法兰以及反应管制造技术

本实用新型专利技术公开了法兰以及反应管，其中，法兰，用于安装到反应管的炉口，包括：法兰主体，设置有内腔、至少一个进气部和多个出气部，其中，所述进气部和所述内腔连通，所述出气部分别连通所述内腔和所述炉口；开关部，安装到所述法兰主体，所述开关部控制多个所述出气部当中的至少一部分打开或者关闭。本实用新型专利技术实施例的法兰，由于法兰上设置有能够控制出气部的打开或者关闭的开关部，因此，在法兰安装到反应管后，能够控制反应管内的进气量。能够控制反应管内的进气量。能够控制反应管内的进气量。

【技术实现步骤摘要】
法兰以及反应管


[0001]本技术涉及太阳能电池板制造
，特别涉及法兰以及反应管。

技术介绍

[0002]LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition，低压化学气相沉积)设备是在低压高温条件下，通过混合气体的化学反应生成固体反应物并使其沉积在硅片表面形成薄膜，是化学气相沉积(CVD)设备当中的一种。在光伏行业中，LPCVD设备，能够实现TOPCon电池结构中涉及Oxide隧穿层及Poly
‑
Si层的生长。
[0003]在LPCVD设备中，反应管是整个设备的核心之一，已知的反应管，通常采取通过一根管往炉口通气、从炉尾抽气的方式，反应气体从反应管的一端流向另一端，通过这种方式进气，难以控制反应管内的进气量，容易导致反应管内的气体不均匀。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决已知技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种用于安装到反应管的炉口的法兰，能够控制反应管内的进气量。此外，本技术还提出了具有该法兰的反应管。
[0005]根据本技术第一方面实施例的法兰，用于安装到反应管的炉口，包括：法兰主体，设置有内腔、至少一个进气部和多个出气部，其中，所述进气部和所述内腔连通，所述出气部分别连通所述内腔和所述炉口；开关部，安装到所述法兰主体，所述开关部控制多个所述出气部当中的至少一部分打开或者关闭。
[0006]本技术实施例的法兰，至少具有如下有益效果：由于法兰上设置有能够控制出气部的打开或者关闭的开关部，因此，在法兰安装到反应管后，能够控制反应管内的进气量。
[0007]在一些实施例中，所述法兰主体呈环状，所述内腔沿所述法兰主体的周向延伸。
[0008]在一些实施例中，所述法兰主体包括：基座，所述基座的内周开设有环形槽；环状的连接件，焊接到所述环形槽的开口，以在所述环形槽和所述连接件之间，形成所述内腔。
[0009]在一些实施例中，所述出气部沿所述法兰主体的周向分布。
[0010]在一些实施例中，所述出气部沿所述连接件的周向分布。
[0011]在一些实施例中，各所述出气部内分别设置有内螺纹，所述开关部包括多个外螺纹件，各所述外螺纹件分别安装到所述出气部的至少一部分。
[0012]根据本技术第二方面实施例的反应管，包括：炉体，所述炉体具有炉口和炉尾；上述任一项的法兰，所述法兰安装到所述炉口。
[0013]本技术实施例的反应管，至少具有如下有益效果：由于法兰上设置有能够控制出气部的打开或者关闭的开关部，因此，在法兰安装到反应管后，能够控制反应管内的进气量。
[0014]在一些实施例中，所述炉尾处，设置有补气部。
[0015]在一些实施例中，所述补气部包括多根补气管，所述补气管从所述炉尾，沿所述炉体的轴向，伸进所述炉体内。
[0016]在一些实施例中，各所述补气管设置为在所述炉体内的位置，沿所述炉体的轴向可调节。
附图说明
[0017]图1是本技术的反应管的一种实施例的剖视图。
[0018]图2是图1中的A
‑
A处的剖视图。
[0019]图3是图1中B处的局部放大图。
[0020]图4是图2中C处的局部放大图。
具体实施方式
[0021]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0024]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0025]图1是反应管101的一种实施例的剖视图，图3是图1中B处的局部放大图，图4是图2中C处的局部放大图，参照图1
‑
图4，根据本技术第一方面实施例的法兰100，用于安装到反应管101的炉口102，包括：法兰主体103和安装到法兰主体103上的开关部104，其中，法兰主体103设置有内腔105、至少一个进气部106和多个出气部107，进气部106和内腔105连通，出气部107分别连通内腔105和炉口102；开关部104控制多个出气部107当中的至少一部分打开或者关闭。
[0026]在本实施例中，由于法兰100上设置有能够控制出气部107的打开或者关闭的开关部104，因此，在法兰100安装到反应管101后，能够控制反应管101内的进气量。具体地，可以根据反应管101内所需要的进气量，选择打开或者关闭的出气部107的数量，由此，能够控制反应管101内所需要的进气量。
[0027]可以想到的是，反应管101为本领域技术人员所公知的例如LPCVD设备的反应管101，反应管101包括炉体108、插入炉体108内的石英外管109，插入石英外管109中的石英内
管110。反应管101的炉口102装有前法兰组件111，反应管101的炉尾112装有后法兰组件113。本实施例的法兰100，主要作为前法兰组件111而使用。此外，需要说明的是，当说明反应管101内、炉体108内、石英内管110内或者石英外管109内时，如无特别说明，均指的该反应管101内的反应室(反应炉)。
[0028]可以想到的是，进气部106可以包括例如进气孔114和紧固到该进气孔114的进气管115，进气孔114例如连通法兰主体103的外侧和内腔105，进气管115则可以和进气系统的接头(未图示)连通。此外，进气部106可以是一个或者多个。
[0029]在一些实施例中，为了适配反应管101的形状，法兰主体103呈环状，内腔105沿法兰主体103的周向延伸。具体地，在反应管101的炉口102，还可以设置过渡安装组件116，过渡安装组件116和炉体108连接，法兰100则通过例如螺栓等锁紧到该过渡安装组件116上，内腔105沿法兰主体103的周向延伸，例如形成为环绕炉口102的环形状。
[0030]在一些实施例中，为了使反应管101的进气均匀，出气部107沿法兰主体103的周本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.法兰，用于安装到反应管的炉口，其特征在于，包括：法兰主体，设置有内腔、至少一个进气部和多个出气部，其中，所述进气部和所述内腔连通，所述出气部分别连通所述内腔和所述炉口；开关部，安装到所述法兰主体，所述开关部控制多个所述出气部当中的至少一部分打开或者关闭。2.根据权利要求1所述的法兰，其特征在于，所述法兰主体呈环状，所述内腔沿所述法兰主体的周向延伸。3.根据权利要求2所述的法兰，其特征在于，所述法兰主体包括：基座，所述基座的内周开设有环形槽；环状的连接件，焊接到所述环形槽的开口，以在所述环形槽和所述连接件之间，形成所述内腔。4.根据权利要求2所述的法兰，其特征在于，所述出气部沿所述法兰主体的周向分布。5.根据权利要求3所述的法...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，余仲，杨宝立，张数俊，罗科荣，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：