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本实用新型公开了一种可加热的离子筛网装置，属于晶圆设备技术领域，解决了离子筛网的热胀冷缩而开裂的问题，其技术要点是：包括加热块、导热块和离子筛网，离子筛网中部分布有若干筛网开孔，所述加热块通过导热块与离子筛网连接，加热块内部镶嵌有加热体，加...
该专利属于上海稷以科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海稷以科技有限公司授权不得商用。

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