下载晶圆安装机构的驱动装置的技术资料

文档序号:44168385

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本发明提供了一种晶圆安装机构的驱动装置,包括;旋转座,所述旋转座转动连接在基座上;旋转座,所述旋转座转动连接在固定的基座上;所述基座的下端设有两个支座,所述旋转座位于两个所述支座之间;两个所述支座上分别连接有能上下移动的半圆形上下转环,两个...
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