构，其驱动所述基板保持件；/n掩模保持件驱动机构，其驱动所述掩模保持件；/n基板保持件驱动机构支承体，其与所述基座支承体连接，支承所述基板保持件驱动机构；/n掩模保持件支承体，其与所述基座支承体连接，支承所述掩模保持件；/n振动传递抑制构件，其设置于所述基座支承体与所述掩模保持件驱动机构之间；以及/n对准用相机单元，其设置于所述容器的外部且设置于所述掩模保持件支承体，用于测定保持于所述基...

【技术特征摘要】
20191120 KR 10-2019-01497131.一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：
容器；
基座支承体，其设置于所述容器的外部；
基板保持件，其设置于所述容器内，保持基板；
掩模保持件，其设置于所述容器内，支承掩模；
基板保持件驱动机构，其驱动所述基板保持件；
掩模保持件驱动机构，其驱动所述掩模保持件；
基板保持件驱动机构支承体，其与所述基座支承体连接，支承所述基板保持件驱动机构；
掩模保持件支承体，其与所述基座支承体连接，支承所述掩模保持件；
振动传递抑制构件，其设置于所述基座支承体与所述掩模保持件驱动机构之间；以及
对准用相机单元，其设置于所述容器的外部且设置于所述掩模保持件支承体，用于测定保持于所述基板保持件的基板与支承于所述掩模保持件的掩模的相对位置偏移量。


2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述基板保持件驱动机构设置于所述容器的内部，
所述掩模保持件驱动机构设置于所述容器的外部。


3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述容器支承于所述基板保持件驱动机构支承体。


4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述成膜装置还包括位置检测机构，所述位置检测机构设置于所述掩模保持件，用于检测保持于所述基板保持件的基板的位置。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，
所述基板保持件驱动机构是磁悬浮式的驱动机构，
所述掩模保持件驱动机构是机械式的驱动机构。


6.一种成膜装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：关谷任史，木村龙司，新海达也，冈部俊介，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP