晶圆预载装置及自动光学检测仪制造方法及图纸

本申请提供一种晶圆预载装置及自动光学检测仪，用于将晶圆按预设状态送入自动光学检测仪的检测装置中进行检测。晶圆预载装置包括用于承载并固定需要预载的晶圆的旋转载台、用于将所述晶圆置入或移出所述旋转载台的转运单元、用于识别晶圆的身份标识的标识单元、用于识别所述晶圆的放置角度并控制所述旋转载台转正所述晶圆的调整单元、以及用于向承载于所述旋转载台上的所述晶圆的第一外表面喷射惰性气体以清除杂质的清洁单元。其中所述旋转载台还用于在所述清洁单元工作时带动所述晶圆相对于所述清洁单元旋转。本申请晶圆预载装置利用所述晶圆检测前需要旋转角度以规正的特点，在其承载于所述旋转载台上时对其进行清洁，可以获得更好的清洁效果，且改造成本较低。

【技术实现步骤摘要】
晶圆预载装置及自动光学检测仪
本技术涉及半导体制造
，特别涉及一种晶圆预载装置，以及包含该晶圆预载装置的自动光学检测仪。
技术介绍
在半导体器件的生产过程中，需要对晶圆进行多道复杂的工序处理，包括刻蚀、曝光、清洗等，其中还包括自动光学检查(AutomaticOpiticalInspection，AOI)工序，以确定晶圆表面的微粒数量。该工序的准确度会直接关系到晶圆成平的良率。晶圆在制造及转运的过程中，其表面可能吸附有部分杂质。虽然该部分杂质可以被气体去除，但如果该部分杂质未能被有效去除，会在自动光学检查时被判定为晶圆表面的微粒，进而影响到自动光学检查的准确度。当前的生产过程中，大多采用人工或机器的方式在晶圆进行自动光学检查前对其进行吹扫作业。但人工吹扫会降低晶圆生产的效率，而设置专门的机器吹扫装置又存在集成度不高，加大晶圆制造成本的问题。
技术实现思路
本申请的目的在于克服现有技术的不足，提供一种集成度高且便于实施的晶圆预载装置，具体包括如下技术方案：一种晶圆预载装置，用于将晶圆按预设状态送入自动光学检测仪的检测装置中进行检测，包括用于承载并固定需要预载的晶圆的旋转载台，以及用于将所述晶圆置入或移出所述旋转载台的转运单元，在所述旋转载台相对其预载的所述晶圆的延伸方向上，所述晶圆预载装置还设置有识别单元、调整单元和清洁单元，其中所述识别单元用于识别所述晶圆的身份标识，所述调整单元用于识别所述晶圆的放置角度，并基于所述放置角度控制所述旋转载台转正所述晶圆，所述清洁单元用于向承载于所述旋转载台上的所述晶圆的第一外表面喷射惰性气体以清除杂质，所述旋转载台还用于在所述清洁单元工作时带动所述晶圆相对于所述清洁单元旋转。本申请晶圆预载装置利用所述晶圆检测前需要通过所述调整单元与所述旋转载台的配合，对所述晶圆进行角度旋转以规正的特点，将清洁单元对应用于承载所述晶圆的所述旋转载台设置，以便于所述清洁单元朝向所述晶圆的所述第一外表面喷射惰性气体进行清洁时，可以通过所述旋转载台同步带动所述晶圆进行旋转，来提升所述清洁单元的清洁效果。本申请晶圆预载装置的改造成本较低，有利于成本控制。优选的，所述晶圆预载装置还包括吸气单元，所述吸气单元用于将所述清洁单元喷出的惰性气体连同被清除的杂质一并带离所述晶圆预载装置。所述吸气单元可以避免被清除的杂质对所述晶圆形成二次污染。优选的，所述吸气单元对齐或高于所述晶圆的所述第一外表面设置，且所述吸气单元至少设置于所述旋转载台的一侧。所述吸气单元对其或高于所述第一外表面可以保证其有效吸收到所述清洁单元喷出的惰性气体。优选的，所述吸气单元包括分列所述旋转载台相对两侧的第一吸气单元和第二吸气单元。所述第一吸气单元和所述第二吸气单元相对设置对惰性气体的吸收更完全。优选的，所述清洁单元包括至少一个朝向所述第一外表面设置的用于喷射惰性气体的喷头，以及连通于所述喷头的气体管路。所述喷头可以提升惰性气体的冲击压力，所述气路用于提供所述喷头清洁所需的惰性气体。优选的，所述气体管路与所述旋转载台间隔设置，所述喷头为多个，多个所述喷头沿所述气体管路的延伸方向间隔设置。多个所述喷头可以作用到所述晶圆的所述第一外表面更多位置。优选的，多个所述喷头至少分为两组，其中一组所述喷头自所述气体管路的一侧朝向所述第一外表面喷射惰性气体，另一组所述喷头自所述气体管路的另一侧朝向所述第一外表面喷射惰性气体。以对所述晶圆形成两个不同角度的气体冲刷效果，可以提升本申请晶圆预载装置的清洁效率。优选的，所述气体管路相对于所述旋转载台转动设置，所述清洁单元在喷射惰性气体的同时，还相对于所述旋转载台往复摇摆。所述晶圆与所述喷头之间可以由此形成更大的相对运动范围，进一步避免所述晶圆上的气体清洁压力不均的现象产生。优选的，所述清洁单元还包括气压调节组件，所述气压调节组件用于控制所述清洁单元朝向所述第一外表面喷射的惰性气体的气压，和/或所述清洁单元还包括气温调节组件，所述气温调节组件用于控制所述清洁单元朝向所述第一外表面喷射的惰性气体的气温。通过调节惰性气体的气压和温度，可以进一步提升所述清洁单元的清洁效果。本申请还提供一种自动光学检测仪，包括用于对晶圆进行光学检测的检测装置，以及上述的晶圆预载装置。因为配备了上述的晶圆预载装置，使得加载于所述检测装置上的所述晶圆表面更清洁，杂质更少，能够保证本申请自动光学检测仪具备更高的检测准确度。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术提供的自动光学检测仪的内部框架示意图；图2是本技术提供的晶圆预载装置的内部框架示意图；图3是本技术提供的晶圆预载装置的结构示意图；图4是本技术提供的晶圆预载装置中置入晶圆后的结构示意图；图5是本技术提供的晶圆预载装置中清洁单元的示意图；图6是本技术提供的晶圆预载装置中清洁单元另一实施例的示意图。附图标记说明：100-晶圆预载装置；10-旋转载台；11-转动机构；12-底盘；20-转运单元；30-识别单元；40-调整单元；50-清洁单元；51-喷头；52-气体管路；60-吸气单元；61-吸气口；62-动力源；200-自动光学检测仪；201-检测装置；300-晶圆；301-第一外表面。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。此外，以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本技术可用以实施的特定实施例。本技术中所提到的方向用语，例如，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附加图式的方向，因此，使用的方向用语是为了更好、更清楚地说明及理解本技术，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。请参阅图1所示的本技术提供的自动光学检测仪200，其包括有检测装置201以及本申请所述涉及的晶圆预载装置100。晶圆预载装置100用于将晶圆300(请参见图4)按照预设的状态送入检测装置201中进行自动光学检测。该预设的状态包括有晶圆300的载入角度要求、晶圆300的身份标识的有效识别，以及晶圆300的表面清洁度等状态。通常的，多个晶圆300同时存放于一容置机构(如晶圆架)上，通过对多个晶圆300的逐一拾取和载入并检测，可以实现对该容置机构内所存放的所有晶圆300的自动光学本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆预载装置，用于将晶圆按预设状态送入自动光学检测仪的检测装置中进行检测，其特征在于，包括：/n用于承载并固定需要预载的晶圆的旋转载台，以及用于将所述晶圆置入或移出所述旋转载台的转运单元，在所述旋转载台相对其预载的所述晶圆的延伸方向上，所述晶圆预载装置还设置有识别单元、调整单元和清洁单元，其中所述识别单元用于识别所述晶圆的身份标识，所述调整单元用于识别所述晶圆的放置角度，并基于所述放置角度控制所述旋转载台转正所述晶圆，所述清洁单元用于向承载于所述旋转载台上的所述晶圆的第一外表面喷射惰性气体以清除杂质，所述旋转载台还用于在所述清洁单元工作时带动所述晶圆相对于所述清洁单元旋转。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆预载装置，用于将晶圆按预设状态送入自动光学检测仪的检测装置中进行检测，其特征在于，包括：
用于承载并固定需要预载的晶圆的旋转载台，以及用于将所述晶圆置入或移出所述旋转载台的转运单元，在所述旋转载台相对其预载的所述晶圆的延伸方向上，所述晶圆预载装置还设置有识别单元、调整单元和清洁单元，其中所述识别单元用于识别所述晶圆的身份标识，所述调整单元用于识别所述晶圆的放置角度，并基于所述放置角度控制所述旋转载台转正所述晶圆，所述清洁单元用于向承载于所述旋转载台上的所述晶圆的第一外表面喷射惰性气体以清除杂质，所述旋转载台还用于在所述清洁单元工作时带动所述晶圆相对于所述清洁单元旋转。


2.根据权利要求1所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述晶圆预载装置还包括吸气单元，所述吸气单元用于将所述清洁单元喷出的惰性气体连同被清除的杂质一并带离所述晶圆预载装置。


3.根据权利要求2所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述吸气单元对齐或高于所述晶圆的所述第一外表面设置，且所述吸气单元至少设置于所述旋转载台的一侧。


4.根据权利要求3所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述吸气单元包括分列所述旋转载台相对两侧的第一吸气单元和第二吸气单元。


5.根据权利要求1-4任一项所述的晶圆预载...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨浩，杨富可，张嘉修，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50