一种应用于光源检测的硅片自动传送设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种应用于光源检测的硅片自动传送设备，包括机架、工作台、硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构；工作台固定安装在机架的上端面，硅片传送机构固定安装在工作台的上表面；光源检测机构架设在硅片传送机构的输入端；分拣剔除机构架设在硅片传送机构的输出端；其中，硅片传送机构包括传送架、若干同步轮和皮带；传送架固定设置工作台的上表面，各同步轮转动连接在传送架的内侧壁，皮带套设在各同步轮上。本实用新型专利技术通过将硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构高度集成，实现硅片的自动、高效、准确地分选，有效地提高硅片检测分选的产能，保证硅片根据参数进行精准分选并且降低误检率等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于光源检测的硅片自动传送设备
本技术属于光电检测设备
，尤其涉及一种应用于光源检测的硅片自动传送设备。
技术介绍
半导体硅片是半导体器件制作的基础原料。半导体器件生产线所生产的产品众多，规格型号各有不同。针对不同器件的规格参数需选择特定电阻率、厚度的硅片进行投产。若选择的硅片电阻率、厚度及外观不符合要求，则生产出的产品会发生电性参数的偏离，形成产品不良。目前来料硅片需检测的参数如下：1.硅片外观参数：崩边、缺口、沾污、划伤；2.硅片几何参数；厚度、TTV、翘曲、形变；3.硅片电阻率参数：阻值、P/N型判断；为满足半导体器件产品对来料硅片的检测要求就需要设计人员兼顾考虑以上三方面的检测参数。目前市面上的半导体硅片测试分选设备绝大多数采用人工抽检与探针检测等方式，其存在以下缺点：1.探针台检测分选效率低，难以满足大规模生产的要求；2.人工检测误检率高；3.目前市面上的设备只能检测单一参数或2～3个参数，难以根据硅片的外观、几何及电阻率参数进行合理的分选，影响产品良率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种应用于光源检测的硅片自动传送设备，旨在解决现有技术中产能效率低、误检率高、检测参数单一的问题。为实现上述目的，本技术实施例提供的一种应用于光源检测的硅片自动传送设备，包括机架、工作台、硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构；所述工作台固定安装在所述机架的上端面，所述硅片传送机构固定安装在所述工作台的上表面以向前输送硅片；所述光源检测机构架设在所述硅片传送机构的输入端以拍摄并摄取硅片的检测影像；所述分拣剔除机构架设在所述硅片传送机构的输出端以剔除经所述光源检测机构检验不及格的硅片；其中，所述硅片传送机构包括传送架、若干同步轮和皮带；所述传送架固定设置所述工作台的上表面，各所述同步轮转动连接在所述传送架的内侧壁，所述皮带套设在各所述同步轮上。可选地，所述光源检测机构包括架设于所述传送架两侧并固定连接在所述工作台上表面的检测安装架、相邻固定安装在所述检测安装架上的线扫相机和可调节线扫光源、以及套设在所述检测安装架的上表面并将所述线扫相机和所述可调节线扫光源相包围的外罩箱。可选地，所述检测安装架上竖直固定有架设安装柱，所述架设安装柱的端部设置有相机位调整座，所述线扫相机固定连接在所述相机位调整座上。可选地，所述可调节线扫光源包括旋转组件和设于该旋转组件上的线扫光源主体；所述旋转组件包括线扫旋转轴、安装侧板和旋转块，两个所述安装侧板平行固定在所述检测安装架的两侧，所述旋转块固定在所述安装侧板上，所述线扫旋转轴的两端可转动地安装在所述旋转块上，所述线扫光源主体固定在所述线扫旋转轴上。可选地，所述检测安装架的底部设置有若干支撑架，各所述支撑架的底部均与所述工作台固定连接。可选地，所述分拣剔除机构包括架设于所述传送架两侧并固定连接在所述工作台上表面的龙门架、设于该龙门架上的动力组件及横向导轨和可升降的抓料组件；所述抓料组件在所述动力组件作用下沿所述横向导轨往复平移的同时，且相对于所述龙门架做升降运动。可选地，所述动力组件包括分别设于所述龙门架两侧的电机及限位板和设于该限位板一侧的动力板，所述电机的输出轴依次穿过所述龙门架及限位板与所述动力板连接；所述动力板上开设有腰圆孔，所述限位板上开设有拱形腰圆孔，且该拱形腰圆孔的顶端设有一平直部；所述抓料组件的一端依次穿过所述腰圆孔及所述拱形腰圆孔，所述电机驱动所述动力板正转或反转，带动所述抓料组件做升降及水平移栽的复合运动。可选地，所述抓料组件包括沿着所述横向导轨滑行的抓料安装板、竖向设于该抓料安装板上的滑块、沿着该滑块滑行的抓料架和设于该抓料架底端的至少两吸嘴、设于所述抓料架顶端的连接座、设于该连接座一侧的横梁和转动设于该横梁上的两滚动轮组；所述横梁依次穿过所述腰圆孔及所述拱形腰圆孔，且两所述滚动轮组分别与所述腰圆孔及所述拱形腰圆孔线接触。本技术实施例提供的应用于光源检测的硅片自动传送设备中的上述一个或多个技术方案至少具有如下技术效果之一：本技术应用于光源检测的硅片自动传送设备通过利用硅片传送机构将光源检测机构和分拣剔除机构整合在一起，光源检测机构架设在硅片传送机构的输入端以拍摄并摄取硅片的检测影像，分拣剔除机构架设在硅片传送机构的输出端以剔除经光源检测机构检验不及格的硅片。可见，本技术通过将硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构高度集成，实现硅片的自动、高效、准确地分选，有效地提高硅片检测分选的产能，保证硅片根据参数进行精准分选并且降低误检率等优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的应用于光源检测的硅片自动传送设备的结构示意图。图2为本技术实施例提供的硅片传送机构的结构示意图。图3为本技术实施例提供的光源检测机构的结构示意图。图4为本技术实施例提供的分拣剔除机构的结构示意图。图5为本技术实施例提供的动力组件的结构示意图。图6为本技术实施例提供的抓料组件的结构示意图。其中，图中各附图标记：10—机架11—工作台20—硅片传送机构21—传送架22—同步轮23—皮带30—光源检测机构31—检测安装架311—架设安装柱312—相机位调整座313—支撑架32—线扫相机33—可调节线扫光源331—旋转组件3311—线扫旋转轴3312—安装侧板3313—旋转块332—线扫光源主体34—外罩箱40—分拣剔除机构41—龙门架42—动力组件421—电机422—限位板4221—拱形腰圆孔4222—平直部423—动力板4231—腰圆孔43—横向导轨44—抓料组件441—抓料安装板442—滑板443—抓料架444—吸嘴445—连接座446—横梁447—滚动轮组45—限位感应器46—启动感应器47—感应片具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术的实施例，而不能理解为对本技术的限制。在本技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。...

【技术保护点】
1.一种应用于光源检测的硅片自动传送设备，包括机架、工作台、硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构；其特征在于：所述工作台固定安装在所述机架的上端面，所述硅片传送机构固定安装在所述工作台的上表面以向前输送硅片；所述光源检测机构架设在所述硅片传送机构的输入端以拍摄并摄取硅片的检测影像；所述分拣剔除机构架设在所述硅片传送机构的输出端以剔除经所述光源检测机构检验不及格的硅片；其中，所述硅片传送机构包括传送架、若干同步轮和皮带；所述传送架固定设置所述工作台的上表面，各所述同步轮转动连接在所述传送架的内侧壁，所述皮带套设在各所述同步轮上。/n

【技术特征摘要】
1.一种应用于光源检测的硅片自动传送设备，包括机架、工作台、硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构；其特征在于：所述工作台固定安装在所述机架的上端面，所述硅片传送机构固定安装在所述工作台的上表面以向前输送硅片；所述光源检测机构架设在所述硅片传送机构的输入端以拍摄并摄取硅片的检测影像；所述分拣剔除机构架设在所述硅片传送机构的输出端以剔除经所述光源检测机构检验不及格的硅片；其中，所述硅片传送机构包括传送架、若干同步轮和皮带；所述传送架固定设置所述工作台的上表面，各所述同步轮转动连接在所述传送架的内侧壁，所述皮带套设在各所述同步轮上。


2.根据权利要求1所述的应用于光源检测的硅片自动传送设备，其特征在于：所述光源检测机构包括架设于所述传送架两侧并固定连接在所述工作台上表面的检测安装架、相邻固定安装在所述检测安装架上的线扫相机和可调节线扫光源、以及套设在所述检测安装架的上表面并将所述线扫相机和所述可调节线扫光源相包围的外罩箱。


3.根据权利要求2所述的应用于光源检测的硅片自动传送设备，其特征在于：所述检测安装架上竖直固定有架设安装柱，所述架设安装柱的端部设置有相机位调整座，所述线扫相机固定连接在所述相机位调整座上。


4.根据权利要求2所述的应用于光源检测的硅片自动传送设备，其特征在于：所述可调节线扫光源包括旋转组件和设于该旋转组件上的线扫光源主体；所述旋转组件包括线扫旋转轴、安装侧板和旋转块，两个所述安装侧板平行固定在所述检测安装架的两侧，所述旋转块固定在所述安装侧板上，所述线扫旋转轴的两端可转动地安装在所述旋转块上...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小明，刘晓云，李斌，
申请(专利权)人：东莞敏威光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44