一种具有曝光功能的涂胶显影机制造技术

本实用新型专利技术提供一种具有曝光功能的涂胶显影机，属于显影机技术领域，包括显影机本体，其主要特征在于，显影机本体的右侧正对面活动安装有开关控制器，开关控制器的上方开设槽有凹槽一，凹槽一的下表面固定安装有曝光灯，曝光灯的下表面活动安装有盖板，盖板的正对面固定安装有拉手，盖板的下方固定安装有托板，托板的下表面固定安装有真空装置，盖板的内壁嵌入设置有橡胶膜，托板的背面转动连接有合页，通过盖板内壁嵌入设置的橡胶膜，橡胶膜覆盖在半导体晶片的上方，防止粉尘掉落在半导体晶片的上方，导致曝光显影后半导体晶片表面留有杂质。质。质。

【技术实现步骤摘要】
一种具有曝光功能的涂胶显影机


[0001]本技术涉及显影机
，更具体的，涉及一种具有曝光功能的涂胶显影机。

技术介绍

[0002]显影是指用还原剂把软片或印版上经过曝光形成的潜影显现出来的过程，PS版的显影则是在印版图文显现出来的同时，获得满足印刷要求的印刷版面和版面性能，一般用于半导体晶片的光刻工艺制程中，现有的显影机一般都是通过履带或者滚轮传输半导体晶片用于曝光显影，由于半导体晶片较为脆弱，在运输中的磕碰和拿取都有可能造成晶片的损坏，且上方没有覆盖件，空气中的粉尘掉落在晶片上方，曝光显影后上方会有杂质。

技术实现思路

[0003]本技术旨在解决，现有的显影机一般都是通过履带或者滚轮传输半导体晶片用于曝光显影，由于半导体晶片较为脆弱，在运输中的磕碰和拿取都有可能造成晶片的损坏，且上方没有覆盖件，空气中的粉尘掉落在晶片上方，曝光显影后上方会有杂质。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有曝光功能的涂胶显影机，包括显影机本体，所述显影机本体的右侧正对面活动安装有开关控制器，所述显影机本体的正面开设槽有凹槽一，所述凹槽一的下表面固定安装有曝光灯，所述凹槽一的内壁活动安装有盖板，所述盖板的正对面固定安装有拉手，所述盖板的下方固定安装有托板，所述托板的下表面固定安装有真空装置，所述盖板的内壁嵌入设置有橡胶膜，所述托板的背面转动连接有合页，所述托板的上表面开设槽有凹槽二，所述凹槽二的内部嵌入设置有转轴，所述转轴的外壁转动连接有支撑杆，所述托板的上表面固定安装有隔板，所述隔板的左右两侧开设孔有真空孔，所述托板的正对面活动连接有拨片，所述托板的左右两侧面均固定连接有固定块，所述固定块的内部转动连接有滑轮，所述盖板的上方转动连接有涂胶滚轮，所述固定块的背面固定安装有凸块。
[0005]进一步优选方案：所述凹槽一的左右两侧设置有槽，且槽的宽度大于滑轮的宽度。
[0006]进一步优选方案：所述显影机本体的左右内壁开设有槽，槽与滑轮位置相对应，滑轮滚动连接于槽内，且槽位于显影机本体出口位置处的高度小于凸块高度。
[0007]进一步优选方案：所述凹槽二的长度大于支撑杆的长度，且所述凹槽二的宽度大于支撑杆的直径。
[0008]进一步优选方案：所述橡胶膜的上表面与涂胶滚轮的外壁紧密贴合。
[0009]进一步优选方案：所述托板的长度和宽度小于显影机本体的长度和宽度。
[0010]本技术提供了一种具有曝光功能的涂胶显影机，具有以下有益效果：
[0011]1、本技术通过托板正面的拨片，拨片向下按动时拨片的下表面与托板的下表面接触充当支点，另一侧上升上表面与槽的下表面紧密贴合，顶起真空孔上方的半导体晶片，便于半导体晶片的拿取。
[0012]2、本技术优点在于通过固定块背面的凸块，凸块的宽度大于固定块的宽度，固定块移动时，凸块与显影机本体的内壁触碰，对托板限位防止托板全部移出显影机本体。
[0013]3、最后通过盖板内壁嵌入设置的橡胶膜，橡胶膜覆盖在半导体晶片的上方，防止粉尘掉落在半导体晶片的上方，避免曝光显影后半导体晶片表面留有杂质。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图。
[0015]图2为本技术装置托板局部结构示意图。
[0016]图3为本技术装置托板俯视结构示意图。
[0017]图1
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3中：1、显影机本体；2、开关控制器；3、凹槽一；4、曝光灯；5、盖板；6、拉手；7、托板；8、真空装置；9、橡胶膜；10、合页；11、凹槽二；12、转轴；13、支撑杆；14、隔板；15、真空孔；16、拨片；17、固定块；18、滑轮；19、涂胶滚轮；20、凸块。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图1
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3，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例：
[0020]请参阅图1至3：
[0021]本实施例提供进一步优选方案一种具有曝光功能的涂胶显影机，包括显影机本体1，显影机本体1的右侧正对面活动安装有开关控制器2，显影机本体1的正面开设槽有凹槽一3，凹槽一3的下表面固定安装有曝光灯4，凹槽一3的内壁活动安装有盖板5，盖板5的正对面固定安装有拉手6，盖板5的下方固定安装有托板7，托板7的下表面固定安装有真空装置8，盖板5的内壁嵌入设置有橡胶膜9，托板7的背面转动连接有合页10，托板7的上表面开设槽有凹槽二11，凹槽二11的内部嵌入设置有转轴12，转轴12的外壁转动连接有支撑杆13，托板7的上表面固定安装有隔板14，隔板14的左右两侧开设孔有真空孔15，托板7的正对面活动连接有拨片16，托板7的左右两侧面均固定连接有固定块17，固定块17的内部转动连接有滑轮18，盖板5的上方转动连接有涂胶滚轮19，固定块17的背面固定安装有凸块20。
[0022]进一步的，凹槽一3的左右两侧设置有槽，且槽的宽度大于滑轮18的宽度，向下按动拨片16时拨片16的下表面与托板7的下表面接触充当支点，另一侧上升上表面与槽的下表面紧密贴合，顶起真空孔15上方的晶片。
[0023]进一步的，所述显影机本体1的左右内壁开设有槽，槽与滑轮18位置相对应，滑轮18滚动连接于槽内，且槽位于显影机本体1出口位置处的高度小于凸块20高度，滑轮18转动时将托板7送入显影机本体1的内部，通过凸块20对托板7进行限位，放置托板7拉出显影机本体1外。
[0024]进一步的，凹槽二11的长度大于支撑杆13的长度，且凹槽二11的宽度大于支撑杆13的直径，支撑杆13下降时外壁卡接在凹槽二11的内部，防止盖板5与托板7贴合时产生间隙。
[0025]进一步的，橡胶膜9的上表面与涂胶滚轮19，盖板5移动带动橡胶膜9移动，橡胶膜9移动与涂胶滚轮19的外壁摩擦，粘附涂胶滚轮19上的涂胶。
[0026]进一步的，托板7的长度和宽度小于显影机本体1的长度和宽度，托板7通过滑轮18沿着显影机本体内部的槽移出进入显影机本体1的内部。
[0027]工作原理：一种具有曝光功能的涂胶显影机，首先拉动拉手6，拉手6拉动带动与盖板5连接的托板7移动，托板7左右两侧的滑轮18沿着槽转动，固定块17背面的凸块20与显影机本体1触碰，防止托板全部移出显影机本体1之外，然后通过合页10向上翻动盖板5，支撑杆13支撑盖板5将盖板5和托板7分开，然后将晶片放置在隔板14的左右两侧，再按动开关控制器2开启通过导线电性连接的真空装置8，真空装置8启动产生的吸力通过上方的真空孔15吸附真空孔15上方的晶片固定，然后向下按动盖板5，将盖板5的下表面与托板7的上表面紧密贴合，盖板5内壁嵌入设置的橡胶膜9覆盖在晶片的上方，推动托板7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有曝光功能的涂胶显影机，包括显影机本体(1)，其特征在于，所述显影机本体(1)的右侧正对面活动安装有开关控制器(2)，所述显影机本体(1)的正面开设槽有凹槽一(3)，所述凹槽一(3)的下表面固定安装有曝光灯(4)，所述凹槽一(3)的内壁活动安装有盖板(5)，所述盖板(5)的正对面固定安装有拉手(6)，所述盖板(5)的下方固定安装有托板(7)，所述托板(7)的下表面固定安装有真空装置(8)，所述盖板(5)的内壁嵌入设置有橡胶膜(9)，所述托板(7)的背面转动连接有合页(10)，所述托板(7)的上表面开设槽有凹槽二(11)，所述凹槽二(11)的内部嵌入设置有转轴(12)，所述转轴(12)的外壁转动连接有支撑杆(13)，所述托板(7)的上表面固定安装有隔板(14)，所述隔板(14)的左右两侧开设孔有真空孔(15)，所述托板(7)的正对面活动连接有拨片(16)，所述托板(7)的左右两侧面均固定连接有固定块(17)，所述固定块(17)的内部转动连接有滑轮(18)，所述盖板(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军区，杜国强，董金良，
申请(专利权)人：无锡环亚微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：