本实用新型专利技术提供了一种多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机，属于镀膜设备技术领域。它解决了现有真空镀膜机加工效率低的问题。本多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机，包括外机壳，外机壳具有中空的内腔，内腔中设置有磁控溅射机构以及与磁控溅射机构相配合的用于放置板材的移动机构，移动机构设置于磁控溅射机构的下端，且移动机构上具有上下分层且可横向移动的上移动板与下移动板，其中一块移动板与磁控溅射机构相配合用于加工时，另一块移动板用于板材的放置，外机壳的侧部设置有与移动机构相配合的可开合的移动门。本实用新型专利技术具有效率高的优点。
【技术实现步骤摘要】
多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机
本技术属于镀膜设备
，涉及一种多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延和PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。现有的真空镀膜机大多都是单工位加工的，镀膜机在工作时，先将产品放置于加工台上，安装好之后再对产品进行镀膜加工，加工完成之后，对产品进行拆卸，随后安装上下一个产品，其存在工作效率低的问题。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述问题，提供一种多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机。为达到上述目的，本技术采用了下列技术方案：一种多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机，包括外机壳，所述的外机壳具有中空的内腔，所述的内腔中设置有磁控溅射机构以及与磁控溅射机构相配合的用于放置板材的移动机构，所述的移动机构设置于磁控溅射机构的下端，且移动机构上具有上下分层且可横向移动的上移动板与下移动板，其中一块移动板与磁控溅射机构相配合用于加工时，另一块移动板用于板材的放置，所述外机壳的侧部设置有与移动机构相配合的可开合的移动门。在上述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机中，所述的移动机构包括设置于外机壳底端部的移动机架，所述移动机架的两侧设置有供上移动板以及下移动板导向移动的滑移槽，所述的移动机架上设置有驱动连接于上移动板以及下移动板上的驱动结构。在上述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机中，所述的驱动结构包括驱动器以及与驱动器驱动连接的链轮组件，所述的上移动板连接于链轮组件的上侧，所述的下移动板连接于链轮组件的下侧。在上述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机中，所述的链轮组件包括横向架设于移动机架上的传动链盘与从动链盘，所述的传动链盘设置于靠近驱动器一侧与驱动器连接，所述的从动链盘设置于移动机架远离驱动器的一侧，所述的传动链盘与从动链盘之间连接有链条。在上述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机中，每个所述的滑移槽内设置有用于辅助导向滑移的滑动结构。在上述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机中，所述的滑动结构包括设置于滑移槽内的若干个转动轮，若干个所述的转动轮沿滑移槽的长度方向分布且可相对滑移槽进行周向自转。在上述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机中，每个滑移槽内开设有向下凹陷用于容纳转动轮的轮槽，所述的转动轮与轮槽之间连接有转轴。在上述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机中，所述转动轮的直径大于轮槽的高度，转动轮的下端与轮槽的底部滚动接触，转动轮的上端位于轮槽外。在上述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机中，所述转动轮的两侧部与轮槽的两内侧表面具有间隙，所述的上移动板与下移动板的下端部与转动轮相对应位置处设有供转动轮卡入的卡槽。在上述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机中，所述的移动机构上设置有与上移动板相配合的第一传感器以及与下移动板相配合的第二传感器。与现有的技术相比，本技术的优点在于：1、本技术的移动机构上具有上下分层且可横向移动的上移动板与下移动板，其中一块移动板与磁控溅射机构相配合用于加工时，另一块移动板用于板材的放置，双板交替工作以此来提高镀膜机的加工效率。2、本技术的滑移槽内设置有用于辅助导向滑移的滑动结构，通过滑动结构来提升移动板运动的稳定性。3、本技术转动轮的两侧部与轮槽的两内侧表面具有间隙，方便上移动板与下移动板的下端部的卡槽安装固定。本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。附图说明图1是本技术的整体结构示意图。图2是本技术中移动机构的结构示意图。图3是本技术中移动机构的局部结构剖视图。图中，1、外机壳；2、内腔；3、磁控溅射机构；4、移动机构；5、上移动板；6、下移动板；7、移动门；8、移动机架；9、滑移槽；10、驱动结构；11、驱动器；12、链轮组件；13、传动链盘；14、从动链盘；15、链条；16、滑动结构；17、转动轮；18、轮槽；19、转轴；20、间隙；21、卡槽；22、第一传感器；23、第二传感器。具体实施方式下面结合附图对本技术进行进一步说明。如图1所示，一种多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机，包括外机壳1，外机壳1具有中空的内腔2，内腔2中设置有磁控溅射机构3以及与磁控溅射机构3相配合的用于放置板材的移动机构4，移动机构4设置于磁控溅射机构3的下端，且移动机构4上具有上下分层且可横向移动的上移动板5与下移动板6，其中一块移动板与磁控溅射机构3相配合用于加工时，另一块移动板用于板材的放置，外机壳1的侧部设置有与移动机构4相配合的可开合的移动门7。在本实施例中，移动机构4上具有上下分层且可横向移动的上移动板5与下移动板6，其中一块移动板与磁控溅射机构3相配合用于加工时，另一块移动板用于板材的放置，双板交替工作以此来提高镀膜机的加工效率。本领域技术人员应当理解，磁控溅射机构3为市面上磁控溅射设备内的其中一个机构，在市场上较容易获得，是较为成熟的现有技术，由于磁控溅射机构3不是本技术方案的主要改进点，故不对其结构进行详细阐述。在本实施例中，移动机构4包括设置于外机壳1底端部的移动机架8，移动机架8的两侧设置有供上移动板5以及下移动板6导向移动的滑移槽9，移动机架8上设置有驱动连接于上移动板5以及下移动板6上的驱动结构10。作为优选，驱动结构10包括驱动器11以及与驱动器11驱动连接的链轮组件12，上移动板5连接于链轮组件12的上侧，下移动板6连接于链轮组件12的下侧。驱动器11可为电机。进一步细说，链轮组件12包括横向架设于移动机架8上的传动链盘13与从动链盘14，传动链盘13设置于靠近驱动器11一侧与驱动器11连接，从动链盘14设置于移动机架8远离驱动器11的一侧，传动链盘13与从动链盘14之间连接有链条15。作为优选，每个滑移槽9内设置有用于辅助导向滑移的滑动结构16。进一步细说，滑动结构16包括设置于滑移槽9内的若干个转动轮17，若干个转动轮17沿滑移槽9的长度方向分布且可相对滑移槽9进行周向自转。为了提升转动轮17连接的稳定性，每个滑移槽9内开设有向下凹陷用于容纳转动轮17的轮槽18，转动轮17与轮槽18之间连接有转轴19。作为优选，转动轮17的直径大于轮槽18的高度，转动轮17的下端与轮槽18的底部本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机，包括外机壳(1)，所述的外机壳(1)具有中空的内腔(2)，其特征在于，所述的内腔(2)中设置有磁控溅射机构(3)以及与磁控溅射机构(3)相配合的用于放置板材的移动机构(4)，所述的移动机构(4)设置于磁控溅射机构(3)的下端，且移动机构(4)上具有上下分层且可横向移动的上移动板(5)与下移动板(6)，其中一块移动板与磁控溅射机构(3)相配合用于加工时，另一块移动板用于板材的放置，所述外机壳(1)的侧部设置有与移动机构(4)相配合的可开合的移动门(7)。/n
【技术特征摘要】
1.一种多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机，包括外机壳(1)，所述的外机壳(1)具有中空的内腔(2)，其特征在于，所述的内腔(2)中设置有磁控溅射机构(3)以及与磁控溅射机构(3)相配合的用于放置板材的移动机构(4)，所述的移动机构(4)设置于磁控溅射机构(3)的下端，且移动机构(4)上具有上下分层且可横向移动的上移动板(5)与下移动板(6)，其中一块移动板与磁控溅射机构(3)相配合用于加工时，另一块移动板用于板材的放置，所述外机壳(1)的侧部设置有与移动机构(4)相配合的可开合的移动门(7)。
2.根据权利要求1所述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述的移动机构(4)包括设置于外机壳(1)底端部的移动机架(8)，所述移动机架(8)的两侧设置有供上移动板(5)以及下移动板(6)导向移动的滑移槽(9)，所述的移动机架(8)上设置有驱动连接于上移动板(5)以及下移动板(6)上的驱动结构(10)。
3.根据权利要求2所述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述的驱动结构(10)包括驱动器(11)以及与驱动器(11)驱动连接的链轮组件(12)，所述的上移动板(5)连接于链轮组件(12)的上侧，所述的下移动板(6)连接于链轮组件(12)的下侧。
4.根据权利要求3所述的多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机，其特征在于，所述的链轮组件(12)包括横向架设于移动机架(8)上的传动链盘(13)与从动链盘(14)，所述的传动链盘(13)设置于靠近驱动器(11)一侧与驱动器(11)连接，所述的从动链盘(14)设置于移动机架(8)远离驱动器(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：林卫良，
申请(专利权)人：温岭市华航电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。