一种硅料的清洗方法技术

本发明专利技术公开了一种硅料的清洗方法，使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座，所述驱动机构位于所述机座上侧，所述升降机构位于所述机座顶部，还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明专利技术通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动，同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动，从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度，继而来提高清洗效率，利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内，利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上，从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种硅料的清洗方法


[0001]本专利技术涉及硅料清洗
，特别是涉及一种硅料的清洗方法。

技术介绍

[0002]在生产单晶棒和多晶块时，使用的硅料的纯度须达到99.9999％以上。酸洗的目的主要是去除金属离子和氧化皮，原生多晶主要是在炸料时产生，头尾埚底及碎片主要是在切割时等情况产生；传统的酸洗过程中，硅料与酸液之间流动性较小，使得清洗效率较低，因此所清洗的时间较长，同时酸液有较强的腐蚀性，若是采用搅拌容易造成酸液飞溅出来，很容易造成其他设备的损坏，十分的危险。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种硅料的清洗方法。
[0004]本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0005]一种硅料的清洗方法，
[0006]使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座，所述驱动机构位于所述机座上侧，所述升降机构位于所述机座顶部，还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构，所述清洗机构包括酸洗筒、清洗筒、支撑架，所述酸洗筒位于所述机座内侧底部，所述清洗筒位于所述酸洗筒内侧，所述支撑架下端安装在所述清洗筒顶部；所述联动机构包括第一齿轮、第一齿圈、蜗杆、涡轮、第二齿轮、第二齿圈、联动轴，所述第一齿圈安装在所述清洗筒上侧，所述第二齿圈安装在所述酸洗筒底侧，所述第一齿圈位于所述第一齿轮一侧，所述蜗杆上端安装在所述第一齿轮中心位置，所述涡轮位于所述蜗杆后侧，所述第二齿轮位于所述第二齿圈下方，所述联动轴两端安装在所述第二齿轮和所述涡轮之间；所述喷淋机构包括隔膜泵、喷淋管、喷头、U型管，所述隔膜泵吸液口安装在所述酸洗筒侧面，所述U型管安装在所述隔膜泵出液口，两个所述喷淋管安装在所述U型管上下两端，所述喷头安装在所述喷淋管内侧；
[0007]包括以下步骤，
[0008]S1，将需清洗的硅料放入到清洗筒内侧，向酸洗筒内注入酸洗液；
[0009]S2，使清洗筒下降，将清洗筒浸没在装有酸洗液的酸洗筒内；
[0010]S3，使清洗筒在酸洗筒内进行顺时针转动，而酸洗筒内的酸洗液随着惯性进行逆时针流动，同时利用隔膜泵将酸洗筒内的酸洗液抽送到U型管内，通过U型管来将酸洗液泵送到清洗筒上下两侧的喷淋管内，利用喷淋管上的喷头来将酸洗液喷洒到清洗筒内硅料的上下两侧；
[0011]S4，持续清洗一段时间后，清洗筒停止转动并上升离开酸洗筒，清洗结束，取走硅料。
[0012]优选地，本专利技术的硅料的清洗方法，所述酸洗筒与所述机座通过转动座连接，所述支撑架与所述清洗筒通过焊接连接。
[0013]优选地，本专利技术的硅料的清洗方法，所述驱动机构包括驱动电机、链轮、链条，所述驱动电机通过螺栓连接在所述机座上，两个链轮键连接在所述驱动电机转动部和所述联动轴中间位置，所述链条设置在两个所述链轮外侧。
[0014]优选地，本专利技术的硅料的清洗方法，所述升降机构包括固定板、升降电机、丝杠，所述固定板位于所述机座内侧且位于所述清洗机构上方，所述升降电机通过螺栓连接在所述机座顶部，所述丝杠上下两端通过轴承连接在所述机座内侧。
[0015]优选地，本专利技术的硅料的清洗方法，所述升降机构包括固定板、第一伸缩杆、第二伸缩杆，所述固定板位于所述机座内侧且位于所述清洗机构上方，所述第一伸缩杆和所述第二伸缩杆的固定部均通过螺栓连接在所述机座顶部，所述第一伸缩杆和所述第二伸缩杆的伸缩部通过螺纹连接在所述固定板前后两侧，所述第二伸缩杆位于所述第一伸缩杆前侧。
[0016]优选地，本专利技术的硅料的清洗方法，所述蜗杆中间位置与所述机座通过轴承连接，所述联动轴与所述机座通过轴承连接，所述联动轴与所述第二齿轮键连接。
[0017]优选地，本专利技术的硅料的清洗方法，所述隔膜泵吸液口与所述酸洗筒通过导管连接，所述喷淋管与所述U型管通过焊接连接，所述喷头与所述喷淋管通过螺纹连接。
[0018]优选地，本专利技术的硅料的清洗方法，所述第一齿轮和所述第一齿圈外侧啮合的齿牙均为直齿，而所述第二齿轮和所述第二齿圈为锥形结构的斜齿齿牙。
[0019]优选地，本专利技术的硅料的清洗方法，所述喷淋管和所述喷头位于所述酸洗筒和所述清洗筒之间。
[0020]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0021]1、通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动，同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动，从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度，继而来提高清洗效率；
[0022]2、利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内，利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上，从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是本专利技术所述一种用于硅料的清洗装置的实施例1结构示意图；
[0025]图2是本专利技术所述一种用于硅料的清洗装置的实施例2结构示意图；
[0026]图3是本专利技术所述一种用于硅料的清洗装置的升降机构实施例1局部零件图；
[0027]图4是本专利技术所述一种用于硅料的清洗装置的升降机构实施例2局部零件图；
[0028]图5是本专利技术所述一种用于硅料的清洗装置的酸洗筒局部零件图；
[0029]图6是本专利技术所述一种用于硅料的清洗装置的喷淋机构局部零件图；
[0030]图7是本专利技术所述一种用于硅料的清洗装置的联动机构局部零件图；
[0031]图8是本专利技术所述一种用于硅料的清洗装置的联动轴局部零件图。
[0032]附图标记说明如下：
[0033]1、清洗机构；2、联动机构；3、驱动机构；4、升降机构；5、喷淋机构；6、机座；11、酸洗筒；12、清洗筒；13、支撑架；21、第一齿轮；22、第一齿圈；23、蜗杆；24、涡轮；25、第二齿轮；26、第二齿圈；27、联动轴；31、驱动电机；32、链轮；33、链条；41、固定板；42、升降电机；43、丝杠；412、第一伸缩杆；413、第二伸缩杆；51、隔膜泵；52、喷淋管；53、喷头；54、U型管。
具体实施方式
[0034]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅料的清洗方法，其特征在于，使用的装置包括驱动机构(3)、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构(4)、机座(6)，所述驱动机构(3)位于所述机座(6)上侧，所述升降机构(4)位于所述机座(6)顶部，其特征在于，还包括清洗机构(1)、联动机构(2)和喷淋机构(5)，所述清洗机构(1)包括酸洗筒(11)、清洗筒(12)、支撑架(13)，所述酸洗筒(11)位于所述机座(6)内侧底部，所述清洗筒(12)位于所述酸洗筒(11)内侧，所述支撑架(13)下端安装在所述清洗筒(12)顶部；所述联动机构(2)包括第一齿轮(21)、第一齿圈(22)、蜗杆(23)、涡轮(24)、第二齿轮(25)、第二齿圈(26)、联动轴(27)，所述第一齿圈(22)安装在所述清洗筒(12)上侧，所述第二齿圈(26)安装在所述酸洗筒(11)底侧，所述第一齿圈(22)位于所述第一齿轮(21)一侧，所述蜗杆(23)上端安装在所述第一齿轮(21)中心位置，所述涡轮(24)位于所述蜗杆(23)后侧，所述第二齿轮(25)位于所述第二齿圈(26)下方，所述联动轴(27)两端安装在所述第二齿轮(25)和所述涡轮(24)之间；所述喷淋机构(5)包括隔膜泵(51)、喷淋管(52)、喷头(53)、U型管(54)，所述隔膜泵(51)吸液口安装在所述酸洗筒(11)侧面，所述U型管(54)安装在所述隔膜泵(51)出液口，两个所述喷淋管(52)安装在所述U型管(54)上下两端，所述喷头(53)安装在所述喷淋管(52)内侧；包括以下步骤，S1，将需清洗的硅料放入到清洗筒(12)内侧，向酸洗筒(11)内注入酸洗液；S2，使清洗筒(12)下降，将清洗筒(12)浸没在装有酸洗液的酸洗筒(11)内；S3，使清洗筒(12)在酸洗筒(11)内进行顺时针转动，而酸洗筒(11)内的酸洗液随着惯性进行逆时针流动，同时利用隔膜泵(51)将酸洗筒(11)内的酸洗液抽送到U型管(54)内，通过U型管(54)来将酸洗液泵送到清洗筒(12)上下两侧的喷淋管(52)内，利用喷淋管(52)上的喷头(53)来将酸洗液喷洒到清洗筒(12)内硅料的上下两侧；S4，持续清洗一段时间后，清洗筒(12)停止转动并上升离开酸洗筒，清洗结束，取走硅料。2.根据权利要求1所述的硅料的清洗方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，夏振，杨洋，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：