下载多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机的技术资料

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本实用新型提供了一种多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机,属于镀膜设备技术领域。它解决了现有真空镀膜机加工效率低的问题。本多加工台往复式磁控溅射真空镀膜机,包括外机壳,外机壳具有中空的内腔,内腔中设置有磁控溅射机构以及与磁控溅射机构相配合的用于...
该专利属于温岭市华航电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过温岭市华航电子科技有限公司授权不得商用。

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