金属诱导非晶结晶化转变超高阻隔膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种金属诱导非晶结晶化转变超高阻隔膜及其制备方法。在可弯曲的柔性基体上用氧化物旋转靶材和金属平面靶材磁控溅射通过控制溅射功率和特定气氛依次在柔性基体沉积了水氧阻隔层、吸水层、金属结构层、结晶层、透光层。尤其是在金属结构层上制备了较好阻隔性的结晶层，这种含有结晶层的多层薄膜，实现了超高的阻水性能WVTR(T:38℃RH:90％)：10

【技术实现步骤摘要】
金属诱导非晶结晶化转变超高阻隔膜及其制备方法
本专利技术涉及阻隔膜及其制备方法，具体涉及一种金属诱导非晶结晶化转变超高阻隔膜及其制备方法。
技术介绍
研究表明空气中水、氧和其它有害物质等成分对OLED、QLED和薄膜太阳能电池等对水氧敏感的柔性电子器件的寿命影响很大。对柔性电子器件进行有效封装，可以大大延长器件寿命。与常规的食品药品封装(包装)阻隔不同，用于电子封装的高阻隔薄膜对透水蒸气率(WVTR)和透氧率(OTR)值要求更低，这种薄膜封装所用材料除了满足极低的气透率，还要求具有高透光性(可见光透过率大于90％)、稳定性，与封装器件有一致的膨胀系数等特点。传统刚性显示器件用特制玻璃进行封装即可满足要求，而柔性电子器件需要使用柔性透明高阻隔电子薄膜进行封装，以保证电子性能和使用寿命。高阻隔薄膜结构对提升其阻隔性能至关重要，主要可分为：(1)单层薄膜结构，包括单层无机材料薄膜和单层有机材料薄膜；无机单层薄膜制备工艺简单，成本低，常常用于电子封装，不过由于薄膜应力容易形成裂纹，受临界厚度制约。(2)多层薄膜结构，包括多层无机、多层有机或无机有机的混本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属诱导非晶结晶化转变超高阻隔膜及其制备方法，其特征在于：在可弯曲的柔性基体上用氧化物旋转靶材和金属平面靶材磁控溅射通过控制溅射功率和特定气氛依次在柔性基体沉积了水氧阻隔层、吸水层、金属结构层、结晶层、透光层，尤其是在金属结构层上制备了较好阻隔性的结晶层，这种含有结晶层的多层薄膜，实现了超高的阻水性能。/n

【技术特征摘要】
1.一种金属诱导非晶结晶化转变超高阻隔膜及其制备方法，其特征在于：在可弯曲的柔性基体上用氧化物旋转靶材和金属平面靶材磁控溅射通过控制溅射功率和特定气氛依次在柔性基体沉积了水氧阻隔层、吸水层、金属结构层、结晶层、透光层，尤其是在金属结构层上制备了较好阻隔性的结晶层，这种含有结晶层的多层薄膜，实现了超高的阻水性能。


2.根据权利要求1所述的金属诱导非晶结晶化转变超高阻隔膜及其制备方法，其特征在于：水氧阻隔层包括氧化铝、氧化硅或氧化钛中的一种或多种；吸水层包括所有吸水材料；金属结构层包括Zn、Al或Ge中的一种或多种；结晶层包括氧化锌、氧化铝或氧化锗中的一种或多种；透光层包括AZO、ZTO、ITO或GZO中的一种或多种；柔性基体包括PET、PEN、PES、PDMS或柔性玻璃中的一种或多种；
步骤如下：
步骤1.将可弯曲的柔性基体在真空室加热到50℃除去表面湿气；然后通入120SCCM流量Ar在220W直流电压下进行表面等离子预处理清洗；
步骤2.在射频功率100-150W，Ar流量40-50SCCM，O2流量10-20SCCM，工作压力8-10mTorr；用金属旋转或平面靶材在柔性基体上沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐从康，周曼曼，郑晓宁，王洪祥，
申请(专利权)人：山东永聚医药科技有限公司，汕头大学，
类型：发明
国别省市：山东;37