晶圆安装机构的驱动装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种晶圆安装机构的驱动装置，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在基座上；旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上；所述基座的下端设有两个支座，所述旋转座位于两个所述支座之间；两个所述支座上分别连接有能上下移动的半圆形上下转环，两个所述半圆形上下转环分别环绕在所述旋转座的左右两侧，各所述半圆形上下转环均具有半圆形滑道；通过旋转座带动两个摆臂转动，并且两个摆臂能相对于旋转座上下移动，以使一个摆臂可以抓取晶圆，另一个摆臂同时将其上的晶圆安装到石墨盘上，从而提高通过摆臂拾取晶圆的效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种晶圆安装机构的驱动装置。

技术介绍

1、晶圆一般都是储存在扩晶环上，将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，目前有两种方法，方法一是人工采用吸盘的方式，但是这种方法的效率不高，不适用于高速的生产使用，方法二是通过摆臂的形式自动抓取，通过摆臂的转动从而将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，但是这种拾取方式只能先抓取在放置，一个工序只能完成一个晶圆的安装，效率也得不到实质的提高。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种晶圆安装机构，以解决在通过摆臂拾取晶圆时效率不高的问题。

2、本专利技术的上述目的可采用下列技术方案来实现：

3、本专利技术提供一种晶圆安装机构，包括；

4、旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上；

5、两个摆臂，两个所述摆臂对称设置在所述旋转座的左右两侧，且两个所述摆臂位于同一条水平方向的直线上，所述旋转座能带动两个所述摆臂转动；

6、且两个所述摆臂能分别上下滑动的连接在所述旋转座上，两个所述摆臂的自由端均具有用于抓取晶圆的夹本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆安装机构的驱动装置，其特征在于，包括；

2.根据权利要求1所述的晶圆安装机构的驱动装置，其特征在于，两个所述支座上分别设置有直线电机，所述直线电机的固定端连接在所述支座上，所述直线电机的运动端通过滑座连接在所述半圆形上下转环上。

3.根据权利要求2所述的晶圆安装机构的驱动装置，其特征在于，所述支座上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨，所述直线电机位于两个所述第二导轨之间；

【技术特征摘要】

1.一种晶圆安装机构的驱动装置，其特征在于，包括；

2.根据权利要求1所述的晶圆安装机构的驱动装置，其特征在于，两个所述支座上分别设置有直线电机，所述直线电机的固定端连接在所述支座上，所述直线电...

【专利技术属性】
技术研发人员：向军，
申请(专利权)人：江苏新智达新能源设备有限公司，
类型：发明
国别省市：