柔性模具的制造方法、柔性模具用的基材、以及光学部件的制造方法技术

一种柔性模具用的基材(1)，其具备玻璃片(2)、树脂片(3)、粘接玻璃片(2)和树脂片(3)的粘接层(4)，树脂片(3)从玻璃片(2)突出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】柔性模具的制造方法、柔性模具用的基材、以及光学部件的制造方法
本专利技术涉及柔性模具的制造方法、柔性模具用的基材、以及使用柔性模具的光学部件的制造方法。
技术介绍
例如在光学器件的制造工序等中，有时使用具有能够弯曲变形的挠性的柔性模具。作为制造柔性模具的方法之一，有压印法。压印法中，在母模与基材之间夹着成形材料，在基材之上形成转印有母模的凹凸图案的凹凸层。由此，可以得到具备基材和凹凸层的柔性模具。作为柔性模具用的基材，例如专利文献1中公开那样，有为了减小伴随温度变化的柔性模具的尺寸变化而具备玻璃片的基材。另外，若仅由玻璃片构成基材则容易发生破裂等，因此在该文献中公开了一种在玻璃片的一侧的主表面形成有树脂层的基材。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2015/037601号
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献1中公开的柔性模具用的基材中，玻璃片的端面与树脂层的端面位于同一平面上(参照该文献的图1等)。因此，在制造柔性模具的工序、使用所制造的柔性模具制造光学部件(例如光学器件等)的工序中，其它部件容易接触基材中包含的玻璃片的端面。其结果是，容易从玻璃片的端面产生玻璃碎片(包含玻璃粉)，成为在上述各工序中污染周围环境的原因。本专利技术的课题在于，在制造柔性模具的工序和/或使用所制造的柔性模具制造光学部件的工序中，减少玻璃碎片的产生。用于解决问题的手段为了解决上述课题而创造的本专利技术的特征在于，是具备基材、和在基材之上形成的凹凸层的柔性模具的制造方法，包括以基材与母模之间夹着成形材料，在基材之上形成转印有母模的凹凸图案的凹凸层的转印工序，基材具备玻璃片、树脂片、和粘接玻璃片与树脂片的粘接层，树脂片从玻璃片突出。根据这样的构成，基材中，树脂片从玻璃片突出，因此玻璃片的端面难以与其它部件接触。因此，若使用该基材制造柔性模具，则可以提供能够减少玻璃碎片的产生的柔性模具。上述构成中，可以仅在玻璃片的一侧的主表面隔着粘接层粘接有树脂片。如此一来，基材的构成被简化，因此能够以低成本制造柔性模具。仅在玻璃片的一侧的主表面配置有树脂片的情况下，优选玻璃片和树脂片的分别从粘接层突出。如此一来，粘接层不向基材的外侧突出，因此能够防止因粘接剂而污染周围环境。上述构成中，可以在玻璃片的两侧的主表面上分别隔着粘接层粘接有树脂片。如此一来，玻璃片的两侧的主表面被树脂片保护，因此玻璃片更难以破损。另外，即使万一玻璃片发生破损，玻璃碎片也容易留在两侧的树脂片之间，因此玻璃碎片难以飞散到周围。此外，在通过热处理等进行加热的情况下，也由于作用于玻璃片的两主表面的因树脂片产生的应力基本相同，而能够抑制发生玻璃片的一侧的主表面侧凸出那样的翘曲。在玻璃片的两侧的主表面配置有树脂片的情况下，优选两侧的树脂片分别从粘接层突出。如此一来，粘接层不向基材的外侧突出，因此能够防止因粘接剂而污染周围环境。在玻璃片的两侧的主表面配置有树脂片的情况下，优选玻璃片的端面被粘接层覆盖。如此一来，玻璃片的端面被粘接层保护，因此能够更可靠地抑制从玻璃片的端面产生玻璃碎片。另外，即使万一在玻璃片的端面发生破损，玻璃碎片也难以飞散到周围。在玻璃片的两侧的主表面配置有树脂片的情况下，也可以一侧的树脂片在玻璃片的平面方向上平坦，另一侧的树脂片在从玻璃片突出的部分具有接近于一侧的树脂片侧的高低差部。如此一来，通过有无高低差部，能够容易地区分基材的正反面。即，例如在平坦的一侧的树脂片的主表面形成凹凸层的情况下，通过有无高低差部，能够简单地辨别形成有凹凸层的面。上述构成中，基材优选在基材的至少一侧的主表面具备能够剥离地层叠的保护膜。如此一来，能够防止对基材表面造成损伤、或附着污物。因此，例如，若在基材的形成凹凸层的面预先层叠保护膜，在即将要形成凹凸层之前剥离，则能够高精度地形成凹凸层。为了解决上述课题而创造的本专利技术的特征在于，是柔性模具用的基材，具备玻璃片、树脂片、和粘接玻璃片与树脂片的粘接层，树脂片从玻璃片突出。若使用具备这样的构成的基材制造柔性模具，则可以得到与已阐述的对应的构成同样的作用效果。上述构成中，可以仅在玻璃片的一侧的主表面隔着粘接层粘接有树脂片。上述构成中，可以在玻璃片的两侧的主表面上分别隔着粘接层粘接有树脂片。为了解决上述课题而创造的本专利技术的特征在于，是具备基板、和在上述基板之上形成的凹凸层的光学部件的制造方法，包括以基板与柔性模具之间夹着成形材料，在基板之上形成转印有柔性模具的凹凸图案凹凸层的转印工序，柔性模具具备玻璃片、树脂片、和粘接玻璃片与树脂片的粘接层，树脂片从玻璃片突出。根据这样的构成，在柔性模具中，树脂片从玻璃片突出，因此玻璃片的端面难以与其它部件接触。因此，若使用该柔性模具制造光学部件，则能够可靠地减少玻璃碎片的产生。专利技术效果根据本专利技术，在制造柔性模具的工序和/或使用所制造的柔性模具制造光学部件的工序中，能够可靠地减少玻璃碎片的产生。附图说明图1是表示第一实施方式涉及的柔性模具用的基材的截面图。图2A是表示第一实施方式涉及的柔性模具的制造方法的截面图。图2B是表示第一实施方式涉及的柔性模具的制造方法的截面图。图2C是表示第一实施方式涉及的柔性模具的制造方法的截面图。图2D是表示第一实施方式涉及的柔性模具的制造方法的截面图。图3A是表示使用第一实施方式涉及的柔性模具的产品的制造方法的截面图。图3B是表示使用第一实施方式涉及的柔性模具的产品的制造方法的截面图。图3C是表示使用第一实施方式涉及的柔性模具的产品的制造方法的截面图。图3D是表示使用第一实施方式涉及的柔性模具的产品的制造方法的截面图。图4是表示第二实施方式涉及的柔性模具用的基材的截面图。图5是表示第二实施方式的变形例涉及的柔性模具用的基材的截面图。具体实施方式以下，对本专利技术的实施方式参照附图进行说明。(第一实施方式)如图1所示，第一实施方式涉及的柔性模具用的基材1具备玻璃片2、树脂片3、和粘接玻璃片2的第一主表面2a与树脂片3的第二主表面3b的粘接层4。即，树脂片3仅粘接在玻璃片2的第一主表面2a侧。在此，“柔性”是指，具有能够弯曲变形的挠性的状态。因此，基材1也具有能够弯曲变形的挠性。需要说明的是，在基材1不发生弯曲变形的状态(图1的状态)下，玻璃片2和树脂片3都在玻璃片2的平面方向上平坦。玻璃片2的形状没有特别限定，可以为例如圆形，但本实施方式中为矩形。玻璃片2的厚度优选为10～500μm，更优选为50～200μm，进一步优选为50～100μm。若玻璃片2过厚则挠性容易降低，柔性模具的制造工序、光学部件的制造工序中包括的分离工序中的脱模性能有可能变差。另一方面，若玻璃片2过薄则机械强度有可能降低。作为玻璃片2的组成，可以举出例如无碱玻璃、硼硅酸玻璃、钠钙玻璃(碱石灰玻璃)、高二氧化硅玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性模具的制造方法，其特征在于，是具备基材、和在所述基材之上形成的凹凸层的柔性模具的制造方法，其中，/n包括转印工序，以所述基材与母模之间夹着成形材料，在所述基材之上形成转印有所述母模的凹凸图案的所述凹凸层，/n所述基材具备玻璃片、树脂片、和粘接所述玻璃片与所述树脂片的粘接层，所述树脂片从所述玻璃片突出。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180921 JP 2018-1778251.一种柔性模具的制造方法，其特征在于，是具备基材、和在所述基材之上形成的凹凸层的柔性模具的制造方法，其中，
包括转印工序，以所述基材与母模之间夹着成形材料，在所述基材之上形成转印有所述母模的凹凸图案的所述凹凸层，
所述基材具备玻璃片、树脂片、和粘接所述玻璃片与所述树脂片的粘接层，所述树脂片从所述玻璃片突出。


2.根据权利要求1所述的柔性模具的制造方法，其特征在于，
仅在所述玻璃片的一侧的主表面上隔着所述粘接层粘接有所述树脂片。


3.根据权利要求2所述的柔性模具的制造方法，其特征在于，
所述玻璃片和所述树脂片分别从所述粘接层突出。


4.根据权利要求1所述的柔性模具的制造方法，其特征在于，
在所述玻璃片的两侧的主表面上分别隔着所述粘接层粘接有所述树脂片。


5.根据权利要求4所述的柔性模具的制造方法，其特征在于，
两侧的所述树脂片分别从所述粘接层突出。


6.根据权利要求4或5所述的柔性模具的制造方法，其特征在于，
所述玻璃片的端面被所述粘接层覆盖。


7.根据权利要求4～6中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：桑原耕治，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP