一种取晶用晶元蓝膜固定机构制造技术

技术编号:28492756 阅读:27 留言:0更新日期:2021-05-19 22:19
本发明专利技术提供了一种取晶用晶元蓝膜固定机构,包括机架、支撑环、顶杆、第一电机和支架,所述机架包括沿水平方向设置的安装板,所述安装板中开设有安装孔,所述支撑环转动安装在所述安装孔中,所述支撑环中设有扩晶环,所述第一电机固定安装在所述支架上,所述第一电机的输出轴上安装有偏心轮,所述偏心轮转动能够驱动所述顶杆上下移动,通过将顶杆设置在水平调节机构上,通过水平调节机构驱动顶杆向上顶推晶元蓝膜上不同位置的晶元来配合取晶工作,在取晶过程蓝膜处于静止状态,提高了取晶过程中的稳定性,保证了取晶精度。保证了取晶精度。保证了取晶精度。

【技术实现步骤摘要】
一种取晶用晶元蓝膜固定机构


[0001]本专利技术涉及电子元件制造领域,尤其涉及一种取晶用晶元蓝膜固定机构。

技术介绍

[0002]在二极管封装制造过程中,需要将储存在晶元蓝膜上的晶元取出并安装到石墨盘,现有技术中,一般是通过移动蓝膜的方式来配合装置进行取晶,而这种移动蓝膜的方式需要多次进行定位,精确度不高。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是现有技术中,一般是通过移动蓝膜的方式来配合装置进行取晶,而这种移动蓝膜的方式需要多次进行定位,精确度不高,本专利技术提供了一种取晶用晶元蓝膜固定机构来解决上述问题。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种取晶用晶元蓝膜固定机构,包括机架和支撑环,所述机架包括沿水平方向设置的安装板,所述安装板中开设有安装孔,所述支撑环转动安装在所述安装孔中,所述支撑环的转动轴心沿竖直方向设置,所述支撑环中设有用于放置晶元蓝膜的扩晶环,还包括顶杆、第一电机和支架,所述第一电机固定安装在所述支架上,所述第一电机的输出轴沿水平方向设置,所述第一电机的输出轴上安装有偏心轮,所述顶杆沿竖直方向活动安装在所述支架上,并位于所述扩晶环的下方,所述偏心轮转动能够驱动所述顶杆上下移动;所述支架通过水平调节机构设置在所述机架上,所述水平调节机构可驱动所述支架在水平方向调节位置。
[0005]进一步地:所述水平调节机构包括横向导轨、横向丝杠、横向滑块、第二电机、纵向导轨、纵向丝杠、纵向滑块和第三电机,所述横向导轨沿水平方向固定安装在所述机架上,所述横向丝杠转动安装在所述横向导轨上,并平行于所述横向导轨设置,所述横向滑块安装在所述横向丝杠上,所述横向丝杠转动能够驱动所述横向滑块沿所述横向导轨滑动,所述第二电机固定安装在所述机架上,所述第二电机的输出轴与所述横向丝杠固定连接,并能驱动所述横向丝杠转动;所述纵向导轨沿水平方向固定安装在所述横向滑块上,并垂直于所述横向导轨设置,所述纵向丝杠安装在所述纵向导轨上,并平行于所述纵向导轨设置,所述支架固定安装在所述纵向滑块上,所述纵向滑块安装在所述纵向丝杠上,所述纵向丝杠转动能够驱动所述纵向滑块沿所述纵向导轨移动,所述第三电机固定安装在所述纵向导轨上,所述第三电机的输出轴与所述纵向丝杠固定连接,并能驱动所述纵向丝杠转动。
[0006]进一步地:所述支撑环的外壁上设有环形齿,所述机架上安装有第四电机,所述第四电机的输出轴上安装有驱动齿轮,所述驱动齿轮的转动轴心平行于所述支撑环的转动轴心,所述驱动齿轮与所述环形齿通过带连接。
[0007]进一步地:所述支撑环的上方设有半分环,所述半分环的数量为二个,二个所述半分环通过竖直调节机构安装在所述支撑环上,所述竖直调节机构可驱动二个所述半分环沿竖直方向移动,并将所述晶元蓝膜的中部张紧在所述扩晶环上。
[0008]进一步地:,所述竖直调节机构包括活动环和连接轴,所述活动环套设在所述扩晶环的外周,二个所述半分环对称安装在所述活动环上,所述活动环上设有沿竖直方向设置的螺纹孔,所述连接轴沿竖直方向设置,所述连接轴的底部转动安装在所述支撑环上,所述连接轴的顶部设置有与所述螺纹孔相配合的外螺纹,所述外螺纹安装在所述螺纹孔中,所述连接轴转动能够驱动所述活动环上下移动,所述连接轴和螺纹孔的数量为均多个,多个所述连接轴和螺纹孔均沿周向设置;所述竖直调节机构还包括第五电机、连接架和第一气缸,所述第一气缸的缸体固定安装在所述机架上,所述第一气缸的活塞杆沿水平方向设置,并与所述连接架固定连接,所述连接架上设置有导杆,所述导杆平行于所述第一气缸的活塞杆设置,所述机架上设有与所述导杆相配合的导套,所述导杆插入所述导套中,并能沿所述导套滑动,所述第五电机固定安装在所述连接架上,所述第五电机的输出轴上安装有第一斜齿轮,所述支撑环上转动安装有支撑轴,所述支撑轴沿竖直方向设置,所述支撑轴上固定安装有第二斜齿轮,所述第二斜齿轮与所述第一斜齿轮啮合设置,所述支撑轴和多个所述连接轴上均固定安装有转轮,多个转轮通过闭环传动带连接同步转动。
[0009]进一步的:所述支撑环上还固定安装有限位杆,所述限位杆沿竖直方向设置,所述机架上设置有第二气缸,所述第二气缸的活塞杆沿水平方向设置,所述第二气缸的活塞杆上固定安装有限位块,所述限位块上沿竖直方向设置有限位槽,所述第二气缸的活塞杆工作能够顶推所述限位槽卡紧在所述限位杆上。
[0010]本专利技术的有益效果是,本专利技术一种取晶用晶元蓝膜固定机构通过将顶杆设置在水平调节机构上,通过水平调节机构驱动顶杆向上顶推晶元蓝膜上不同位置的晶元来配合取晶工作,在取晶过程蓝膜处于静止状态,提高了取晶过程中的稳定性,保证了取晶精度。
附图说明
[0011]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0012]图1是本专利技术一种取晶用晶元蓝膜固定机构的结构示意图;图2是水平调节机构的结构示意图;图3是支撑环的转动结构示意图;图4是活动环安装在支撑环上的结构示意图;图5是连接轴安装在螺纹孔中的结构示意图;图6是第五电机的安装结构示意图;图7是限位块的结构示意图。
[0013]图中1、机架,2、支撑环,3、安装板,4、扩晶环,5、顶杆,6、第一电机,7、支架,8、偏心轮,11、横向导轨,12、横向丝杠,13、横向滑块,14、第二电机,15、纵向导轨,16、纵向丝杠,17、纵向滑块,18、第三电机,21、环形齿,22、第四电机,23、驱动齿轮,31、半分环,32、活动环,321、螺纹孔,33、连接轴,331、外螺纹,34、第五电机,35、连接架,36、第一气缸,37、导杆,38、第一斜齿轮,39、支撑轴,40、第二斜齿轮,41、转轮,42、限位杆,43、第二气缸,44限位槽。
具体实施方式
[0014]下面详细描述本专利技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附
图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本专利技术,而不能理解为对本专利技术的限制。相反,本专利技术的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。
[0015]在本专利技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0016]此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种取晶用晶元蓝膜固定机构,包括机架(1)和支撑环(2),所述机架(1)包括沿水平方向设置的安装板(3),所述安装板(3)中开设有安装孔,所述支撑环(2)转动安装在所述安装孔中,所述支撑环(2)的转动轴心沿竖直方向设置,所述支撑环(2)中设有用于放置晶元蓝膜的扩晶环(4),其特征在于:还包括顶杆(5)、第一电机(6)和支架(7),所述第一电机(6)固定安装在所述支架(7)上,所述第一电机(6)的输出轴沿水平方向设置,所述第一电机(6)的输出轴上安装有偏心轮(8),所述顶杆(5)沿竖直方向活动安装在所述支架(7)上,并位于所述扩晶环(4)的下方,所述偏心轮(8)转动能够驱动所述顶杆(5)上下移动;所述支架(7)通过水平调节机构设置在所述机架(1)上,所述水平调节机构可驱动所述支架(7)在水平方向调节位置。2.如权利要求1所述的一种取晶用晶元蓝膜固定机构,其特征在于:所述水平调节机构包括横向导轨(11)、横向丝杠(12)、横向滑块(13)、第二电机(14)、纵向导轨(15)、纵向丝杠(16)、纵向滑块(17)和第三电机(18),所述横向导轨(11)沿水平方向固定安装在所述机架(1)上,所述横向丝杠(12)转动安装在所述横向导轨(11)上,并平行于所述横向导轨(11)设置,所述横向滑块(13)安装在所述横向丝杠(12)上,所述横向丝杠(12)转动能够驱动所述横向滑块(13)沿所述横向导轨(11)滑动,所述第二电机(14)固定安装在所述机架(1)上,所述第二电机(14)的输出轴与所述横向丝杠(12)固定连接,并能驱动所述横向丝杠(12)转动;所述纵向导轨(15)沿水平方向固定安装在所述横向滑块(13)上,并垂直于所述横向导轨(11)设置,所述纵向丝杠(16)安装在所述纵向导轨(15)上,并平行于所述纵向导轨(15)设置,所述支架(7)固定安装在所述纵向滑块(17)上,所述纵向滑块(17)安装在所述纵向丝杠(16)上,所述纵向丝杠(16)转动能够驱动所述纵向滑块(17)沿所述纵向导轨(15)移动,所述第三电机(18)固定安装在所述纵向导轨(15)上,所述第三电机(18)的输出轴与所述纵向丝杠(16)固定连接,并能驱动所述纵向丝杠(16)转动。3.如权利要求1所述的一种取晶用晶元蓝膜固定机构,其特征在于:所述支撑环(2)的外壁上设有环形齿(21),所述机架(1)上安装有第四电机(22),所述第四电机(22)的输出轴上安装有驱动齿轮(23),所述驱动齿轮(23)的转动轴心平行于所述支撑环(2)的转动轴心,所述驱动齿轮(23)与所述环形齿(21)通过带连接。4.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:向军封浩冯霞霞王金磊
申请(专利权)人:江苏新智达新能源设备有限公司
类型:发明
国别省市:

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