一种可加热的离子筛网装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可加热的离子筛网装置，属于晶圆设备技术领域，解决了离子筛网的热胀冷缩而开裂的问题，其技术要点是：包括加热块、导热块和离子筛网，离子筛网中部分布有若干筛网开孔，所述加热块通过导热块与离子筛网连接，加热块内部镶嵌有加热体，加热体连接温度控制器；可根据工艺状态的不同来调整、节对离子筛网的加热状态，确保离子筛网表面的温度在一定范围内波动，可有效的降低离子筛网表面聚合物开裂而对腔体的污染，降低了颗粒对工艺腔体的污染，提高了生产工艺的稳定性。提高了生产工艺的稳定性。提高了生产工艺的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种可加热的离子筛网装置


[0001]本技术涉及晶圆设备
，尤其是涉及等离子体灰化设备的工艺稳定性，具体是涉及一种可加热的离子筛网装置。

技术介绍

[0002]在晶圆制造的工艺中，等离子体灰化设备是整个生产工艺中不可或缺的设备，随着制造工艺要求的不断提高，对等离子体灰化工艺过程的稳定性要求越来越高。离子筛网（gas baffle）作为等离子设备的重要部件，对等离子体中带电离子的过滤，降低带电离子对晶圆表面的损伤具有重要的作用，同时还可以通过优化离子筛网开孔的分布来改善去胶速率的均匀性。
[0003]但对于传统的离子筛网其表面的温度是无法温度控制的，这样离子筛网表面温度会随着工艺运行状态的不同来发生变化，当工艺运行时等离子体会对离子筛网表面有一定的加热效应；但工艺运行结束后，离子筛网的温度就会有所下降，这样就会造成离子筛网表面的温度会随着工艺状态的不断变化而出现热胀冷缩。
[0004]在正常情况下，对于新的或刚更换的离子筛网（如图1所示），在等离子灰化设备稳定运行过程中，会在离子筛网表面形成稳定致密的聚合物（polymer）本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可加热的离子筛网装置，包括加热块(1)、导热块(2)和离子筛网(3)，离子筛网(3)中部分布有若干筛网开孔(4)，其特征在于，所述加热块(1)通过导热块(2)与离子筛网(3)连接，加热块(1)内部镶嵌有加热体(6)，加热体(6)连接温度控制器(7)。2.根据权利要求1所述的可加热的离子筛网装置，其特征在于，所述加热块(1)呈环状结构。3.根据权利要求1所述的可加热的离子筛网装置，其特征在于，所述加热体(6)为电加热棒或电加热管构成。4.根据权利要求1所述的可加热的离子筛网装置，其特征在于，所述温度控制器(7)连接电源，电源的工作电压是交流220V。5.根据权利要求1所述的可加热的离子筛...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志强，杨平，王振，
申请(专利权)人：上海稷以科技有限公司，
类型：新型
国别省市：