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本发明公开了一种金属诱导非晶结晶化转变超高阻隔膜及其制备方法。在可弯曲的柔性基体上用氧化物旋转靶材和金属平面靶材磁控溅射通过控制溅射功率和特定气氛依次在柔性基体沉积了水氧阻隔层、吸水层、金属结构层、结晶层、透光层。尤其是在金属结构层上制备了...该专利属于山东永聚医药科技有限公司;汕头大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东永聚医药科技有限公司;汕头大学授权不得商用。
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本发明公开了一种金属诱导非晶结晶化转变超高阻隔膜及其制备方法。在可弯曲的柔性基体上用氧化物旋转靶材和金属平面靶材磁控溅射通过控制溅射功率和特定气氛依次在柔性基体沉积了水氧阻隔层、吸水层、金属结构层、结晶层、透光层。尤其是在金属结构层上制备了...